Зондодержатель

и 932411 Сотов СоветсиикСоциалистическиереспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 04.06. 80 (2 ) 2938747/18-2 с присоединением заявки М ВеуАарстеиюЫ квинтет Фс Йр ав лаю взевретевв в еткрнтн(54) 30 ЩОДЕРВАТЕЛЬ 1Изобретение относится к электроннойгтехнике,. в частности к конструкцииэлементов контрольного оборудованияи может найти применение при разработке зондовых установок, используемых в производстве интегральныхмикросхем .на этапе их контроня,Известен зондодержатель, содержащий основание, подпружиненный ползун, кронштейн и зонд (иглу), изо 10ляционные детали и механизм регулировки, обеспечивающий точную установку зонда на контактные площадки кристалла интегральной схемы по координатвям осям. Кронштейн выполнен. 15пластинчатым и имеет значительнуюдлину (60 мм), Он крепится к ползуну через изоляционную стойку с цилиндрическими выступами, которыеслужат заклепками при креплении кроя 20ытейна к стойке. К ползуну с торцаприкреплена изоляционная колодка,служащая для ограничения вертикального движения кронштейна, а встроенная в колодку регулируемая пружина обеспечивает начальную силу сдвига зонда3.Однако данньй зондодержатель ра-. ботает неустойчиво. При вибрациях и изменении температуры зощы уходят с настроенных контактных площадок, требуют подстройка. Это происходит из-за слабой жесткости на скручивание кронштейна, образования при эксгцтуатации люфта в заклепках, а иногда и их среза, отсутствия ограничения боковых смещений конца кронштейна, а значити зонда.Известен зондодержатель, содержащий основание, подпружиненнтй ползун, пружинный кронштейн, кротватейный с зондом, механизм регулировки, включающий регулировочаий винт, два эксцентрика, два упора и пружину. Основание изготовлено в виде бруска, который имеет штиФт для Фиксации зондодержателя в ппаяпайбе зондовой установки, винт для крепле"932411 3ния его к планшайбе, два эксцентри - ка, а в глубокое отверстие, выполненное в торце основания вдоль его продольной оси, размещаются входящие в выточки эксцентриков упоры и пружина, обеспечивающие невыпадание эксцентриков из основания, Ползун представляет собой планку с торцовым пазом, резьбовой втулкой для подпружиненного винта, служащего для регу лировки пружинного кронштейна по вертикали, винт для крепления ползуна через пружину к основанию, штифт, ограничивающий разворот пружины, два паза, прорезанные вдоль и поперек 15 оси ползуна для ввода эксцентричных концов эксцентриков, резьбовое отверстие и отверстие под.штифт.Пружиннный кронштейн имеет на выступе угловую выборку и резьбовое от-верстие для крепления кронштейна .с зондом, штифт, входящий в торцовый паз ползуна и ограничивающий боковое смещение ползуна и пружинного кронштейна относительно друг друга, винт и штифт для крепления его к ползуну.Настройка зондодержателя, установленного на планшайбу зондовой установки, осуществляется следующим30 образом, По оси Е вращением винта, установленного в резьбовой втулке ползуна и упирающегося в незакрепленный конец подпружиненного кронштейна, по оси Х вращением. одного эксцентрика, а по оси У вращением второго эксцентрика при помощи отвертки 2 .Недостатками известного зондодержателя являются сложность конструк- ции и недостаточная надежность ее работы. Основные детали имеют сложную40 конфигурацию, большие габариты, регулировка осуществляется по каждой оси отдельно. Значительное количество сопряжений деталей, а значит и мертвых ходов, затрудняет настройку устроцства, снижает его надежность; т,е. устоцчивость положения зонда по отношению к контактной площадке контролируемого изделия.Цель изобретения - упрощение кон струкции и повышение надежности работыы.Указанная цель достигается тем, что в зондодержателе, содержащем основание, механизм регулировки с вин том и упорами, подпружиненный ползун с пазами под упоры, на котором закреплен кронштеин с зондом, основание фвыполнено ъ виде упругой скобы, наконцах которой жестко закреплены упоры механизма р егулир овки, выполнен -ные коническими, причем конусностьупоров больше конусности пазов, аоси упоров смещены одна относительно другой вдоль скобы, при этом механизм регулировки снабжен рычагом,конец которого размещен в коническом отверстии, выполненном на одномконце подпружиненного ползуна, другойконец которого выполнен в виде цанги.На Фиг, 1 изображен зондодержа -тель в продольном сечении; на Фиг. 2 то же, вид сверху; на Фиг, 3 - то же,поперечное сечение А-А на фиг, 1,Зондодержатель состоит из кронштейна 1 с зондом 2, основания 3, ползуна 4, размещенного внутри основания3. Основание 3 выполнено в виде упругой скобы. На одной полке последнегоустановлены винт 5, с помощью которого зондодержатель крепится к зондовойустановке 6, винт 7 и рычаг 8 механизма регулировки. На концах основания3 жестко закреплены конические упоры9 и 10. В ползуне 4 выполнены конические пазы 11 и 12, предназначенныецля упоров 9 и 10, соответственно,глухой паз 13, предназначенный длявинта 7 и коническое отверстие 14,предназначенное для рычага 8 мехнизма регулировки. Оси коническихупоров 9 и 10 смещены одна относительно другой вдоль оси скобы основания 3. При этом конусность упоров 9 и 10 меньше конусности пазов11 и 12, Полэун 4 подпружинен с помощью пружины 15, один конец которой неподвижно зажат при помощи упора 10 и заклепки 16. Для безвинтового закрепления кронштейа.1 с зондом 2 в ползуне 4 соответствующийконец ползуна выполнен в виде цанги .17,Зондодержатель работает следующим образом.При размещении ползуна 4 междуполками основания 3 в его пазы 11и 12 входят упоры 9 и 10,винт 7 -в глухой паз 13, рычаг 8 - в коническое отверстие 14, Пружина 15 подпружинивает ползун 4 к винту 7 и создает необходимое трение, дополнительное к тому, которое создается засчет постоянного подпружиниванияползуна 4 к винту 7 из-за смещения осей упоров 9 и 10 одна относительно другой по продольной оси ос5, 932 нования 3. Раз ноконусность пазов ползуна 4 и соответствующих им упоров 9 и 10 обеспечивает безлюфтовое наиболее устойчивое сочленение ползуна 4 и упоров 9 и 1 О при наличии трех степеней свободы по осям Х-У-Е в необходимых пределах. Точное выставление зонда по отношению к контактной площадке микросхемы осуществляется по осям Х и У путем наклона рычага 8 в необходимую сторону, по оси Е - вращения винта 7.Установка кронштейна с зондом непосредственно на жесткий ползун, зг.щм его в поперечном сечении в 1 4-х точках за счет разноконусности упор ов и паз ов создает стабильность нахождения эоцца в фиксированном положении. Уменьшение количества деталей, упрощение их конфигурации, умень-р шЕние габаритов упрощает в целом конструкцию и, как следствие, удешевляет ееизготовление. Замена винтового крепления кронштейна с зоццрм на цанговый помимо удобства смены :уу зонда, ужесточает кронштейн, который в месте отверстия под винт в известной конструкции часто ломается.Формула изобретения3 ондодержат ель содержащий основаУ39 ние, механизм регулировки с винтом,411 6и упорами, подпружиненный ползун спазами под упоры, на котором закреплен кронштейн с зондом, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности работы, основание выполнено в виде упругой скобы, на концах которой жестко эакреппены упоры механизма регулировки, выполненные коническими, причем конусность упоров больше конусности пазов, а оси упоров смещены одна относитеньно другой вдоль скобы, при этом механизм регулировки снабжен рычагом, конец которого размещен в коническом отверстии, выполненном на одном коице подпружиненного попзуиа, другой конец которого вынопкен в виде цанги. Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе11. Зондодержатель БЬИЗ. 773.012установки Зонд-А 4 И, 2,б 38.004,изготавливаемой заводом "Эллар",г.Рига.Ф2, .Зондодержатель БЬИ 2.689.000установки Зонд-А 5, 14 КИ-008,2.688.0071 изготавливаемой заводом1 Эллар", г. Рига 1,прототип).актор В.Пилипенк рре Заказ 3776 6 5 Тираж 719ВНИИПИ Государственного комитета ССпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб исное Филиал ППП Патент , г. Ужгород, ул. Проектная,