Дозатор жидкости

Союз Советск неСоциалистические.Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 742711(23) Приоритет -Опубликовано 25.06.80, Бюллетень Ле 23Дата опубликования описания 27.06,80 ао делан нзобретеннй н открытнй(54) ДОЗАТОР ЖИДКОСТИ Изобретение относится к измерительнойтехнике и может быть использовано, вчастности, для дозирования фоторезистав устройствах для нанесения светочувствительного покрытия на полупроводнико 5вые пластины и фотошаблоны,Известны дозаторы жидкости, содержащие корпус с подпружиненным поршнеми каналами подвода и выпуска, снабженными обратными клапанами, и приводом,а также установленной на валу приводакрыльчаткой, расположенной в нижнейчасти корпуса, причем поршень выполненс выемкой под крыльчатку и подвижно ус,тановлен на жестко укрепленной в центрекорпуса вертикальной втулке, выполненнойс центральным каналом, соединенным сканалами: подвода и выпуска, при этомсквозь него свободно пропущен вал привода, 120Однако этот дозатор имеет сложнуюконструкцию и не исключает засоренияподводящего (впускного) канала, Крометого, недостатком этого дозвтора является то, что после окончания цикла выдачи дозы происходит падение капель дозируемой жидкости из выпускного штуцера вследствие того, что часть дозируемой жидкости остается в рабочей камере корпуса и в выпускном;щтуцереНаиболее близким к заявляемому по технической сущности и достигаемому результату является дозатор жидкости, содержащий корпус с рабочей камерой, о деленной от источника давления гибкой разделительной мембраной, магистраль подачи давления, впускной клапан и выпускной канал с запорным клапаном в виде подпружиненной мембраны. На разделительной мембране закреплен дополнительный шток, пропущенный сквозь мем-, брану и установленный с зазором между его торцом и подпружиненной мембраной на выходе 2Недостатком этого дозатора является то, что в процессе эксплуатации проиоходит засорение впускного канала выпадающими в осадок частицами, вследствиечего нарушается точность дозировения,а также происходит чрезмерная деформация разделительной мембраны, что, нарядус нарушением точности дозирования, ведет к нарушению нормальной работы дозатора и к его поломке,Белью изобретения является устранение отмеченных недостатков,Поставленная цель достигается тем,что дозатор снабжен дополнительной камерой, соединенной с впускным каналоми сообщенной с рабочей камерой посредством клапана, запорный элемент которогозакреплен на штоке разделительной мембраны и установлен в дополнительной камере,А также тем, что запорный элементклапана выполнен в виде эластичного полого корпуса, армированного пластинчатыми пружинами,20Сущность изобретения поясняется чертежами, где не фиг, 1 изображен дозаторжидкости в разрезе; на фиг. 2 - запорный элемент клапана в разрезе; на фиг,325разрез А А на фиг, 2. Дозатор жидкости содержит корпус 1, крышку 2, крышку 3 со штуцером 4, разделительную мембрану 5 со штоком 6, выпускной канал7 и впускной канал 8, соединенный с30емкостью 9 для дозируемой жидкости, Емкость 9 снабжена штуцером 10 для соединения с магистралью подачи давления. Наштоке 6 закреплен выполненный в видеэластичного полого конуса запорный эле 35мент 11, армированный пластинчатымипружинами 12 (см, фиг. 2 и 3), которыйвместе с пружиной 13 и посадочнымгнездом 14, выполненным в перегородкекорпуса 1, образует клапан, при помощи40которого дополнительная камера А, образованная корпусом 1 и крышкой 2, сообщается с рабочей камерой Б, образованной корпусом 1 и разделительной мембраной 5, Крышка 3 и разделительнаямембрана 5 образуют камеру В, которая .при помощи штуцера 4 соединяется смагистрелью подачи чавлеиия, Впускнойканал 8 снабжен насадкой 15 с капиллярными отверстиями 16.50Дозатор жидкости работает следующим образом,Перед началом работы камеры А иБ заполняют дозируемой жидкостью. Дляэтого в камеру В через штуцер 4 пода 55ют сжатый воздух, а в емкость 9 черезштуцер 10 подают под давлением инертный газ или осушенный и очищенный воздух (в зависимости от требований техно 11 флогического процесса), При пода и. давления в камеру В разделительная мембрана 5 со штоком 6 и запорным элементом 11 перемешается влево (по чертежу) и дозируемея жидкость, поступаюшая под давлением из емкости 9, через впускной канал 8. заполняет кемеры А, Б и выпускной канал 7, После того, кек жидкость потечет из выпускного канала 7, подачу сжатого воздуха в камеру В прек - ращают и соединяют ее с атмосферой, Под действием пружины 13 разделитель ная мембрана 5 возвращается в исходное положение, а запорный элемент 11 перекрывеет отверстие 14 в перегородке корпуса 1, Затем осуществляется непосредственное дозирование.При подаче через штуцер 4 пневмсимпульса в камеру В разделительная мемб рана 5 вместе со штоком и закрепленным на нем запорным элементом 11 перемещается влево (по чертежу). При этом под действием перемещающегося запорного элемента 11 жидкость из камеры А вытесняется во впускной канал 8 и промывает капиллярные отверстия 16, выполненные в насадке 15, от прилипших частиц осадка, Под действием давления инерч ного газа, подаваемого в емкость 9 через штуцер 10, жидкость из емкости 9 через капиллярные отверстия 16 в насадке 15 подается в дополнительную емкость А и далее через отверстие 14, выполненное в перегородке корпуса 1, поступает в камеру Б и из нее вытесняется через вы.пускной канал 7 в тару. После выдачи определенной дозы, величине которой при заданных проходных сечениях впускного и выпускного каналов и при определенном постоянном давлении инертного газа в емкости 9 определяется длительностью пневмоимпульса, подаваемого в камеру В, подача сжатого воздуха в камеру В прекращается и она соединяется с атмосферой. Под действием пружины 13 разделительная мембрана с закрепленными на ней штоком 6 и запорным элементом 11 возвращается в исходное положение, В момент касания конической поверхностью запорного клапана 11 посадочного гнезде отверстия 14 выдача дозы прекращается, При дальнейшем перемещении разделительной мембраны 5 вправо (по чертежу) эластичный запорный элемент 11 деформируется и перемещение разделительной мембраны 5 продолжается до тех пор, пока торец цилиндрической части эластичного элементе 11 не упрется в перегородку корпусе 1,5 7427За счет этого дополнительного перемещения разделительной мембраны 5 вправо (по чертежу) объем рабочей камеры Б увеличивается, благодаря чему происходит подсасывание дозируемой жидкости из выпускного канала 7, Дополнительный ход разделительной мембраны 5 регулируется таким образом, чтобы при ее обратном ходе обеспечивалось подсасывание дозируемой жидкости в выпускном канале 7 на 10 0,5-1 см от его выходного конца, Для последующей выдачи дозы жидкости в камеру В снова подают пневмоимпульс заданной длительности, и пикл повторяется,Дозатор предотвращает засорение 15 впускного канала выпадающими в осадок частицами, за счет чего повышается точность дозирования и сокращается рабочее время, необходимое на выполнение профилактических работ по промывке впуск ного канала дозатора, Кроме того, конструкция дозатора полностью исключает падение капель дозируемой жидкости из выпускного канала,так как остатки жидкости, находящейся в выпускном канале, 25 подсасываются при дополнительном обратном ходе разделительной мембраны и удерживаются в нем атмосферным давлением,11 6 Формула изобретения 1, Дозатор жидкости, содержащий корпус с рабочей камерой, отделенной отисточника давления гибкой разделительной мембраной со штоком, магистральподачи давления, впускной и выпускнойканалы,отли чающи йся тем,что, с целью повышения точности дозирования и сокращения рабочего нременй, онснабжен дополнительной камерой, соединенной с впускным каналом и сообщеннойс рабочей камерой посредством клапаназапорный элемент которого закреплен наштоке разделительной мембраны и установлен в дополнительной камере,2, Дозатор жидкости по п, 1, о т -к и ч а ю щ и й с я тем, что. запорный элемент клапана выполнен в видеэластичного полого конуса, армированногопластинчатыми пружинами,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМ 550532, кл, 6 01 Г 13100, 1975.2. Авторское свидетельство СССР. Тираж 801 ПодписноеИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий3035, Яосква, Ж, Раушская набд, 4/ 49/36 ПП Патент, г. Ужгород, ул, Проектна ли Составитель Б, Розовскаятор Н, Катаманина Техред Н. Бабурка Корректор