Устройство для поддерживания обрабатываемых материалов при резке

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 и 742100(23) Приоритет по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения В. Т. Муцкий и В. В, Агафонов Брянский институт транспортного машиностроения(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДДЕРЖИВАНИЯ ОБРАБАТЫВАЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ ПРИ РЕЗКЕ Устройство относится к полупроводниковому производству и предназначено для поддерживания монокристаллов полупроводниковых материалов в процессе резки и съема отрезанныхпластин,5Известны устройства, предназначенные дляудерживания и захвата заготовок и деталейс помощью вакуумных присосов, содержащиеполый стержень, перемещающийся в корпусе,к которому подведен вакуум 1.1 ОИзвестное устройство не обеспечивает сог.ласованного движения корпуса относительнозакрепляемых заготовок и требует применениядополнительных устройств при автоматизациипроцесса.15Известно устройство для съема отрезанныхпластин, содержащее корпус с гидроцилиндром,полости которого соединены с источником гидравлического давления, поршень, установленныйв гидроцилиндре и вакуумный присос, соединенный с источником вакуума, вакуумную игидравлическую магистраль, применяемое преимущественно на станках для резки монокристаллов полупроводниковых материалов (21,Недостатком устройства является то, чтовакуумный присос, подводимый к отрезаемойпластине в конце реза, оказывает на нее динами.ческое воздействие, что часто приводит к сколуи поломкам отрезанных пластин,Цель изобретения - повышение качестваотрезаемых пластин и увеличение выхода годных,Поставленная цель достигается тем, что в известном устройстве, содержащем корпус с гидроцилиндром, полости которого соединены с источником гидравлического давления, поршень установленный в гидроцилиндре и вакуумный присос, соединенный с источником вакуума, корпус установлен на верхнем столе станка в поперечных направляющих и шарнирно соединен с неподвижной частью станка, при этом в поршне выполнена сквозная осевая расточка, в которой подвижно установлен шток с закрепленным на его конце вакуумным присосом, а замыкающий элемент шарнира выполнен в виде стержня, свободно скользящего в направляющих втулках, ось которых параллельна направлению движения стола станка.На фиг. 1 показано устройство, общий вид на фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1.Устройство содержит гидроцилиндр 1, внутри которого расположен поршень 2, в осевой расточке которого находится шток 3, имеющий возможность осевого перемещения относитель. но поршня. На свободном конце штока 3 ус. тановлен вакуумный присос 4. Внутри штока 3 выполнен канал 5, который одним концом сообщается с каналами 6 на торце вакуумного 10 присоса 4, а друтим - с кольцевой выточкой 7, соединенной каналом 8 в задней крышке 9 гид. роцилиндра через трубопровод 10 с вакуумной установкой (на чертеже не показана). Сброс отрезанной пластины в накопитель 11 с вакуум ного присоса 4 осуществляется сжатым возду. хом. Для подвода сжатого воздуха от источника (на чертеже не показан) к вакуумному присосу 4 служат канал 5 в штоке 3, кольцевая выточ. ка 12 и канал 13 в задней крышке 9 гидро цилиндра и трубопровод 14. Канал 13 выполнен меньшим диаметром, чем канал 5, что уменьша. ет пневматический удар при действии сжатого воздуха на отрезанную пластину. Полость 15 гидроцилиндра 1 каналом 16 и трубопроводом 1725 сообщается с полостью рабочего хода силового цилиндра стола станка, а полость 18 каналом 19 и трубопроводом 20 с полостью обратного хода стола станка. На штоке 3 выполнена выточка, в которую своим гладким концом входит винт 30 21, ограничивающий осевое перемещение штока 3 в расточке поршня 2, Корпус 22 установлен на верхнем столе станка в поперечных направляющих 23 и шарнирно связан с неподвижно за. крепленной на станине станка стойкой 24 по средством стержня 25, свободно скользящего в направляющих втулках 26.Устройство работает следующим образом.При включении рабочей подачи станка жидкость под давлением поступает в рабочую по лость силового цилиндра подачи станка и одно. временно через трубопровод 17, канал 16 - в полость 15 цилиндра. При этом вакуумный присос 4 получает два последовательных перемещения. первое - быстрое вместе с поршнем 245 до упора в левую крышку гидроцилиндра 1 под действием жидкости, при этом расстояние между торцами присоса и заготовки составляет 0,5 - 1 мм, и второе - медленное, обеспечивающее безудар. ный контакт с торцом заготовки путем созда ния вакуума между торцами присоса 4 и заго. товки от постоянно включенной вакуумной линии 10 через канал 8 и кольцевую выточку 7. 13 процессе резания вакуумный присос 4 посред.ством вакуума находится в постоянном контакте с отрезаемой пластиной, тем самым увеличивая ее прочность. После отрезки пластина надежно удерживается вакуумом на присосе 4.В это время срабатывает концевой переключа.тель стола станка, и жидкость начинает посту.пать в полость обратного хода цилиндра подачи станка и далее через трубопровод 20 в по.лость 18 гидроцилиндра 1, при этом поршень 2перемещается до упора в крышку 9, одновре.менно с помощью винта 21 передвигая в томже направлении шток 3 и присос с отрезаннойпластиной, При движении штока 3 канал 5, пройдя кольцевую выточку 7, отключается до линиивакуума и соединяется через выточку 12, ка.нал 13 и трубопровод 14 с магистралью сжатого воздуха. Сжатый воздух, попадая из канала 13 с малым сечением в канал 5. большогосечения, снижает свое давление й обеспечиваетлегкое отделение пластины от присоса и сбросее в накопитель 11. При повторном включениирабочей подачи станка цикл повторяется автоматически.Формула изобретения1. Устройство для подцерживания обрабаты.ваемых материалов при резке, содержащее кор.пус с гидроцилиндром, полости которого соединены с источником гидравлического давления, поршень, установленный в гидроцилиндреи вакуумный присос, соединенный с источникомвакуума, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения качества отрезаемых пластин и увеличения выхода годных, корпус установлен на верхнем столе станка в поперечныхнаправляющих и шарнирно соединен с неподвижной частью станка, при этом в поршне выпол.иена сквозная осевая расточка, в которой под.вижно установлен шток с закрепленным наего конце вакуумным присосом.2. Устройство по пункту 1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что замыкающий элементшарнира выполнен в виде стержня, свободноскользящего в направляющих втулках, ось ко.торых параллельна направлению движения столастанка,Источники информациипринятые во внимание при экспертизе1; Авторское свидетельство СССР У 334653,кл, Н 05 К 13/09, 1979.2. Руководство по эксплуатации станка длярезки мод ЩК// 2 Гх 500, ЧЕВ "Ргйг НесМегт"742100 Составитель Н, СменовТехред М.Петко актор Н. Ка рректор А. Грицен Подписно аз 3364 1 Филиал ППП "Патент", г. Ужторо оектная 4 Тираж 1160ЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений н открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4