Автомат для термической обработки изделий

О П И С А Н И Е 1 5 ООЮИЗОБРЕТЕЯИл Союз Советских Социалистических. свил-ву 1 22 01 М, Кл.с С 213 9,9.74 (21 с присоединением заявки Ье Гасударственный комитетСовета Министров СССРпо деам изобретенийи открытий 23) Приоритет.01.76. Боллстси М 4 публикованоДата опублик гя 09,04.76 ани 51 Описа) Авторы изобретения В. Н. Баранов, В Заявител ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИ)й 54) АВТОМАТ ДЛЯ ТЕРМИЧЕ Изобретение относится к печам для тсрмообработки плоских круглых изделий, перемещаемых на газовой подушке, которые, в частности, могут быть использованы в процзводстве полупроводниковых приборов и интегральных схем для процессов диффузии и пиролитического осаждения, проводимых в среде, агрессивной по отношению к материалам реактора и транспортирующего устройства,Известен автоъат для термической обработки изделий, содержащий термическуо камеру с размещенных в неи реаТором, В котором установлено транспортирующее устройство на газовой подушке. Реактор и транспортирующее устройство уплотнены с двух сторон илозами с газовых завесами. Изделия размсцены на имеющих наклоиные отверстия и буртики кассетах-носителях, которые перемсшаются на газовой подушке на транспортирующем устройстве, образующем замкнутый контур. Управление скоростью перемещения кассет-носителей осуществляется устройствох управления в виде горизонтальных приводных дцсков, установленных на одном цз участков транспортирующего устройства, До и после термической камеры установлены кассета-питатсль ц кассета-накопитель, соединенные с транспортирующим устройством с помощью перегрузочных лотков, Перегрузка изделий с перегрузочных лотков на кассету-носитель подставку) и анов, ".:, М, Мытарсн, ., В. Сд.".рс 10)д и В. Н. Щемлева Оор;тно ос ьцсствлястс 51 гдзостр Й:ы)1 П соплг 1.и. )чдсток т;);:спорт)гю. Г: О,т;.;,и;Гтн 1 в месте стдновк:1 кассет с ми кассеты зд - ключеы в обеспылсииый кои .;.О.дк) тдк 011 д В:О ;т .сГ ;:3 ОГ 0"ГжОСЬ РаООТЫ В ) СЛОВИ 5 Х В(3:Г:;Г".,".5 ГПГСИ В 01 ГДЗОВОй СО С. ЬЬ Н.СС) Г".Т;:Г Из " ГИ 5.1 И 5 Ч(СТКИ КДССГ-НОСИ ГС,1 СИ ВГ,.С,СТВИС Возникновения п 1)Г:1 ятс 1".П пр.1 и ,) 331)узкс и;1 10 Врдщсии издсли иЦелью изоорСТСППЯ )1 ВЛ 5:Г тс 1ГТ"1 ПГПС1 К 31:1:ОГО НЕ.ОСТТК.ЭТО ЛОСТИГ;.СТО: Т,;.:ТО ;. - . ),:ИС"ТИ 0 -ЩСС ) С)01 СТВО СТДИ 011 Л Г:Ы, .".,О.ГВ.:К.Ь:Г1 а сетьО 11 тс,1 иП 0.1 С Вк ,:Грх.я и, и)Г 1 Ос ькото,)ых пе )скпв. 1; ПГНГ 1) ь;.я ",Лпй И С)ВПЛДГ .:;Л;КО ТЬ 3 С ьп )ГО 1:,; ИГ;,). - г 1)ТЗОиых лотко:. )НГПО,сжГх 3:ил 030 В Вд 51 рсд ПО Высотс и Гть 1,ф,:,х мсжл со 20 бои ПО:Вижны.1 и лоткам;1. )33 лсл0 ц.ми 001,- С) КДНДО. 0 И 3 Ш ПОЗЫВ 1ГГ ОЬКО03 ЯХ зопП,10 ТИЯСХ 1 Ь 1 Х П):В 1)1 ИЬ ЛОТКД)1:1 И С.ЯЗДИНЫМИ С НИМИ 5 ГП,10 ТИЯ 10 И.МИ КРЫ:ИКД)1.Ид 1)иг. 1 п 015 зди прс:л:;Г)яи "В 1 г)1;т.25 вид сверю; нд 11 пг. 2 разрез ио . . ифиг. 1; ид фи. 3- р; зрсз ПО Б -й ид ф:г.:).1 втох 1 дт Лл 5 тГР:ЙО)Р.ООк; к,)У,Вх и,ОГких изде,1 ий СОлепж 1 т игрснд ТГлиГ 10 кдмГ 1)1, В которой мста:Овлс: рсдкто;) ) Г 0,змси, и ным в ием трднси)рти 1)уои;им ) Гтройст;, м 3, 50109140 45 50 выполненным в виде трубы прямоуголш 1 ого профиля, имеющей под 1 с отверстиями для перемещения изделия 5 на газовой подушке. В полу 4 по всей длине транспортирующего устройства 3 размещен непрерывный ряд круглых кассет-носителей 6 с отзерстиямп, имеющими одинаковый диаметр с изделиями 5, В транспортирующее устройство 3 подается газноситель, а подача паро-газовой смеси производится непосредственно в реактор 2, Реактор 2 и транспортирующее устройство 3 уплотнены в шлюзах загрузки 7 и выгрузки 8, в которых установлены и два яруса по высота перегрузочные лотки 9 и 10.Стыковка лотков осуществляется подвижными лотками 11, горизонтальная плоскость которых имеет отверстия 12 для подачи газа. Перемещене подвижных лотков 11 на требуемую величину и в требуемой последовательности производится с помощью кулачкового механизма привода 13, причем пружины 14 и 15 обеспечивают опускание лотков 11 и уплотняющих крышек 16 вниз, В газовый объем между подвижными лотками 11 через штуцер 17 подается инертный газ. На участке разгрузочного лотка 1 О, выступающего за пределы шлюзов загрузки 7 и выгрузки 8, размещены кассета-питатель 18 и кассета-накопитель 19,Плоскость перегрузочных лотков 10 и верхняя плоскость кассет-носителей б совпадают, поэтому устройство управления скоростью перемещепия изделий 5 выполнено в шлюзе выгрузки 8 в виде манипулятора 20 с подвижными упорами 21 и соплом сдува 22. Перемещение изделий 5 происходит за счет уклона транспортирующего устройства 3 и перегрузочных лотков 9 и 10. Кассета-носитель зак,почепа в пылезап 1 итный кожух 23,Работа автомата производится в следующей последовательности.После предвари ельной загрузки изделий 5 в кассету-питатель 18 и на транспортирующее устройство 3 включается автоматический режим обработки, в процессе которого происходит управление раоотой мап 1 пулятора и работающих синхронно механизмов привода 13, При этом через равные интервалы времени производится поштучная выгрузк 1 изделия 5 с последней кассеты-носителя б на персгрузсчный лоток 1 О и далее па подвкны 1 лоток 11 шлюза выгрузки 8. Включаются мехаизмы привода 13, в результате чего подзихк 11 ые лотки 11 последовательно приходят в крайнее 5 1 О 15 20 25 Зо 35 нижнее положение, а образовавшийся объем уплотняется рышкамп 16, Изделие 5 проходит через перегрузочный лоток 9 с одного подвижного лотка 11 на другой, а после воззращения их в исходное положение оно достигает кассеты-накопителя 19. Одновременно с этим происходит перемещение изделия 5 из кассеты-питателя 18 на транспортирующее устройство 3.В описываемом автомате герметизация рабочего объема достигается за счет мпогокамерности выполнения шлюзовых устройств и установки уплотня 1 ощих прокладок 24 и силь- фонов 25, Так как на пути перемещения изделий 5 над кассетами-носителями б отсутствуют участки поверхности, на которых может осаж. даться вещество из паро-газовой смеси или посторонние частицы, это обеспечивает условия надежности транспортирования. Использование неподвижных кассет-носителей б, кроме того, позволяет отказаться от нсобходимости иметь замкнутый транспортирующий контур для их перемещения, что зна:1 ительно упрощает конструкцию, снихкает расходы газа на транспортирование, сокр агцает время разогрева изделий в печи за счет уменьшения вносимой массы. При использовании инфракрасного нагрева и выполнении кассет-носителей из то,о же материала, что и изделие, резко сокращается переходный процесс разогрева изделия, что улучшает условия термообработки. В ряде случаев целесообразо выполнять кассеты-носители б непосредственно на транспортпру 1 ощем устройстве 3 путем вытравливания с соответств 1 Ощпх учсстков поверхност 1 пода 4, нс перекрываемых изделиями 5. Формула изобретеня Автомат для термической обработки издел 1 й, соде 1 эжац 11: термическу 1 О камеру, реактор с уплотнеш ьи в пем с помощью шлюзов транспортпру 1 ощпм ус:ройством на газовой подушке, ка соту-питатель и кассету-накопитель с перегрузочнымг лоткам;1, о т л и ч а ющп й с 11 те:1, то, с цел 1 О поВшения надежности работы, транспортирующее устройство сп;биепо ф 11 ксрозапными на нем подстаВкамн с Отверстиями, шл 1 озы снабжены углотпяюп,пмп крпк.1 и и лоткамп, 1 стапоВленными с Воз.ожпосгПО переменения О высотс, а перегрузочные лотки размещены поярусно з шлюзах.Составитель О. МихайловаРедактор Т. Пилипенко Техред 3. Тараненко Корректор Т. ДобровольскаяЗаказ 566/13 Изд.1050 Тираж 653 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, )К, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2