Полуавтомат температурного циклирования

ОПИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик,Х 1,1966 ( 1115132(2 Заявлен с присое Приорит инение явки11 ПК Н 01 Комитет по делам изобрвтеиий и открытий при Совете Мииистрое СССРУД 1 621.382(088 Опубликовано 17 Х.1968. Бюллетень17Дата опубликования описания 19 Х 111.196 Авторыизобретения М. Валентино орлов, В. Н, Филимонов, Г баре Заявител ОЛУАВТОМАТ ТЕМПЕРАТУРНОГО ЦИКЛИРОВАНИЯ Предлагаевциклированияна циклическзисторов и диг а заводах псти. ыи полуавтомат температурногопредназначен для испытания е изменения температуры транодов и может быть использован лупроводниковой промышленноИзвестны подобные машины, содержащие отдельные камеры тепла и холода (по числу циклов тепло - холод), механизм переноса приборов от камеры к камере, представляющий собой делительный механизм с электроприводом, включающийся через равные промежутки времени, задаваемые в соответствии с технологией циклирования; системы регулирования температуры и системы подачи хлад- агента.Камеры тепла и холода в известных устройствах расположены по окружности в одной плоскости и чередуются через одну (тепло - холод) по числу циклов. С одной стороны камеры открыты и стыкуются с полукамерами, чаходящимися на карусели, которая перемещает в специальной таре, установленной в указанные полукамеры, полупроводниковые приборы. При двихкении карусели приборы соответственно совмещаются поочередно то с камерой холода, то с камерой тепла.При такой конструкции внутренний объем камер по сравнению с объемом охлаждаемых или нагреваемых приборов нельзя сделать большим, так как это повлечет за собой необходимость значительного увеличения габаритов машины, При сохранении же габаритов собственно термоудара (резкого изменения температуры полупроводниковых приборов) не наблюдается ввиду соизмеримости массы н объема камер и подвергаемых термоциклирован по приборов.Цель предлагаемого полуавтомата - повысить стабильность температурных режимов и упростить конструкцию. Достигается это тем, что камера тепла и камера холода выполнены в виде расположенных одно над другим полых колец, между которыми помещен транспортирующий ротор, Обе камеры снабжены загрузочно-разгрузочными устройствами, число которых равно числу циклов. При этом возможно сделать объем камер (внутренний) больше объема вносимых изделий в соотношении 50:1, а соответственно, и соотношение масс, что обеспечивает термоудар и стабильные температурные режимы цпклируемых приборов.На фиг. 1 изображен предлагаемый полуавтомат в разрезе в вертикальной плоскости; на фиг. 2 - то же, разрез в горизонтальной плоскости по А - А; на фпг. 3 - кпнематическая схема.Полуавтомат состоит нз камеры холода 1 икамеры тепла 2, смонтированных на сборной 30 станине 3. Камера холода расположена внизу,45 50 55 Камера тепла надней. Между ними вращается карусель 4, перемещающая кассеты 5 с приборами с позиции на позицию, В корпусе 6 смонтирован понижающий редуктор и механизм деления.Камеры представляют собой полые кольца, для удобства монтажа разъемные по средней плоскости, Е 1 а них крепятся механизмы 7 перемещения кассет. Механизмы камеры холода сдвинуты относительно механизмов камеры тепла на угол, равный 1/11 окружности, так как число циклов равно пяти, а одна позиция предназначена для загрузки и выгрузки кассет. Для уменьшения теплопотерь и колебаний температуры в камерах в момент входа и выхода из камер кассет предусмотрены шлюзы, закрываемые крышками 8, Крышки 8 персме. щаются такяе на угол 1/11 окружности рсверсивно и приводятся в движение каруселью 9 и механизмом 10.Внутри камеры холода смонтирован испаритель 11, в который подается жидкий азот; при испарении его поддерживается температура - 60 С. В качестве рсзервуара для храпения жидкого азота применен ТРУККМ емкостью 320 л вместо сосудов Дьюара емкостью 15 л. Конструкция ТРЖК делает возможной систему регулирования температуры, состоящую из датчика (термометр сопротивления), электронного регулирующего прибора РПИК-С, позволяющего осуществить пропорционально-интегральное регулирование, клапана 12 для подачи жидкого азота с исполнительным механизмом. Для равномерного распределения температуры внутри камер воздух перемешивается вентиляторами 13,Конструкция камеры тепла совершенно аналогична. Внутри камеры равномерно по окружности расположены пять нагревателей 14, обеспечивающих поддержацие температуры +120 С. Для поддержания температуры с точностью +2 С применяется тот яе регулирующий прибор РПИК-С и исполнительный механизм ИМ 2/120, соединенный с вариатором напряжения типа РНО, Каждый нагреватель 14 состоит из двух нагревателей - один из них включается в общую цепь, регулипуемучо РПИК-С, другой - в цепь, регулируемую прибором типа МСР. При понижении температуры ниже 110 С (при внесении кассет с г=60 С) включаются мощныс нагреватели, регулируемые МСР; при достижении температуры 118 С они выключаются и дальнейшее поддержание температуры производится вторыми нагревателями, управляемыми прибором РПИ К-С. 5 10 15 20 25 30 35 40 Работа полуавтомата происходит следующим образом, Предварительно обе камеры выводятся на режим с температурами соответст. ьенно - 60 С и +120 С. Затем устанавливают кассету 5 с приборами на поддон механизма загрузки-выгрузки 15 и наяимают кнопку загрузка. Каретка механизма 15 в крайнем положении цакимает на микровыключатель ц механизм 15 останавливается, а кассета попадает в захват карусели 4. Одновременно включается двигатель привода карусели и кассета 5 передвигается с позиции загрузки на поддон 16 механизма 7 (механизм вертикального перемещения) камеры тепла 2, а каретка механизма 15 возвращается в исходное положение. Конечным выключателем включаются электродвигатели всех десяти механизмов 7 и кассета 5 подается в камеру тепла 2.При достижении крайнего положения ползуны механизмов 7 конечными выключателями отключают электродвигатели и включается привод карусели 9, шлюзы камер закрываются крышками 8. Одновременно включаются электромагнитные клапаны, подающие сжатый воздух в трубки уплотнения крышек, и камеры герм етизируются,С этого момента начинается отсчет времени выдсряки кассеты с приборами в камере. Ь это яс время на каретку механизма 15 загружают очередную кассету, нажимают кнопку загрузка и кассета попадает в захват карусели 4, следующий по ходу ее вращения,После окончания выдержки первой кассеты в камере реле времени включает электродвигатели механизмов 7, кассета выходит из камеры тепла и попадает в захват карусели 4, которая перемещает кассету на поддон 17 механизма 7 камеры холода, Далее цикл повторяется. Предмет изобретения Полуавтомат температурного циклирования, содержащий камеры тепла и холода, систему транспортировки, систему регулирования температуры, отличагоигийся тем, что, с целью повышения стабильности температурных режимов и упрощения конструкции устройства, его камера тепла и камера холода выполнены в в: де расположенных одно над другим полых колец, х.сяду которыми помещен транспортирующий ротор, причем камера тепла и камера холода снабжены загрузочно-разгрузочными устройствами, число которых равно числу циклов.Составитель В. В, Шведова Редактор В. Л. Торопова Техред Т, П. Курилко Корректоры; И. Л, Кириллова и В. В. Крылова Зава/13 Тираж 530 ПодппсоеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мишц.тров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4Типография. пр, Сапунова, 2