Валентикои

Номер патента: 218322

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Валентикои, Горлов, Зубарев, Лимонов

МПК: H01L 21/00

Метки: полуавтомат, температурного, циклирования

...теплопотерь и колебаний температуры в камерах в момент входа и выхода из камер кассет предусмотрены шлюзы, закрываемые крышками 8, Крышки 8 персме. щаются такяе на угол 1/11 окружности рсверсивно и приводятся в движение каруселью 9 и механизмом 10.Внутри камеры холода смонтирован испаритель 11, в который подается жидкий азот; при испарении его поддерживается температура - 60 С. В качестве рсзервуара для храпения жидкого азота применен ТРУККМ емкостью 320 л вместо сосудов Дьюара емкостью 15 л. Конструкция ТРЖК делает возможной систему регулирования температуры, состоящую из датчика (термометр сопротивления), электронного регулирующего прибора РПИК-С, позволяющего осуществить пропорционально-интегральное регулирование, клапана 12...