Устройство для подачи ленты в вакуум

(5 Ц 5 Н 01 3 9/00 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВИДЕТЕЛ ЬСТВ А СКО завоия в ваку 63. ЕНТЫ В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Особое конструкторское бюрде "Кристалл"(57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изготовлении электронных и гаэоразрядных приборов. Целью изобретения является уменьшение деформации ленты, Устройство для подачи ленты в вакуум содержит камеры 1 и 2, уплотнительный блок 3, перегородку 4, крышки 5 и 6, шпильки 7. Блок 3 состоит из верхней и нижней плит, соединенных планками, которые уплотняются уплотнителями, В плитах установлены ролики в отверстиях. Ролики образуют щель. В блоке 3 выполнены отверстия 18 и 19, Камеры 1 и 2 откачиваются через патрубки 20 и 21. Лента 23 протягивается через щелевой канал, при этом обеспечивается сохранность боковых участков ленты. 5 ил,Изобретение относится к вакуумнойтехнике и может быть использовано при изготовлении электронных и газоразрядныхприборов.Целью изобретения является уменьшение деформации ленты,На фиг, 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг. 1;на фиг. 3 - разрез Б - Б на фиг. 1; на фиг,4 -разрез В - В на фиг. 2; на фиг, 5 - разрез Г - Гна фиг. 3.Устройство (фиг. 1) содержит камеру 1первичной откачки, камеру 2 вторичной откачки, уплотнительный блок 3. Камеры 1, 2разделены перегородкой 4, а с наружныхторцов закрыты крышками 5 и 6.Камеры 1 и 2, перегородки 4 и крышки5 и 6 стянуты между собой шпильками 7,Уплотнительный блок 3 дополнительно поджимается в осевом направлении крышкой 8.Уплотнительный блок 3 состоит из двухплит; верхней 9 и нижней 10, соединенныхс боков планками 11 (фиг, 2, 3),Уплотнение между плитами 9, 10 и планками 11 создается с помощью эластичныхуплотнитеией 12, В плитах 9, 10 установлены горизонтальные и вертикальные ролики13, и 14 соответственно в отверстия 15 и 16(фиг. 4, 5), причем между цилиндрическимиповерхностями роликов и стенками отверстий 15, 16 образуется щель 17 величинойпросвета от 0,0004 до 0.002 от диаметрароликов. Для откачки газов из щелевого канала в уплотннтельном блоке имеются отверстия 18 и 19 соответственно в зонахкамер 1, 2 первичной и вторичной откачек,Камеры 1 и 2 с вакуумной откачной системой. связаны через патрубки 20 и 21.Щелевые каналы 22 совместно с щелями 17, образуемыми уплотнительным блоком 3 и роликами 13, 14, в совокупности спервичной и вторичной откачками через отверстия 18 и 19, патрубки 20 и 21 (фиг, 1)создают условия для надежного ограничения натекания в вакуумную камеру, Щелевой канал в уплотнительном блоке 3 впоперечном сечении определяется размерами 31 х В 1,. Ролики установлены так, чтолента не может касаться стено щелевогоканала, так как расстояния между горизонтальными роликами 32 и вертикальными роликами В 2 меньше соответствующих имразмеров щели 1 и В 1, причем должно бытьсоблюдено условие В 1) Вг и Я 1) 32,Устройство работает следующим образом,Вводимая в вакуум лента 23 протягивается через щелевой канал 24 между роликами 13 и 14 и, пройдя через щель в крышке 6,попадает в вакуумную камеру, где осуществляютсяя технологические операции.Для того, чтобы исключить натекания ввакуумную камеру, к которой ввод подсое 5 диняется через крышку 6, из камеры 7 первичной откачки откачиваются газыфорвакуумным насосом, а иэ камеры 2 вторичной откачки - вакуумным насосом второй ступени,10 Газы, проникающие из атмосферы через входное отверстие в крышке 8, откачиваются через отверстия 18 и патрубок 20, ате частицы газа, которые проникают далеезоны камеры 1, откачиваются через отвер 15 стия 19 и патрубок 21, Так как лента проходит по щелевому каналу 24, ограниченномугоризонтальными и вертикальными роликами 13, 14, то для проникновения газов извнеостаются щели между уплотнительным бло 2 ком 3 и лентой, а также щель 17 междууплотнительными блоками и роликами.Пределы вел.;чины щели 17 между роликамии стенками отверстий 15, 16 определеныопытным путем, При этом увеличение щели25 выше 0,002 от диаметра ролика приводит кчрезмерному натеканию газов, а уменьшение зазора ниже 0,0004 от диаметра ролика- к помехам свободного вращения роликов.Угол охвата роликов телом уплотнительного30 блока выполнен более 180" с тем, чтобыувеличить длину щели, образуемой роликами,При макетировании был изготовлен и. испытан ввод для ленты толщиной 0,7 мм и35 шириной 40 мм, ролики имели предельное- 0,006отклонение диаметра 15 - дд 17, а отверстия Ф 15 + 0,011. Возможны два предельных значения; наименьший зазор,40 равный 0,006 мм, и наибольший зазор, равный 0,028 мм, что соответствует диапазону0,0004 - 0,0018)0.Устройство позволяет увеличить длинущелевого канала беэ увеличения длины са 45 мого щелевого канала, При этом увеличивается сопротивление натеканию газов ввакуумную камеру, увеличивается процентвыхода годной продукции за счет снижениябрака по отслою, Одной иэ причин появления отслоя, отсутствия сцепления между50 плакируемыми материалами является загрязненность соприкасаемых поверхностейили их травмирование, нарушение активного слоя после зачистных машин,Устройство, в котором обеспечивается55 надежное ограничение натекания газов через уплотнительный блок в вакуумную камеру, путем выполнения щелевого каналабольшой протяженности и исключениятравмирования поверхности ленты, путемустановки свободно проворачиваемых горизонтальных и вертикальных роликов, которые не позволяют ленте касаться стенок щелевого канала, испытано в составе автоматизированной линии по производству биметаллической проволоки, Устройство показало надежную работу в вакуумной камере. Формула изобретения Устройство для подачи ленты в вакуум, содержащее защитную вакуумную камеру, в которой размещен уплотнительный блок с горизонтальным щелевым каналом для подачи ленты и уплотняющими горизонтальными зеркально-симметричными роликами,4-4 о 1 л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения деформации ленты, в него введены вертикальные направляющие ролики, установленные попарно и зеркально-сим метрично относительно вертикальной плоскости симметрии горизонтального щелевого канала в промежутках между горизонтальными уплотняющими роликами, при этом между поверхностью каждого ро лика и телом уплотнительного блока выполнена щель, поверхность которой со стороны блока охватывает большую часть периметра окружности ролика и сопряжена с поверхностью щелевого канала, а ширина щели 15 выбра на равной (0,0004-0,002)О, где О - диаметр ролика,1709424 В-,8 г,4Г-ГСоставитель Ю.Яресько Редактор Т.Лошкарева Техред М.Моргентал Корректор Э,Лончаков Заказ 431 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5ательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101оизводствен