Вакуумный затвор для электронно-лучевой установки

(51)5 В 23 К 15 ОСУЦАРСТВЕННЫИО ИЗОБРЕТЕНИЯМРИ ГКНТ СССР МИТЕТОТКРЫТИ НИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВТОР КО ВИДЕТЕЛЬСТВ 46чно-иссрский освар ледовательский и технологиче чного оборудо я пушка установки Ьой - Негаецз, Черции М 5.440-1855 О,КТть ово- ты лае, а именжет быть носится к сварк рудованию, и м тронно-лучевы рмообработки,ения является оты вакуумног ода электронн(53) 621. 791. 72 (088.56) Электронно-лучеЕЯО/15/3 - 60 фирмытеж М 0301, документ 54) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР ДЛ Я ЭЛ РОННО-ЛУЧЕВОЙ УСТАНОВКИ 57) Изобретение относится к сварке, а и о к вакуумному оборудованию, и может спользовано в электронно-лучевых уста ах для сварки и термообработки. Цель ретения - повышение надежности ра акуумного затвора и срока службы ка лектронно-лучевой пушки. Заглушка 2 Изобретение от но к вакуумному обо использовано В элОк ках для сварки и те Целью изобрет ние надежности раб и срока службы кат пушки. На фиг,1 изобр в закрытом положе откры.ом полокени Вакуумный зат клапан, состоящий и уплотнением 3. Загл ющую прокладку 4 к Основание 5 выпалажен вакуумныи затвор нии; на фиг,2 - то же, в и.вор представляет собой з плиты 1 и заглушки 2 с ушка 2 через регулирурепится к основанию 5, нено в виде Т-образного пана с уплотнением 3 закреплена через регулирующую прокладку 4 на основании 5. В основании 5 выполнен сквозной фасонный паз 6, При перемещении подшипников 7 по криволинейным направляющим 8 до упора 9 осуществляется подвод к лучепроводной втулке 10 и контакт с наклонным посадочным местом 11. Перемещением по фасонному пазу б подшипнИка 12, кинематически связанного со штоком 16 пневмоцилиндра 17, обеспечивается посадка и поджатие к посадочному месту 11 заглушки 2 клапана, Усилие поджатия заглушки 2 клапана к посадочному месту 11 регулируется пружинами 18 и 20. Вакуумный затвор обеспечивает безотказную работу по натеканию в течение 6000 циклов откачки. Использование вакуумного затвора данной конструкции повышает производительность работы установок за счет сокращения времени на переналадку и профилактику катодного узла, 1 з.п. ф-лы, 2 ил. профиля с фасонным сквозным пазом б в полке профиля. Основание 5 через подшипники 7 качения находится в контакте с криволинейными направляющими 8, которые закреплены на плите 1, Перемещение основания 5 по криволинейным направляющим 8 ограничивается упором 9, закрепленным на лучеп роводной втулке 10. Лучепроводная втулка 10 имеет наклонное посадочное место 11 под заглушку 2 клапана и установлена соосно плите 1 клапана. В фасонном сквозном пазу б основания 5 размещен подшипник 12 качения, установленный на оси 13 в прорези ползуна 14, Ползун 14 установлен на подшипниках 15 качения и жестко соединен со штоком 16 пневмоцилиндра 17. Пру жлна 18 сжатия расположена в расточке 19ползуна 14, а пружина 20 растяжения коепится одним концом к ползуну 14, а другимк основанию 5 клапана,Вакуумный затвор работает следукшим 5образом, .В исходном (открытом) положении (см.фиг.2) заглушка 2 клапана занимает крайнееотведенное положение от посадочного места 11 лучепроводной твулки 10 на чертеже 10заглушка расположена вегтикально). Пружина 18 сжатия прижимает подшипник 12 коснованию 5 клапана, а пружина 20 растжения прижимает подшипник 7 к криволинейным направляющим 8. 15При подаче сжатого воздуха в пневоцилиндр 17 шток 16 перемещается в сторону клапана и толкает ползун 14. Гриперемещении ползуна 14 шарикоподшлпник 13 начинает перемещатся по фасонно-, 20му пазу 6, сообщая таким образомпоступательное движение основанию 5 клапана. Когда подшипникн 7 качения основания 5 начнут движение по криволинейг ымнаправляющим 8, заглушка 2 клапана накгонится к посадочному месту 11 лучепроводнойвтулки 10 клапана. В момент касания годшипником 7 упора 9 заглушка 2 основания 5опустится на посадочное место 11 лучег:.роводной втулки 10 клапана, 30При дальнейшем перемещении ползуна14 подшипник 12 займет крайнее положе.ние фасонного паза 6 основания и прижметзаглушку 2 к посадочному месту 11 клапана,Вакуумный затвор был испь.тан на двух 35установках типа УВЛУХ,И и безотказно проработал 600 циклов, обеспечив надежное выполнение сварочного режима исохранность катода, электронно-лучевойпушки, 40Технико-экономическая эффективностьпри использовании лзобретения обус-,ловлена уменьшением трудозатрат насмену катодов электронна-лучевой пушки,выходящих из строя при оазах вакуумных 45затворов из-за прорыва пазов в катодныйузел, а также снижением брака из-за прерывания процесса сварки по причине развакуумирования объема электронно-лучевой пушки,Формула изобретения 1. Вакуумный затвор для электронно-лучевой установки, содержащий клапан в виде заглушки с уплотнением и плитой, направляющие, упор и ползун с двумя подшипниками качения, закрепленными на штоке и установленными на направляющих, о тл ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности работы затвора и срока службь", катода электронно-лучевой пушки, он снабжен криволинейными направляющими, основанием, выполненным в виде Т-образного профиля с фасонным сквозным пазом в полке профиля, тремя дополнительными подшипниками качения, лучепроводной втулкой с посадочным местом под заглушку клапана, выполненным наклонным к оси лучепроводной втулки, пружинами сжатия и растякения и регулирующей прокладкой, при этом вдоль оси ползуна выполнена прорезь под полку Т-об 1 эазного Основания, а один из дополнительных подшипников качения установлен в упомянутой прорези и в сквозном фасонном пазу полки основания с возможностью перемещения по этому пазу, при этом криволинейные направляющие закреплены на плите клапана, упор закреплен на лучепроводной втулке, установлен. ной соосно плите клапана, остальные два дополнительных подшипника качения закреплены на основании и установлены в контакте с криволинейными направляющи. ми, заглушка закреплена на основании через регулирующую прокладку, а основание подпружинено пружинами сжатия и растяжения относительно ползуна и установлено с возможностью перемещения по криволинейным направляющим.2.Затвор поп 1,отл ича ю щийся тем, что в ползуне выполнена расточка, пружина сжатия расположена в ней между торцом штока и торцом полки основания, а пружина растяжения закреплена одним концом на ползуне, а другим на основании, 16980151698015 ИЦ 19 Щ акаэ 4354 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 КНТ СССР оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина 1 Составитель И,фролов едактор В.фельдман Техред М,Моргентал Корректор Н,Король