Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

.1.; а ГВ и 1 е;- рехан 11 зм рГ:здви:ке;,. . в.;: е, Онт 1;рованной на основании ЛО 1 г ВС:гНОй ШЕ ТСПН .ВааИМОДЕ.-1 СТВаОЩИКг - ,г лц-"г И - д-. КаКДагг гОЕЙКа, :0 В 1- "О а бОт Ка ПЛЗСТИ 1 ,100110 о.зоо" К 1 Пг 1 агКИ СО ШКИ"Изобретение относится к транспорти.рующим устройствам, может быть использовано в полупроводниковом производстведля подачи полупроводниковых пластин ифотошаблонав на позицию обработки и является усовершенствованием устройства поавт.св. Ь 1046177,Целью изобретения - повышение надежности работы устройства.На фиг,1 изображено описываемое устройство, вид сверху; на фиг.2 - разрез А-Ана фиг.1; на фиг,3 - разрез Б-Б на фиг,1; нафиг,4- вид В на фиг.2,Устройство для транспортирования иподачи на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 шкивы в видероликов, попарно соединенные между собой планками 5 и 6. Огибаемье транспортггругощими шнурами 7 и 8, Планки 5 и 6 20снабжены натяжными роликами 9, ведущиешкивы 4 - эластичными кольцами 10. Наосновании 1 в горизонтальной плоскостиперпендикулярно плоскостям 5 и б смонтированы цилиндрические направляющие 11 25и 12 и ось 13. На направляющих 11 и 12смонтированы цилиндрические зубчатыерейки 14 и 15, сопряженные с шестерней 16,закрепленнсл на валу электрапривода 17,На зубчатых рейках 14 и 15 жестко закреплены планки 5 и 6, Транспортные шнуры 7 и8 имегат механизм падьема и опускания,выпогненный в виде смонтированной наоси 13 вилки 18, на которой установлен танвал19, сггабженный шкивом 20. Вилка 18 снабжена 35плоской пружиной 21, на которую воздейст. вует посредствам регулируемого упора 22кулачок 23, закрепленный на валу электрапривода 24, Шкив 20 соединен са шкивок25, закрепленным нэ валу электрапривада 4026 гибким шнуром 27, На планках 5 и,.густанавлень регулируемые упоры 28, а нэкранцлейнах 29 - - регулируемые упоры 30,Злектропривод 26 является приводомтранспортных шнуров 7 и 8,Устройство работает следующим образом. В исходном положении кулачек 23 свсим большим радиусом Обращен к регулиру емому упору 22, при этом вилка 18 повернута вокруг оси 13 в верхнее положение, танвал 19 взаимодействует с эластичными кольцами 10, а планки 5 и 6 установлены в верхнее положение, ограни ченное регулируемым упором 30, Регулиру емым упором 22 установлено усилие деформации плоской пружины 21, определяощее усилие прижатия тонвала 19 к эластичным кольцам 10 веДущих шкивов 4. нВерхние образующие транспортирующих шнуров 7 и 8 располагаются выше плоскости рабочей позиции 2, а расстояние между ними меньше габаритного размера транспортируемого изделия.Изделие, например полупроводниковая пластина, из кассеты (не показана) загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с рабочей позиции 2, представляющей собой, например, ротор центрифугг, после чего электропривод 26 отклочают и вкл,очают электропривод 24. При этом кулачок 23 поворачивается на 180, вследствие чегс вилка 18 под действием гибкого шнура 27 опускается, проворачиваясь вокруг оси 13 до выода ИЗ контакта тон вала 19 с эластичными кольцами 10, Планки 5 и б при этом опускаются до соприкосновения регулируемого упора 28 с осью 13, Зле 1 тропривод 24 выключают и вклгочают злекгропривод 17, Шестерня 16, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 14 и 15 па направля;Ошим 11 и 12 во взаимно противоположных направлениях. При этом, закрег 1 ленные на рейках 14 и 15 планки 5 и 6 вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 шкивами и транспоотирующими шнурами 7 и 8 раздвигаются и выходят из зон;. обработки. Рабочая позиция 2 закрывается специальным колпаком (не показан), под которым производится технологи еская операция, например проявление или нанесение фоторезиста, По истечении времени обработки колпак снимают и включают злектрапривод 17 в обратном направленил. Планки 5 и б перемещаотся по направляющим 11 и 12 и оси 13 до поло- :кения, при котоаом транспортиру ощие шнуры 7 и 8 Оказываются под обрабатываемым изделием, после чего электроп ривод 17 выключают и включают алек;ропривод 24. Кулачок 23, поворачиваясь на 180", воздействует на вилку 18, поворачивая ее вверх оси 13. При этом тонвал 19, воздействуя на эластичные кольца 10, поворачивает планки 5 и 6 вокруг направляющих 11 и 12,гс занятия планками 5 и б положения, определемого регулируемым упором 30, тонвал 19 вступает в контакт с эластичнь 1 ми кольцами 10, а транспортирующие шнуры 7 г 8 поднимают изделия с рабочей позиции 2, Включается электропризод 26, который через гибкий шнур 27 приводит ва вращение тонвал 19 и посредством эластичных колец 10 - ведущий шкив 4, При этом изделие падается с приемную кассету, а очередное изделие гз подающей кассеты поступает но транспортирующие шнуры 7 и 8 (а:сеть не показаны) Цикл повторяется, Редактоо Н,Химчук