Устройство для выращивания кристаллов

(55 С 30 В 15/О ЕНИЯ ОБ САНИ имии СО А в, А.А,Пав 607, ИЕВЛ приборостог. НовосиЕ эом хты в тигель 13 его к 9 на штоке 15, опувниз, Устанавливают 11 и герметизируют тропитание нагрева- тигле 13 производят роцесс выращивания еском режиме по завыращенеры через ия процес екают из к ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ О ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Установка Кристалл -682312.000. Выставка научногроения. Анотированный катабирск; Наука 1984, с, 116 - 11 Изобретение относится к выращиванию кристаллов, применяемых в электронной и химической промышленности, в цветной металлургии, и касается устройства для выращивания монокристаллов методом вытягивания из тигля с расплавом. Цель изобретения - снижение высоты устройства, повышение жесткос ги конструкции и удобства обслуживания.На фиг,1 представлено устройство, продольный разрез; на фиг,2 - вид А на фиг.1; на фиг.3 - разрез Б-Б на фиг 1; на фиг,4 - разрез В - В на фиг,3.Устройство содержит герметичную камеру 1 с рубашками охлаждения 2 Камера 1 содержит две горизонтальные плиты 3 и 4, размещенные одна над другой и скрепленные вертикальными рамой 5 и дополнительной рамой 6, установленными парэллельно, Рамы 5 и 6 снабжены дверями 7 и 8 соответственно. В верхней плите 4 выполнен люк 9 с крышкой 10, на которой установлен механизм 11 вращения и вертикального перемещения затравкодержателя 12. Внутри камеры 1 установлен съемный тигель 3, окру(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ(57) Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает снижение высоты устройства, повышение жесткости конструкцйи и удобства обслуживания, Камера устройства выполнена в форме двух горизонтальных плит. скрепленных вертикальными рамами, имеющими двери, В верхней плите выполнен люк, на крышке которого установлен механизм вращения и перемещения затравкодержателя, Высота камеры снижена на 50(, 4 ил,женный нагревателем 14, Тигель 13 размещен на штоке 15, который связан с датчиком массы 16, жестко закрепленным на нижней плите 3 Устройство включает пульт управления 17, в который входят блои управления двигателями механизма вращения и вытягивания монокристаллов, уравновешивания весов, формирования задания веса, формирования закона регулирования, автоматического регулирования температуры, регистратор температуры и регистратор веса автокомпенсационный(не показаны).Устройство работает следующим обраПосле загрузки ши устанавливают через лю ская тигель вертикально крышку 10 с механизмом камеру. Включают элек теля 14, плавят шихту в затравливание идалее и проводится в автоматич данной программе. После окончан ный кристалл извллюк 9, Также через люк 9 извлекает тигель 13 с остатками шихты.Использование предлагаемого устройства р отличие от известного позволяет на 30 - 50", сократить высоту камеры, и на 10 - 20; ширину, тем самым повысив ее компактность, жесткость, устойчивость и удобство в обслуживании,Выполнение операции загрузки тигля облегчается наличием люка в верхней плите, через который тигель извлекается из печи и из камеры простым подъемом. При установке тигля внутри печи сверху и с боков обеспечен достаточный обзор и доступ к тиглю. Операция извлечения и установки тигля с шихтэй легко механизируется с помощью обычных грузоподъемных устройст,Формула изобретения Устройство для выращивания кристаллов, включающее герметичную охлаждаемую камеру, снабженную вертикальной рамой с дверью, съемный тигель, размещенный внутри камеры и связанный с датчиком массы, нагреватель, расположенный коак сиэльно тиглю, и затравкодержатель установленный над тиглем и снабженный механизмом вращения и вертикального перемещения, отл ич а ю щеес я тем, что, с целью снижения высоты устройства, по вышения жесткости конструкции и удобства обслуживания, камера снабжена горизонтальными плитами, установленны ми по ее торцам, и дополнительной вертикальной рамой с дверью для крепления 15 плит, в верхней плите выполнен люк дпа.метром, большим диаметра тигля, снабженный крышкой, на которой установлен механизм вращения и перемещения затравкодержателя, а датчик массы жестко 20 закреплен на нижней плите.1624066 Составитель В. Захаров - ЧеренковТехред М. Моргентал Корректор С.Шекмар едактор И. Сеглян Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 Заказ 171 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5