Способ изготовления высоковольтного диода

)4 В 23 К 11 НЫЙ НОМИТЕТ ССС БРЕТЕНИЙ И ОТНРЫ ГОСУДАРСТВЕПО ДЕЛАМ И ИЯ СПИ НИЕ ИЗ ОБРЕТЛЬСТВУ ОМУ СВИ Н АВТОР(54) СПОСО НОГО ДИОДА (57) Изобр проиэводст ковольтных является у ния полярн тносится к о роводниковых Целью изобр операции оп лбиков. В сп сти ени высотенияеделесобе лу одов щени и стИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТ изготовления высоковольтного диода при сборке под пайку к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину иэ пористого смачиваемого припоем ферромагнитного. материала, преимущественно из никеля, с пористостью не менее 302. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может быть пропитан припоем с боль 1 шим содержанием свинца, стойким к смеси кислот. Это позволяет вести травление диодных столбиков без вытравливания его ферромагнитного элемента. Пористый ферромагнитный материал, пропитанный свинцовосодержащим припоем, можно разрезать алмаз-ными дисками, не разрушая структуру столбиков1 з.п. ф-лы, 3 ил.1296335 Опробованию подвергали никелевыепластины с широким диапазоном пористости от 10 до 80Выявлено, чтоломка столбиков прн резке пакета пластин и при травлении значительно зависит от процента ее пористости(фиг.2).Из фиг.2 видно, что пористостьникелевой пластины должна быть неменее 30 ,В магнитном поле полученные столбики ориентировались и притягивалиськ магниту 5 одним концом. Проверкаполярности на опытных столбиках спомощью электрических измерений подтвердила 100 ,-ную точность определения их полярности в магнитном поле,При определении полярности могутбыть использованы 2 кассеты: в однойкассете 6 для размещения столбиковвыполняют сквозные вертикальные отверстия с магнитным дном, На первуюкассету соосно накладывают вторую 7,также имеющую цилиндрические углубления по длине столбика. Всю системупереворачивают и во вторую кассетуссыпаются столбики с противоположнойполярностью. Предлагаемый способ позволяет определять полярность столбиков на ранней стадии изготовления диодов, например непосредственно после резки пакета пластин на столбики, Это дает воэможность комбинировать длину полупроводниковой структуры путем спаивания в кассетах двух н более коротких столбиков между собой перед травлением нарушенного слоя, Последнее упрощает технологию получения высоковольтных полупроводниковых структур и уменьшает габариты прибора. Способ упрощает определение поляр ности столбика, поскольку кристаллы ориентированы между собой, а ферромагнитный элемент может быть расположен у одного из его полюсов. Изобретение относится к производству полупроводниковых высоковольтныхциодов, применяемых, например, в блоках строчной развертки цветных телевизоров. 5Цель изобретения - упрощение операции определения полярности столбиков.На фиг.1 изображен пакет пластинс дополнительной пластиной из лористого никеля, разрез; на фиг,2 - зависимость процента лома столбиков прирезке пакета алмазными дисками отпроцента пористости никеля; на фиг,З -схема расположения кассет и магнита 15при рассортировке столбиков по полярности,Способ изготовления высоковольтного диода заключается в следующем.Пластины 1 с р-и-переходом собирают в пакет с размещением между ними припоя 2. К одной стороне пакетаприсоединяют дополнительную пластину3 из пористого ферромагнитного материала, например из никеля, с пористостью не менее 30 . Всю сборку паяли в ванне с расплавленным припоем,Спаяный пакет разрезали по линиямА реза алмазным диском на столбикис последующим травлением и промывкой. З 0ферромагнитный материал должен хорошо смачиваться оловянно-свинцовымиприпоями. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может бытьпропитан припоем с большим содержанием свинца, стойким к смеси кислот,что позволяет вести травление столбиков без вытравливанйя его ферромагнитного элемента. 1 40Пористый ферромагнитный материал, пропитанный свинцовосодержащим припоем, можно разрезать алмазными дисками, не разрушая структуры столбиков, и травить столбики в смеси кислот, 45 не вытравливая ферромагнитного элемента.Благодаря протяженности столбика, содержащего ферромагнитный элемент на одном своем конце, в магнитном поле создается момент сил, ориентирующий столбик и притягивающий его к магниту. П р и м е р. Способ опробован на участке изготовления высоковольтного диода типа КЦ 117. В качестве ферро- магнитного элемента применена лента из пористого никеля толщиной 50 мкм. Из этой ленты вырезали диски с диаметром, равным диаметру кремниевых пластин, используемых прн изготовле- нии высоковольтных диодов. К одному из полюсов пакета, состоящего из 10-ти пластин, присоединяли диск из пористого никеля н всю сборку спаивали в ванне с расплавленным припоем ПОС. Спаянный пакет разрезали алмазным диском на столбики, затем травили, промывали, защищали и сушили.4 1296335 гп 40 Формула изобретения 1. Способизготовления высоковольтного диода, включающий спаивание ориентированных пластин с р-п-перехо дом в пакет, резку пакета на столбики, травление столбиков и определение полярности столбиков перед соединением их между собой и к выводам, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, 1 О с целью упрощения операции определения полярности столбиков, перед спаиванием в пакет к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину из пористого смачиваемого припоем Ферромагнитного материала с пористостью не менее 3072. Способ по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве ферромагнитного материала берут никель,1296335 7 Составитель Л.АбросимсваТехред А.Кравчук Корректор О,Луговая Редактор Е.Копча Заказ 703/16 Тираж 976 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5