Электронный микроскоп

0103 СОВЕТСНИХ ЦИАЛИСТИЧ ЕСНИ БУБЛИК 9) (И) Е 1 4 Н 01 АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ О о ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ. ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Пилянкевич А, Н., Клиновицкий А. М. Электронные микроскопы.Киев: Техника, 1976, с. 103,Электронный микроскоп ЕМ. Про. спект фирмы Ор 1 оп, ФРГ, 1981.(57) Изобретение относится к электрозондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа. Цель изобретения- повышение информативности исследований. Она, достигается путем ускорения цикла фоторегистрации электронногоВизображения, а также снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пучком высоких энергий, Электронный микроскоп содержит размещенные соосно источник 1 электронов, объективную линзу (Л) 2, столик 3 объектов, пр межуточнув П 4, проекционную Л 5 с магнитапроводом 6, отклоняющую систему 7, экран 8 фоторегистрации и экран 9 визуального наблюдения, наклон которого под углом й обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объ екта. Условия выбора величины угла приводятся в описании изобретения.510 5 :20 25 30 35 40 45 50 ВНИИПИ Заказ 3713/53 Тираж 643 Подписное Произв.-полигр пр-тие, г Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению, вчастности к электронно-зондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, например к электроннЫм микроскопам просвечивающего типа.Целью изобретения является повышение информативности исследований,проводимых с помощью электронногомикроскопа, за счет ускорения циклафоторегистрации электронного изображения и снижения влияния искажений,обусловленных длительным облучениемобъекта электронным пучком высокойэнергии.На чертеже изображен предлагаемыймикроскоп,Электронный микроскоп содержит раз"мещенные соосно источник 1 электронов,объективную линзу 2, столк 3 объектов, промежуточную линзу 4, проекци"онную линзу 5 с магнитопроводом 6,отклоняющую систему 7 и экран 8 фото"регистрации, В непосредственной близости от экрана фоторегистрации подуглом к нему установлен экран 9 визуального наблюдения, причем наклонэкрана визуального наблюдения обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объекта.1Устройство работает следующим образом.Источник 1 электронов создаетэлектронный пучок, который проходитчерез объективную линзу 2, формирующую электронное изображение объекта,находящегося на столике 3 объектов,промежуточную линзу 4, проекционнуюлинзу 5 и отклоняющую систему 7, осу "ществляющие проецирование. увеличенного изображения на экраны фоторегистрации 8 и визуального наблюдения9. При этом при выборе участка объекта и фокусировке отклоняющая систе"ма 7 находится во включенном состоянии .и обеспечивает отклонение электронного пучка от электронно-оптичес-кой оси микроскопа на угол, необходимый для направления изображенияна экран 9 визуального наблюденияУгол наклона экрана визуального наблюдения к плоскости экрана фоторегистрации определяется геометрическими размерами экрана фоторегистрации,отклоняющей системы и расстоянием отпроекционной линзы до экрана. Наклонэкрана обеспечивает нормальное падение и попадание электронного пучкана экран визуального наблюдения, Увеличение этого угла нежелательно, так как монет привести к искажению наблюдаемого изображения из-за аберраций отклоняющей системы, которые растут с ростом угла Х.При фотосъемке отклоняющая система 7 находится в выключенном состоянии и электронно-микроскопическое изображение попадает на экран 8 фоторегистрации, расположенный соосно с источником электронов. Таким образом осуществляется безынерционное переключение электронного изображения с одного канала регистрации на другой, что позволяет значительно сократить цикл проведения исследований на электронном микроскопе, повысить достоверность и информативность научных результатов за счет искпючения артефактов, связанных с удлинением цикла одного исследования и вибрациями колонны электронного микроскопа. Формула изобретения Электронный микроскоп содержащийисточник электронов, последовательнорасположенные по ходу электронногопучка объективную, промежуточную ипроекционную линзы а также экраныфоторегистрации и визуального наблюдения, о т л и ч а ю щ и й с ятем, ч;то, с целью повьппения информативное,ти исследования, он снабженотклоняющей системой, размещенноймежду проекционной линзой и экраномфоторегистрации, а экран визуальногонаблюдения установлен перпендикулярно к оси электронного пучка при егонаибольшем отклонении на одинаковомно отношению к экрану фоторегистра-,ции расстоянии от центра отклоненияотклоняющей системы,