Устройство для смены образцов в сверхвысоковакуумном эмиссионном микроскопе

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСИИХРЕСПУБЛИН 9) 111) 7/20 и ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗО(46) 23.10.83, Бюл. М 39 ,(72) В,М. Пумпурс А.А. Бадунс, Л,А. Пасторс .и А,Р. Андерсонс (71) Латвийский ордена Трудо- вого Красного Знамени государственный университет иМ. П, Стучки (53) 621,385.833(088.8)(56) 1. Патент Японии Р 49-5590, кл. 99 с 301, опублик1974.2. Авторское свидетельство СССР Р 367804, кл. Н 01 д 37/26, 1971 (прототип).(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЦОВ В СВЕРХВЫСОКОВАКУУМН НОМ МИКРОСКОПЕ, содержащ перемещения фокусирующей предметный столик с держ разцов и механизм подъем столика, о т л й ч а ю щ тем, что, с целью упроще ции и управления, фокуси тема. жестко соединена с рейкой, параллельной опт и связанной с механизмом поворота столика, а держ цов жестко соединены с д ными зубчатыми рейками, лярньми оптической оси и с предметным столиком. МЕНЫ ОБРАЗМ ЭМИССИОН- е механизм системы;телями оби поворота е е с яя конструк ующая сисубчатойической оси подъема ители образ- полнитель- ерпендику- связаннымиИзобретение относится к эмиссионной электронной микроскопии и можетбыть использовано в эмиссионных электронных микроскопах и в других приборах, предназначенных для исследования электронной эмиссии. 5Известны устройства для сменыобразцов в электронных микроскопах,которые содержат предметный столик,держатели образцов, кассету для хранения держателей и механизм поворота предметного столика и предназначены для исследования и смены помещенных в них образцов в условиях высокого вакуума 1 .Недостатком этих устройств является то, что установка и смена образцов происходит через вакуумныевводы с помощью специальных органовуправления, что уменьшает предельный вакуум системы.Наиболее. близким к изобретениюпо технической сущности являетсяустройство для установки и сменылюбого из шести помещенных в немобразцов без нарушения вакуума в колонне прибора и без нарушения режимаего работы, содержащее перемещаемуюФокусирующую систему, предметный столик с держателями образцов и механизм подъема и поворота столика:.Держатели образцов размещены на ЗОдиске, приводимом в движение винтовой парой. Управление фокусирующейсистемой и диском выполнено раздельно 2 .Недостатком известного устройства 35является сложность конструкции и управления, что снижает предельное достигаемое разрежение в колонне микроскопа и точность установки.Целью изобретения является упрощение конструкции и управления устройством.Указанная цель достигается тем,что в устройстве для смены образцовв сверхвысоковакуумном эмиссионноммикроскопе, содержащем механизмперемещения фокусирующей системы,предметный столик с держателями образцов и механизм подъема и поворо та столика, фокусирующая системажестко соединена сЗубчатой рейкой,параллельной оптической оси и связанной с механизмом подъема и поворота столика, а держатели образцовжестко соединены с дополнительнымизубчатыми рейками, перпендикулярными 5оптической оси и связанными с предметным столиком,На Фиг. 1 показано предлагаеМоеустройство, продольный разрез; нафиг. 2 - то же,поперечный разрез. бОУстройство содержит шесть тиглей1 с образцами, закрепленными в держателях 2 образцов и размещенными в1эйранированных камерах 3 на предметном столике 4. Держатели 2 образцов 65 закреплены на концахдополнительных зубчатых реек 5, приводимых в движение зубчатым механизмом б, состоящим из зубчатого колеса 7, шестерен 8 и 9, переменно входящих в зацепление с неподвижными зубчатыми секторами 10 и 11. Строго определенное положение зубчатого колеса 7 и шестерен 8 и 9 достигается фиксирующим пружинным кольцом 12, Предметный столик 4 расположен на механизме 13 подъема и поворота столика, который с помощью зубчато-храповой передачи 14, зубЧатой рейки 15 и стержня 16 связан с фокусирующей системой 17. Сильфонно-рычажный механизм 18 позволяет перемещать фокусирующую систему 17 в вертикальном направлении. Подъем и Фиксация предметного столика 4 осуществляется с помощью выступов 19, входящих при вращении предметного столика 4 в углублении 20. Для первоначальной установки предметного столика 4 служат штифты 21, а столик с тиглями 1 вводится в колонну 22 через вакуумный люк 23 после снятия фланца 24. Нагрев тиглей 1 с образцами осуществляется нагревательной спиралью 25Смена образцов осуществляется следующим образом. С помощью сильфонно-рычажного механизма 18 фокусирующую систему 17 поднимают вверх, открывая при этом камеру 3, При определенной высоте стержень 16 начинает перемещать, вверх зубчатую рейку 15, которая, действуя на зубчато"храповую передачу 14; приводйт во вращение механизм 13 подъема и поворота столика, При этом выступы 19 выходят из углублейия 20, и предметный сто-, лик 4 поднимается вверх вместе с деталями, закрепленными на нем. Даль- нейшее вращение предметного столика 4 приводит к тому, что неподвижный зубчатый сектор 10, приводя во вращение шестерню 9 и зубчатый механизм б, перемещает дополнительную зубчатую рейку 5 с держателем 2 образца и тиглем 1 в радиальном направлении из центра в экранированную кайеру 3, Для уменьшения хода Фокусирующей системы зубчато-храповая передача 14 сконструирована так, что при движении фокусирующей системы 17 вниз механизм 13 подъема и поворота предметного столика продолжает вращаться в прежнем направлении, а неподвижный зубчатый сектор 11 с помощью шестерни В и зубчатого колеса 7 перемещает при этом следующий тигель 1 в центр устройства. После этого выступы 19 входят в углубления 20, предметный столик 4 опускается вниз вместе с деталями, закрепленными на нем. Ти-, ,гель 1 с исследуемья образцом приэтом устанавливается на определен"ной высоте над нагнетательной спиралью 25, а остальные тигли с образцами - в экранированных камерахЭ. Свободный ход конца стержня 16обеспечивает воэможность перемещения 5факусирующей системы 17 при фокусировке микроскопа без изменения поло"жения других деталей устройства. Таким образом, предлагаемое устройствопозволяет осуществлять смену образцов при одном управляющем органе, выведенном за пределы колонны, а именно механизме перемещения фокусирующей системы. При этом улучшаются условия достижения предельного вакуума, что повышает достоверность результатов исследований,Составитель В. ГаврюшинТехред М,Гергель Корректор О. Била актор И, Никола Заказ 8439 филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектн 1 Тираж 703 ВНИИПИ Государственного к по делам изобретений и 13035, Москва, Ж, Раушска