Датчик квадрупольного масс-спектрометра

(71) Заявитель язанский радиотехнич АДРУПОЛЬНОГО 54) ДАТЧИ РА ПЕКТРО ение чувсь- способности Изобретение относится к масс-спект дра, причем радиус цилиндра совпадает с рометрии и может быть использовано при . радиусом посадочной поверхности.создании квадрупольных маях-спектромет Недостатками данного устройства явровс высокими разрешающей способностью ляются сложность изготовления таких и чувствительностью. электродов и, что особенно важно, спожВ известном датчике квадрупольного ность центровки электродов относительно фильтра масс-электроды выполнены в ви- плоскостей симметрии электрического поде круговых стержней, а для крепления ля.стержней используются посадочные повер-, Бель изобретения - увеличхности,совпадающие с поверхностями алек-;о вительности и разрешающейтродов 1 . квадрупольных масс-спектрометров,Поставленная цель достигается тем,Недостаток этого устройства заключаеъ что в датчике квадрупольного масо-спекься в сложности выполнения внутренних рометра, содержащем, по крайней мере, посадочных поверхностей.15 один электрод, выполненный в виде частиНаиболее близким техническим решением, гиперболического цилиндра в краевых к предлагаемому является датчик квадруобластях датчика электрод имеет участки польного масс-спектрометра, содержащий, поверхности, выполненные в виде плоскоопо крайней мере, один электрод, выпол тей,параллельных асимптотическим плоскосненный в виде гиперболического цилищ тям квадрупольной электродной системы. ра г . Изготовление электродов такого датчиВ известном датчике часть новерхиоо- ка может быть основано на применениити, предназначенная для их крепления, фрезерных станков с числовым программ- выполнена в виде части кругового цилин" ным управлением (ЧПУ). При этом и ги0896 решение позэлектродов с-спектромет шить ошибку 4 к увеличен чувствищийся тем, разрешающей сп ности, электрод чика выполнен с верхности, пара ким плоскостям ной системы,формула обретен Датчик квадр метра, содержаши электрод, выполи пербопического тво СССР./62, 1972 1,щютотип) в,3перболическая поверхность, и плоскость электродов должны выполняться по одной программе, что гарантирует точное взаим ное расположение посадочных и рабочих поверхностей. Применение станков с ЧПУ дает также высокую идентичность всех электродов в датчике, что особенно важ но при сборке датчика.На чертеже показана электродная сис тема монопольного масо-спектрометра. 1 ОСхема содержит полеобразуюшие элект. роды 1 и 2, плоскийизолятор 3. Уравнение гиперболической поверхности имеет вид3 -ХО 15 а плоскости: ч: Х Ь,где8= 1 Г 21-расстояние от плоскости электродадо плоскости симметрии, причем уровеньограничения гиперболической поверхности20Г - ЕхооГР ЬЯ 1В предлагаемой конструкции датчикаэлектроды собираются на керамическихпластинах, которые легко можно выполПредлагаемое техническое воляет упростить конструкцию в датчике квадрупольного мас ра и вследствие этого умень при сборке. Все это приведет нию разрешающей способности тельности масс-спектрометра. ольного масс-спектро, по крайней мере, одиннный в виде части гицилиндра, о т л и ч а юнить с высокой точностью, При атом цен тровка электродов получается автоматичеокн 1 а ее точность определяется только точностью изготовления керамической плей стинки. Уровень ограничения гиперболичеськой поверхности или относительная толщина керамической пластины. - могут битьоопределены из расчета ошибки в распреде ленин поля, вызванной заменой гиперболи ческой поверхности плоскостью в краевой области датчика. В таблице приведены значения среднеквадратичной ошибки в распределении поля, рассчитанной на ЭВМ1по всему рабочему объему датчика, от величины -,Если ъ первом приближении допустимую разрешающую способность определить какЯдог, то уже при - =ф 0,35 можОно получить в таком датчике разрешающую способность около 750. Зависимость среднеквадратичной ошибЯкив распределении поля от величины - ,.г,что, с целью увеличения особности и чувствительв краевых областях датплоскими участками поллельными асимптотическвадрупольной электродИсточники информации,ые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельсМ 463055, кл. б 01 М 27 . 2. Патент США 355345кл, Н 01 2 39/36, 1971