Способ изготовления электровакуумного прибора

(и)963117 ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик олннтельное к авт. саид-ву 2) Заявлено 27. 03. 81 (21) 326621/18 присоеиинением заявки М Н 01 ударетееацх камктет ь.СФР делам каеаретенак и открцтнк(72) Авторы изобретен Г.д. Гл О,Г. Егоров, Н.А, Иофис о ро кМЧАЮЗНА Я 5 А.ЕНТН 6. осковский инсти пвитель ЛИ 9 ТЕсд) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУИНОГОПРИБОРА ретение отно электроваку а более конк оддержанию в.Из водст (ЭВП) нию и куума ние д 21. после личны ится к произмных приборов .етно - к получе них высокого ва 15 Известны способы изготовления электровакуумного прибора за счет использования в качестве газопоглотителя пленки бария 1 1.Однако поскольку барий распыля:ется в вакууме, ограниченные сорбционные свойства образующихся плотных, или зеркальных пленок не могут обеспечить работоспособность крупногабаритных и материалоемких ЭВП, например цветных кинескопов, остаточное давление в них составляет при этом около 10 Па. Оно не понижается и тогда, когда цтобы изменить состав разреженной среды (например с целью дополнительной активировки оксидного катода следами водорода), производят электронного машиностр ни довательно распыле вух разх газопоглотителейИзвестен также способ изготовления электровакуумного прибора, включающий распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки прибора в среде азота. При этом образуются рыхлые или диффузные пленки с повышенной концентрацией сорбционных центров, и остаточное давление уменьшается до 10 4 Па.Недостатком известного способа изготовления ЭВП является то, что дальнейшее улучшение вакуума ЭВП этим способом невозможно, так как: внешняя поверхность пленки газопоглотителя дезактивируется адсорбируащимся азотом в окончательные моменты распыления бария; часть бария, расходуемая на связывание азота за счет окклюзии, в дальнейшем постепенно освобождается, и остаточная среда ЭВП обогащается трудноудалимой компонентой.3 96Цель изобретения - улучшение вакуума в приборе.Указанная цель достигается тем,цто в способе изготовления электровакуумного прибора, включающем распыление бариевого газопоглотителяна определенное место оболочки в сре"де.азота, через 2-3 с после началараспыления бария на другое места оболоцки прибора в течение 3-5 с напыляют металлицеский литий,Этот способ основывается на обнаруженных особенностях напылительногои сорбционного процессов в разреженных средах, а именно на том, цто длявозникновения диффузной пленки достаточно, цтобы пары бария осаждалисьна мелкозернистом, кристаллическинапряженном зародышевом подслое этого металла, толщиной 10-153 от полной толщины пленки. Дальнейшее размножение активных сорбцирнных центров не требует, таким образом, пред- .варительно рассеивать испаряющиесяатомы бария молекулярным азотом (аналогичный эффект наблюдали, напримерпри осаждении щелочноземельных металлов в вакууме на матированноестекло). В момент образования зародышевого подслоя концентрация диспергирующего газа должна быть достаточно велика (давления порядка 1001000 Па), но коль скоро его структура оформилась, азот, адсорбция и окклюзия которого протекали бы парал-лельно с испарением бария, уже неулучшает, а ухудшает поглотительныесвойства пленки .Скорость взаимодействия азота с литием в 50-100 раз выше, нежели с барием, что единственно и дает возможность удалить диспергирующий газсразу же после образования зародышейкристаллизации и до того, как сконденсируется основная масса бария, которая таким образом не загрязняетсяазотом.Момент начала напыления лития"через 2-3 с после начала распылениябария определен из того, что эффективная толщина зародышевого подслоясоставляет около 1/8 от общей толщины бариевой пленки, на что и требуется указанное время, при меньшей задержке с момента начала напыления лития толщина упомянутого подслоя чересчур мала и, кроме того, технология становится неуправляемой. Увеличение задержки до 5-6 с ведет к за 3117метнои дезактивации поверхности азотом.Режим напыления лития 3-5 с при800-850, обусловлен тем, цто при более медленном напылении азот не успевает связываться, напротив слишкоминтенсивный нагрев ведет к вредномуразбрызгиванию расплавленного лития,П р и м е р. В кинескоп, снабжен ный бариевым кольцевым газопоглотителем типа КРАБс внутренним источником азота (нитридом железа),вводят азотопоглотительный элементв форме 20-30 мг металлического ли .тия, заштампованного в углубление никелевого Флажка и заваренного сверхуникелевой сеткой. После обычной вакуумной обработки прибора и церез2-3 с после начала распыления бария 2 О включают катушку ВЧ-нагрева литиевогоЪазотопоглотительного элемента, такчтобы в течение последующих 3-5 стемпература Флажка поддерживалась на,уровне 800-850 С, и пары лития не по падали на площаль конденсации(осаждения) бария; напыление газопоглотителя КРАБпроизводят в. соответствии с нормальной технологией. Какследствие образования диффузионного ЗО зародышевого подслоя бария, дальнейшего связывания технологического азота литием и окончательной диффузнойконденсации бария при давлениях невыше 0,1 Па, вакуум в готовом прибореулучшается до 10 - 10 Ь Па при одновременном изменении состава остаточных газов на более благоприятный (относительная концентрация азота снижается с 903 до 5-103).Использование предлагаемого изобретения, за счет улучшенного на 1,52 порядка вакуума, обеспечит увеличение технологического выхода цветных кинескопов на 5-73, а их долго вечности на 400-600 ц.Формула изобретенияСпособ изготовления электровакуум 5 ф ного прибора, включающий распылениебариевого газопоглотителя на определенное место оболочки прибора в средеазота, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью улучшения вакуума вприборе, через 2-3 с после началараспыления бария на другое место оболочки прибора в течение 3-5 с напыляют металлический литий.963117 Составитель Г. ЖуковаРедактор Ю. Середа Техред И.Надь Корректор В. Бутяга Тираж 761 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и.открытий113035 Иосква Ж, Раушская наб д. 4/5 Заказ 7528/78 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 5 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе,технология, И., Госэнергоиздат 1944, с. 360-364. б2. Патент США У 3387908,кл. 316-25, опублик. 1968.3. Новицкий Н.К. и др. Газопоглотитель антенного типа с активирующим 3 газом КРАБ. " "Электронная промышленностьн 1974 й 9 с. 49-50.