Способ получения вакуума

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски кСоцнапнстнчесинкРеспубпны и 954601(51)М. Кл. Р 04 В 37/02 Ввудэротеенный квинтет ССОР ао делам изобретений и вткрытнй(71) заявите СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА акуумной Изобретение оттехнике. оситс ру сор ьно ум тавлен ции пр Известен спосо путем откачки газ сом с периодическ чиваемый объем пр получения вакуума сорбционным насой подачей.в откамывного газа 113 5 При получе способом в ка используют ни ии ваку естве и а известныммывного газа ода нительн объем. объем укает вотельныхобъеме ода лож ожн загря дн рукции. Укаэанная о в качествь достига ся тем, аза исомывногоованный и пользуют десор чаемый из сорб онного на са при го нагрев кокипучии гаэ, дополаемый в откачиваемыйгаза в откачиваемый т технологию и вознить внесения дополнинений и накопления в15 онденсируемых газов. Цель изобретения - упрощение Причем температу бцнасоса последовател енНа чертеже предс атановки для реализа едл о способа.Установка содержит сорбционный насос 1, соединенный с камерой 2 через установленные на соединительных трубопроводах вентили 3 и 4, Давление в камере 2 измеряют при помощи манометра 5, а давление в насосе 1 при помощи манометра 6. Установка имеет также дополнительный сорбционный насос 7, работа которого контролируется манометром 8. Сорбционные насосы 1 и 7 имеют фильтры 9, 1 О и 11, 12.Сорбционный насос откачивает газ из камеры 2 через открытые вентили 3ми 4 до получения в системе предельно" го для данных условий вакуума. Откачка обеспечивается низкотемпературной адсорбцией и сопряжена с охлаждением3 95460сорбционного блока, например, с помощью сосуда Дьюара (не показан) схладагентом и с периодической проверкой предельного вакуума сорбционногонасоса при закрытом вентиле 4, Поокончании процесса всасывания (о чемсвидетельствует падение скорости изменения давления по манометрам 5 и 6)вентили 3 и 4 закрываются, сосудДьюара удаляется и насос нагревается 10атмосферным воздухом или посредствомспециального электронагревателя (непоказан) . Десорбирующийся при этомгаз проходит систему фильтров 9 и 10,препятствующих проникновению в каме Бру 2 мелкодисперсных фракций сорбента при нарушении режимов его обеэгаживания. По окончании процесса на-гнетания и заполнения камеры 2 газомдо определенного давления сорбционный насос опять погружается в сосудДьюара с хладагентом и процесс откачки камеры 2 повторяется без напускав вакуумную систему дополнительногоколичества газов, например, много"кратно. 0 герметичности системы судят по изменению давления по манометру 5 в процессе откачки камеры 2, обдуваемой снаружи одним иэ пробныхгазов: Не, Хе или Н, Предельный вакуум сорбционного насоса 1 контролируют по манометру 6, по величине этого разрежения судят о целесообразности дальнейшей откачки камеры 2 приданной пропускной способности комму 35никаций вакуумной системы.В повторных циклах откачки камерыпри том же или даже меньшем используемом количестве промывочного газаи постоянной начальной концентрацииего отдельных компонентов наблюдается тенденция к улучшению предельноговакуума; предельный вакуум, характерный для предыдущего цикла, должендостигаться за меньший промежуток4времени,После получения лучших и полностьювоспроизводимых результатов откачкипри определенных условиях термостатирования сорбционного насоса в повторных циклах всасывания и нагнетания0режим откачки изменяют и процесс повторяют при меньшем давлении и меньшемколичественном составе промывочныхгазов, причем уменьшение количественного состава производят в порядке исключения газов с наивысшей температурой конденсации. Это обеспечиваетсятемпературным воздействием на сорб 1 4ционный насос - понижением температуры нагрева сорбента.Непрерывность процесса откачки спрополаскиванием, уменьшение давления промывочного газа и постоянстводавления промывочного газа в процессе откачки могут быть обеспечены параллельной установкой дополнительногосорбционного насоса 7. Тогда в периодоткачки камеры 2 насосом 7 насос 1,прогреваемый в это время с помощьюэлектродвигателя (не показан), нагнетает предсорбированный гаэ в камеру 2. При этом сосуд Дьюара и электронагреватель меняют соответственноместами и возвращают на исходные позиции при смене циклов всасывания инагнетания у насосов 1 и 7. Нагнетаемый из насоса 7 газ проходит систему фильтров 11 и 12, аналогичнуюфильтрам 9 и 10 по конструкции и назначению. Контроль за давлением газов при работе насоса 7 осуществляется по манометру 8.Использование предлагаемого способа получения вакуума обеспечиваетвозможность упрощения технологии откачки , стабилизацию качества очистки промывочных газов, повышение быстроты откачки высококипящих газов ипаров и скорости газовыделения материалов камеры, улучшение условий кон 1 троля герметичности и чистоты камеры,что значительно повысит качество вакуумной технологии,формула изобретения1, Способ получения вакуума путем откачки газа сорбционным насосом с периодической подачей в откачиваемый объем промывного газа, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии, в качестве промывного газа используют десорбированный газ, получаемый из сорбционного насоса при его нагреве.2. Способ по и. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что температуру нагрева сорбционного насоса последовательно уменьшают.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе 1. Черепнин Н,В. Основы очистки,обезгаживания и откачки в вакуумной технике. И., советское радио", 967 с. 365-375.НИИ 954601 Заказ 6389/30Тираж 678 Подписно ал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,