Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей

О П И С А Н И Е ( 945699ИЗЬБРЕТЕН ИЯн двтовском свидательствю Союз СоаетскикСоциалистическиаРеспублик1 фвумрствсявьй квивтет СССР йв Фвавк звбретвей и вткрцткаДата опубликования описания 26.07,82 А. В. Шульженко, Л. И. Бударин, Ю. ф. фатеев,В. ф. Рогаль и, А. М. Сабадаш(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОНИЦАЕМЫХ ЭЛЕМЕНТОВ КОНТРОЛЬНЫХ ТЕЧЕЙ 1Изобретение относится к технологии изготовления одноканальных проницаемых элементов контрольных течей, используемых для контроля герметичности.Известен способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей,5 заключающийся в том, что наружную поверхность стеклянного капилляра йокрывают слоем токопроводящего материала путем напылении его в вакууме или осаж-о денни химическим путем и, ори непрерывной продувке полости капилляра газом, на полученный токопроводящий слой электролитнчески осаждают вакуумноплотный слой металла 11 .15Недостаток способа заключается в ог раниченности диапазона пропускной способности получаемых контрольных течей, поскольку для изготовления проницаемых элементов на потоки газа меньше . 20 1 СГфл. мкм/с при перепадах давления от 0,1 до.нескольких атмосфер, необходимо для продувки капилляра создавать в его полости давление, которое превьппает пре дел прочности стекла и разрушает капиллярНаиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводящий слой, герметизнруют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитнчески осаждают на токопроводящий слой ва куумноплотный слой металла. Концевой участсж капилляра герметиэируют путем установки капилляра в специальную оправку и касания концом капилляра капли предварительно загустевшего эпоксидного клея. После электролитического осаждения герметнзированный конец капилляра отрывают усилием, превышающим предел прочности стенки стеклянного капилляра 2Недостатком способа является сложность процесса герметизации капилляра,3 . 94569 требующего применения специальной точной оснастки, а также сложность обеспечения надежного контакта тонкого токопроводящего слоя с источником питанияпри электролитическом осаждении,Цель изобретения - упрощение про-цесса изготовления.Указанная цель достигается тем, чтосогласно способу изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающемуся в том, что на наружнуюповерхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводяший слой, герметизируют концевой участок сужающейсячасти капилляра и электролитически осаж дают на токопроводящий слой вакуумноплотный слой металла, герметизируют конпвой участок капилляра непосредственнов процессе электролитического осажденияпутем погружения его в жидкий металл, 20несмачивающий материал капилляра,Причем в качестве жидкого металлаиспользуют сплав Вуда.На чертеже изображено устройство дляосуществления способа, 25Устройство содержит зажим 1 длястеклянного капилляра 2, гальваническуюванну 3, размещенную в ней термостатированную ячейку 4, в-которой расположенакювета 5, заполненная жидким сплавомэаРуда 6, и микрометрическую головку 7 .для перемещения зажима 1; Способ осуществляется следующим образом.Стеклянный капилляр с диаметром вы 35 ходкого канала 0,08 мкм закрепляют в маятниковом устройстве универсального вакуумного поста под углом 45 о к направлению напыления токопроводяшего мате 40 риала из испарителя (чтобы исключить металлизацию выходного канала капилляра), и, вращая капилляр вокруг его оси, напыляют медь на наружную поверхность капилляра до толщины напыленного слоя около 0,5 мкм. После этого капилляр 245 с металлизированной поверхностью закрепляют в зажиме 1. На дно ванны 3 в термостатированную ячейку 4 помешают кювету 5, заполненную жидким сплавом Вуда 6, несмачивающйм стекло, Пере 50 мешая капилляр при помощи головки 7, по наличию электрического контакта фиксируют момент касания сужающейся час 9 фти капилляра с поверхностью сплава Вуда, Затем гальваническую ванну 3 заполняют пирофосфатным электролитом и при температуре раствора70 оС наращивают слой меди толщиной около 1 мм, В процессе электролитического осаждения электрический контакт источника питания с тонким токопроводящим слоем капилляра осушествляЬт через сплав Вуда, на поверхности которого выделился при заливе электролита тонкий слой контактной меди, механически связанный с токонроводяшим слоем капилляра. В некоторых случаях выступающий над развитой поверхностью конец стеклянного капилляра перед калибровкой отрывают,Изобретение позволяет получать проницаемые элементы контрольных течей с развитой имитирующей поверхностью из однородного материала на потоки газа до 110 л.мкм/с при перепадах давления от 0,1 до нескольких атмосфер,формула изобретения 1. Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводяший слой, герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитически осаждают на токопроводящий слой вакуумноплотный слой металла, о т л и ч а юш и й с я тем, что, с целью упрощения процесса изготовления, герметизируют концевой участок капилляра непосредст- венно в процессе электролитического осаждения путем погружения его в жидкий металл, несмачиваюший материал капилляра.2, Способ по и, 1, о т л и ч а юш и й с я тем, что в качестве жидкого металла используют сплав Вуда.1 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРпо заявке М 2776531/25-28,кл. б 01 М 3/02, 1979,2. Авторское свидетельство СССРпо заявке М 2896896/25-28,кл. 601 М 3/02, 1980 (прототип).945699 П оддисно вниип Заказ 5318 илиал ППП Тираж г. Ужгород, ул. Пр Г г