Способ изготовления перфорированных шаблонов

ПИСАйИЕЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ в 943842(89) 134012 ГДР.82. Бюллетень И 92 3) УДК 681,327. .66(088,8) ата опубликования описания 15. 07, 82 72) Авторы изобрете Иностран Диетер Менер, Хеинцлокш и Герд Рюффлер Иностр ФЕБ Э н к редприят ик Гера 71) Зайвнтея(54) СПОСОБ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕРФОРИРОВАНН Изобретениизготовлениянов, состоящитин перфорирощественно, изТакого родмер для ориков при изготнающих устройв электронныхнах. относится к способу ерфорированных шаблоиз нескольких пласанной фольги, преимуметалла,шаблоны служат, напринтирования сердечнинлении матриц запомитв (ЗУ), используемых вычислительных машиПерфорированные шаблоны, состоящие из нескольких пластин перфорированной металлической фольги, называемой далее просто фольгой, применяются для выравнивания кольцевых запоминающих сердечников матрицы ЗУПослойное построение такого рода шаблона необходимо потомучто для надежного ориентирования сердечников каждый отдельный сердечник должен находиться в ориентирующей щели имеющей форму, как можно более приб лиженную к воронкообразной, Так как эти кольцевые сердечники имеют диаметр всего несколько долей миллиметра, технологически было бы слиш ком сложно изготавливать эти воронкообразные ориеитируюшие цели в .1 лнослойном перфорированном шаблоне.Перфорация нескольких пластин Фольгипроизводится фотолитографическимспособом и путем травления.Известные технические решения длясоединения этих перфорированных пластин фольги друг с другом -этосклепывание, пайка либо сварка, Технология склепывания перфорированногошаблона для ориентации сердечниковявляется обычной. Но, так как длясклепывания используется только крайфольги, то, расположенные дальше от 5края перемычки между ориентирующими щелями друг с другом механически прочно не связаны и в следствие механического давления, возникающего при ориентировании сердечников, возникает коробление отдельных, расположенных друг над другомслоев фольги, так что перфорированный шаблон по истечении короткоговремени становится непригодным кработе, так как по технологическимпричинам должна соблюдаться постоянная толщина перфорированного шаблона. Кроме того, между отдельнымислоями фольги скапливаются вследствие коробления отдельные кольцевыесердечники, которые не поддаются более удалению и ведут к быстрому выходу из строя дорогостоящего перфорированного шаблона,Другая воэможность соединенияэтих пластин фольги может осуществляться спаиванием ийи свариванием,Недостаток этого способа состоит втом, что, начиная с небольшого размера ориентирующей щели, происходитзакупоривание перфорационных отверстий припоем, так что такого родашаблон не пригоден к работе. Тем,самым, этот способ также не соответ.1ствует международной тенденции наминиатюризацию, так как он не пригоден для небольших кольцевых сердечников.Цель изобретения вповышение надежности изготовления шаблона, сведение до минимума выходящих из строя 20дорогостоящих перфорированных шаб"лонов и обеспечение долгого строкаслужбы этих перфорированных шаблонов. Перфорированные шаблоны, изготовленные предлагаемым способом, 25должны иметь высокую степень надежности и применяться также для кольцевыхсердечников с минимальным диаметром.Кроме того, зта новая технологиясоздает предпосылку для фиксирования нескольких или больших полейпри изготовлении матриц ЗУ на ферритовых сердечниках. Сущность изобретения заключается в следующем.В основе изобретения лежит задача найти способ для изготовленияперФорированных шаблонов и схемы осуществления способа, при котором расположенные друг над другом пластиныфольги под влиянием давления,обусловленного технологией примене ния, не подвергаются более различной степени коробления и,кроме того,обладают высокой механической прочностью,Ссгласно изобретению эта задачарешается тем, что перфорированныепластины фольги по окончании процесса очистки с помощью хорошо смачивающей и обладающей незначительной вязкостью клейковины и остатки клея,имеющиеся в перфорации, удаляютсяна стадии затвердевания с помощью сжатого воздуха либо растворителя вструе сжатого воздуха или тем, чтодля склеивания друг с другом отдель-.ных слоев фольги применяются легкоплав-,кие клеи, и остатки клея, возможноимеющиеся в перфорации, химически раэ лагаются под воздействием реактивнойэлектрической разрядки и удаляются,Эти связанные таким образом между собой слои фольги после соответствующей лредварительной обработки покры ваются для улучшения качества поверх- ности гальваническим пскрытием,П р и м е р 1. Перфорированные слои фольги, изготовленные известным способом с помощью фотолитографии путем травления, из преимущественно медноникелевого сплава, подвергаются очистке, например .мытью с применением ультразвука, со специальными детергентами. После чего слои фольги покрываются клеем на базисе цианокрилата и соединяются. Остающиеся в перфорации остатки клея удаляются на стадии затвердевания с помощью растворителя в струе сжатого воздуха, например диметилформамида.П р и м е р 2. Между перфорированными слоями фольги располагаются слои фольги иэ легкоплавкого клея. Затем эта структура подвергается нагреву и спрессовывается, Избыток,легкоплавкого клея, возможно возникающий в перфорации, химически распадается в результате применения реактивной электрической разрядки, нагример с помощью кислородной плазмы, и удаляется. Связанные таким образом между собой слои Фольги после предварительной обработки, т,е, очистки и активирования, снабжаются гальваническим покрытием. В результате этого значительно улучшается качество поверхности, в особенности в ориентирующих щелях.У этих перфорированных шаблонов, изготовленных предлагаемым способом, отдельные перфорированные слои Фольги связаны друг с другом не только по краям, а также и на перемычках между отдельными ориентирующими щелями. Это способствует повышению внутренней механической прочности перфорированного шаблона, что, в свою очередь, повышает его срок службы и надежность при изготовлении матриц ЗУ на сердечниках.Формула изобретения 1. Способ для изготовления перфорированных шаблонов из фольгообразованных перфорированных пластин материала, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что пластины по окончании процесса очистки склеивают между собой и остатки клея, возможно имеющиеся в перфорации, удаляют на стадии затвердевания.2. Способ по п.1, о т л и ч а ю-. щ и й с я тем, что после соединения перфорированных слоев наносят гальваническое покрытие.3. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве хорошо смачивающего клея с малой вязкостью применяют циноакрилат,4. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве раство943842 Составитель В,ВакарРедактор М.Недолуженко Техред Т. Маточка Корректор А.Гриценко Заказ 5142/62 Тираж 622 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 рителя в струе сжатого воздуха для растворения клея используют диметилформамид.5, Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что для склеивания отдельных пластин из фольги применяют легкоплавкий клей.6. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я так, что остатки клея химически разлагают под воздействием реактивной электрической, разрядки и удаляют:7, Способ по пп, 1 и 5, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что в качестве легкоплавкого клея применяютпластины фольги из полиуретанаилиполиэтилена (сополимера поливинилацетата). 8. Способ по пп,1.и 6, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что остатки клея разлагаются и удаляются с помощью кислородной плавуны..Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Германской Демократической республики.