Номер патента: 930767

Авторы: Александров, Беккер, Новиков, Цогоев

ZIP архив

Текст

и 930767 Союз СоввтскинСоциапистичвскикРвспубпик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДФТИЪ СТОУ(5 й. л. Н 05 К 1/18 Ввудэ 8 атаанныа виват ЕССЕИ до делам зфбратаннй н открытей(54) ИИКРОЗОНДОВАЯ ГОЛОВКАИзобретение относится к измерительной технике и предназначено дляподсоединения (,электрического подключения) контрольно-измерительныхсистем к контактным площадкам кристаллов интегральных микросхем и больших интегральных схем (БИС),Известны многозондовые головкидля измерения электрических парамет"ров полупроводниковых приборов имикросхем, содержащие диэлектрический16корпус со стеклянными капиллярами,в которых расположены группы проволочных Г-образных контактов в соответствии с,контактными площадками 1 1.тНедостатком известных устройствявляется сложность технологии изготовления, обусловленная выполнениемкапилляров в стеклянном корпусе, атакже сложность изготовления контактов Г-образной Формы.Известна микрозондовая головка,содержащая корпус, три изоляционныеплаты с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты, причем в средней изоляционной плате отверстия выполнены овальной Формы 2).Недостатками этого устройства являются низкая технологичность конструкции из-за того, что детали изготавливаются механическим способом, а также недостаточная надежность контактирования из-за сложности обеспечения изоляции контактов при малом шаге между ними (например 0,2 мм). Цель изобретения - повышение технологичности конструкции и надежности контактирования при уменьшении шага между контактами.Цель достигается тем, что в микрозондовой головке, содержащей корпус, изоляционные платы с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты, изоляционные платы выполнены из светочувствительного стекла,930767 Формула изобретения ЗНа фиг, 1 изображена микрозондовая головка, разрез; на фиг. 2то же, вид сверху.Микрозондовая головка содержиткорпус 1, в котором закреплены изоля-ционные платы 2 и 3, выполненные из,светочувствительного стекла типаситалл "ЛЗ", с отверстиями, в которых размещены упругие проволочныеконтакты 4, закрепленные с одной 1 Остороны эпоксидным компаундом 5 исоединенные с измерительным блоком,Отверстия в платах 2 выполнены круглой, а в плате 3 - овальной Формы.Изготовление изоляционных плат 52 и 3 иэ светочувствительного стеклапозволяет использовать методы прецизионной фотолитографии при выполнениив платах отверстий для размещения контактов, обеспечивающие высокую точность их размеров и невысокую стоимость йх изготовления, так как большое количество изготавливается водном технологическом цикле,Работает устройств следующим об зразом.При контактировании с контактнымиплощадками кристалла 6 контакты 4упруго изгибаются в радиальном направлении при перемещении контактов восевом направлении, при этом овальныеотверстия в плате 3 обеспечивают направленный изгиб контактов и их изоляцию от другого. 4При окончании контактирования контакты 4 принимают первоначальную Форму под действием упругих сил,Использование современных методов интегральной технологии при изготовлении плат 2 и 3 обеспечивает высокую точность размещения контактов при уменьшении шага между ними и надежное контактирование (меньшее 0,2 мм), что позволяет уменьшить размеры контактных площадок на кристаллах полупроводниковых схем и гибридных БИС. Микрозондовая головка, содержащая корпус, изоляционные платы с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения технологичности конструкции и надежности контактирования при уменьшении шага между контактами, изоляционные платы выполнены из светочувствительного стекла,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР М 639396, кл. Н 05 К 1/04, 1977.2. Авторское свидетельство СССР Ь" 597100, кл. Н 05 К 1/04, 1976.930767 г ИПИ Заказ 3538/88раж 856 Подписное Филиал ППП г. Ужгород Патент",ул. Проектнэ

Смотреть

Заявка

2833396, 01.11.1979

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4152

АЛЕКСАНДРОВ ПЕТР ФЕДОРОВИЧ, БЕККЕР ЯКОВ МИХАЙЛОВИЧ, НОВИКОВ АНАТОЛИЙ ТРИФОНОВИЧ, ЦОГОЕВ ТАЙМУРАЗ КОСПАЛАТОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H05K 1/18

Метки: головка, микрозондовая

Опубликовано: 23.05.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-930767-mikrozondovaya-golovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микрозондовая головка</a>

Похожие патенты