Способ изготовления оптически управляемого транспаранта

Сова СоветскихСоцивттистичесиихРесттубиии ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯВОВО 1 ОМЮ САЙИДЕ т ЕЛхСУ 1 и 920018присоелинениехт заявки М3) Приоритет 9 вудврственьй кСССРВв делан кзобрвтекк отхрытнй виктвт летень14) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКИ УПРАВЛЯЕМОГО ТРАНСПАРАНТА к предлагаемому является способ,включающий изготовление двух идентичных структур путем напыления напрозрачную диэлектрическую подложку электропроводящей пленки, прикле- , ивания поверх нее стеклянной пластинь 1 до требуемой толщины, после чегомежду двумя структурами вклеивают полупроводниковую пластину (иэ В 1 510 оили В 1 СеО) Г 23Однако таким способом трудно полу) чить оптически качественные изолирующие слои из стекла тоньше 20 мкм,цто ограничивает разрешающую способность ОУТ разрешающая способность 1способа по уровню 0,05 составляет40 мин/мм), Кроме того, в процессесошлифовки стеклянной пластины дотребуемой толщины всегда наблюдается 1 то отступление от,плоскостности на ееповерхности возникают микроскопические дефекты царапины, трещины),чтообуславливает возникновение собственных оптических шумов ОУТ. Известный Изобретение относится к оптической обработке информации, в частности к способу изготовления устройств для пространственно-временной модуляции света.Известен способ изготовления оптически управляемого транспаранта (ОУТ) в виде симметричной ИДП- структуры, согласно которому на обе стороны полупроводниковой пластины. иэ материала с фотоэлектрооптицескими свойствами (В 11 Б 1 ОО, В 0 еОО последовательно напыляют слой парилена 1,полипараксилена) и прозрачный электрод из платины 1 1,Недостатком указанного способа является как низкая механическая прочность структуры в целом, особенно при использовании полупроводниковых пластин с толщиной около 100 мкм так и незащищенность проводящих и изолирующих слоев.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату92001способ изготовления ОУТ является трудоемким, что связано с большимчислом операций склейки и операциями прецизионной полировки.Цель изобретения - повышение разре-шающей способности и снижение уровняоптических шумов ОУТ.Указанная цель достигается тем,что согласно способу изготовленияоптически управляемого транспаранта, 10включающему нанесение на прозрачныедиэлектрические подложки электропроводящей пленки, изолирующего слоя изстекла и склеивания подложек с полупроводниковой пластиной, изолирую Зщий слой наносят термическим испарением гранул боросиликатного стекладиаметром 40-70 мкм в вакууме притемпера-уре испарителя 2000-2100 С,температуре подложки 110-130 С,скорость испарения 0,4-0,5 мкм/мин,Температура испарителя поддерживается в пределах 2000-2100(С чтообеспечивает режим взрывного испарения (при более низких температурах 2 Бобразуется расплав, а при более высоких происходит интенсивное испарение частиц от разогретого испарителя),Испаряемое вещество подают на испаритель из вибробункера в виде гранул диаметром 40-70 мкм, так какстекло с данным гранулометрическимсоставом обладает оптимальной сыпучестью и минимальным газосодержанием.Температуру подложки поддерживаютв пределах 110-130 ОС, Нижний пределобеспечивает адгезию, а верхнийсплошность пленки, Скорость испарениявыдерживают в пределах 0,4-0,5 мкм/мин,Предлагаемый способ позволяет последовательно наносить на подложкупрозрачный электродэлектропроводящую пленку), изолирующий стеклянныйслой в едином техническом цикле в одной и той же установке вакуумного напыления без выноса подложки на воздух, что существенно упрощает технологию изготовления ОУТ,На чертеже представлено получае- фмое многослойное иЗделие (,0 УТ),Изделие содержит полупроводниквую пластину 1, оптический клей 2,изолирующую пленку 3, контактнуюплощадку 4, электропроводящую пленку 55прозрачные подложки б.На полированную плоскую прозрачную подложку, выполненную из стек 8 4Ла К, в вакуум напыляют эл(тропроводящую пленку 1 п 0 + 5 п 0( (олщиной 100-500 , по ста(дартнойтехнологии, затем на нее наносятпленку боросиликатного стекла толщиной 1-2 мкм методом термическогоиспарения в вакууме. Затеи между двумя полученными структурами со стороны изолирующих слоев стекла вклеивают с помощью оптического клеяКОполупроводниковую пластину изВ 11 (0(1,Технологические параметры процесса следующие.Температураиспарителя, С 2050Диаметр гранул, мкм 55емператураподложки,оССкорость испарения,мкм/мин 120 0 Разрешающая способность транспаранта, изготовленного по предложенному способу, по уровню 0,05 составляет 180 мин/мм,Предлагаемый способ позволяет по 6лучить изолирующие слои толщиной до 1- 10 мкм, за счет чего разрешающая способность ОУТ увеличивается по сравнению с известным. Стеклянные слои, изготовленные методом термического испарения в вакууме, однородны по толщине, оптическим и диэлектрическим свойствам. В них отсутствуют упомянутые дефекты, Исключается загрязнение поверхно ти контакта электрода и стекла во время нахождения подложки с электродом на воздухе. Уменьшается количество клеевых прослоек в ОУТ. Все это способствует снижению уровня Оптических шумов устройства.Помимо технологичности боросиликатное стекло является материалом, наиболее пригодным для существления предлагаемогоо способа, так как Оно в виде пленки обладает высокой диэлектрической проницаемостью около 10 высоким удельным сопротивлением (Около 10 - - 10 фОм .см) высоким пробивным напряжением (порядка 10 В/см,. Пленка боросиликатного стекла Обладает высокой механическсй прочнстью и адгезией к подложке.9200 Формула изобретенияа Составитель Г. Буровцеватровка Техред Ж. Кастелевич Корректор С.Шекмар едакто Заказ 2250/21 ВНИИП по 113035, Подписиомитета СССРоткрытийя наб., д. "/5 Тираж 507 И Государственного делам изобретений и Москва,6-35, Раушск Филиал П город, ул. Проектная Патен Оптически управляемые транспаранты, изготовленные предлагаемым способом,могут быть использованы, например в качестве устройств ввода в системы когерентной обработки оптической информации или в качестве оптически перестраиваемых пространственных фильтров, Испытание опытных образцов ОУТ, изготовленных по предлагаемой технологии, дает положительные реО зультаты, в частности достигнута .частота циклов 10 кГц при длительности импульса напряжения 10 мкс и энергии-5экранирования порядка 10 -10 Дж/см5 Способ изготовления оптически управляемого транспаранта, включающий 2 в нанесение на прозрачные диэлектри 18 6цеские подложки электропроводящейпленки, изолирующего слоя из стекла исклеивание подложек с полупроводниковой пластиной, о т л и ч а ю щ и й"с я тем, что, с целью повышения раз"решающей способности и снижения уровня оптических шумов, изолирующий слойнаносят термическим испарением гранул боросиликатного стекла диаметромч 0-70 мкм в вакууме при температуреиспарителя 2000-2100 фС, температуреподложки 110- 130 С, скорости испареония 0,1-0)5 мкм/мин.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США 11 3517206,кл, 250-225, опублик, 1970.2. Клипко А.Т, и др. Пространствен.но- временные модуляторы света на монокристаллах 8 15 1 О,) и В 1) СеОр .