Зондовая головка

ОПИСАНИЙИЗОВУЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветсинкСоциалистическиеРвсттубттни и 917363(51)М. Кл. с ирисоедииениею заявки МН 05 К 1/18 С .О 1 к 1/Об вааударстевае 3 аветат 6.6 Р ао делан азебрвтеейоткрытВДата опубликования описания 30,03.82. (7) Заявител Ь 4) ЗОНДООАЯ ГОЛО 0 ком устроистважность контактииентируются одиого при сборкети при эксплуатдоюстированы, ть устроиства не ровани н относии в случаации не,е, унидостатоцн рсал Изобретение относится к производству изделий электронной техники и предназначено для зондового контро- . ля и измерения параметров микроэлек.тронных приборов на пластине.Известны зондовые головки, в кото- ф рых зонды выполнены с несколькими коленообразными изгибами и расположены на плоских пружинах, размещенных в пазах корпуса и служащих для регулирования зондов по высоте, а некон 10 тактирующие концы зондов, выступающие в виде упоров, связаны ключом с неподвижными упорами корпуса для регулирования зондов по плоскости С 11,15 1. Данная конструкция зонда обеспе- ,чивает контактирование с площадкой лишь в одной точке, что не позволяет повысить точность измерения из-за влияния переходного .сопротивления.Использование подобных зондов по два на каждую контактную площадку увеличивает габариты устройства вширьи. неприемлемо пои многоконтактных (на 2пример, при числе площадок, равном 48)структурах,Наиболее близкой по техническойсущности к предлагаемой являетсязондовая .головка в установке дляпоэлементной лазерной подгонки резистивных матриц, содержащая корпус,зонды, каждый из которых выполнен ввиде пары изогнутых контактов, расположенных один над другим, и механизм Фиксации зондов, включающийкронштейн, связанный с помощью пружин с узлом астировки контактов. Свободные концы контактов заострены исорентированы нв одну контактнуюплощадку. Контакты изолированы одинот другого С 21.Недостат " я вляетсяниз кая наде я.Контакты ортельно друг енеобходимосмогут быть39173Цель изобретения - повышение универсальности устройства и надежностиконтактирования.Указанная цель достигается тем,что в эондовой головке, содержащейкорпус,.зонды, каждый иэ которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, и. механизм фиксации зондов,один иэ контактов пары снабжен диэлектрической трубкой, размещенной 10на нем с возможностью осевого перемещения, а каждый контакт расположен в У-образном пазу, выполненном.в корпусе.На фиг,1 изображена эондовая головка, разрез; на фиг.2 - то же,вид сверху; на фи г.3 - разрез А-Ана фиг.1; на фиг.4 - разрез Б-Б нафи г. 1.Зондовая головка содержит зонды 1в виде пары изогнутых заостренныхгоконтактов, размещенных в диэлектрических трубках 2, и расположенных вУ-образных пазах корпуса 3 и основания 4,г 5Корпус 3 выполнен из пружинногоматериала и благодаоя вырезам ивстроенному в него винту 5 образуетузел качания вокруг горизонтальнойоси - упругого шарнира %. Верхнейчаст ью корпус 3 приват к кол ьцу 7 сзопомощью винта 8,Контакты зондов 1 выполнены с двумя изгибами и, кроме заострения вконечной части, сужены в горизонтальной плоскости от места задела до ост рия. У-образные пазы в корпусе 3 иосновании 4 выполнены сходящимисяна некотором расстоянии, соответствующем местоположению остриев контактов таким образом, что в нерабочемположении острия касаются друг друга.На один из контактов насажена свозможностью осевого перемещения диэлектрическая, йапример фторопластовая, трубка 9, которая в своей перед-ф 5ней части может быть вырезана дляприлегания к плоским участкам контакта по большим поверхностям,Наладка зонда осуществляется следующим образом, Манипулированием 50задним изгибом контактов острия контаКтов совмещают друг с другом, затемфиксируют их в таком положении с 63 4помощью винта 10, и полость мехду У-образными лазами и контактами эа"полняют компаундом, Трубка 9 приэтом снята.Работа с зондом осуществляетсяследующим образом.При ослабленном винте 8 с помощьюсъемного манипулятора зонд перемещают вдоль и поворачивают вокруг осивинта 8, затем фиксируют с его помощью, Поворотом винта 5 устанавливают положение остриев контактов ввертикальном направлении.Продольным смещением трубки 9вдоль одного из контактов острияраздвигаются, Таким образом можно устанавливать в кахдом отдельномслучае оптимальное для каждой контактной площадки расстояние между остриями, что повышает надежность контактирования.Кроме того, предлагаемая конструкция обеспечивает относительно большой диапазон регулирования расстояния мехду остриями (от 0 до 1 мм), Это позволяет каждый контакт испольэовать в качестве отдельного зонда,что при применении в блоке зондовьхаголовок с одиночными контактами значительно уменьшает габариты устройства и упрощает процесс юстирования. Формула изобретенияЗондовая головка, содержащая корпус, зонды, каждый из которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, и механизм фиксации зондов, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения универсальности устройства и надежности контактирования, один из контактов пары снабжен диэлектрической трубкой, размещенной на нем с возможностью осевого перемещения, а . каждый контакт расположен в У-образном пазу, выполненном в корпусе,Источники информации принятые во внимание при экспертизе1. Авторское, свидетельство СССР И Зб 4049, кл, М 01 1. 21/бб, 19712. Установка для позлементной лазерной подгонки резистивных матриц ЦАП и АЦП Ю У 2 ба 579 (прототип)а. Заказ 1 писное иал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектн 78 Тираж 856 ВНИПИ Государствен по делам изобрете 113035, Москва, Жого комитета СССий и открытийРаушская наб.,