Способ изготовления металлических трафаретных печатных форм

О П И С А Н И Е 885060ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(23) Приоритет -В 41 С 1/14 Гасударственный комнтет Опубликовано 30.11.81. Бюллетень44ло делам нзобретеннй и открытийДата опубликования описания 05.12.81(72) Авторы изобретения Н. М. Сенкевич, Н. Г, Галиева и И, М. 1) Заявите 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТРАФАРЕТНЫХ ПЕЧАТНЫХ ФОРМифо К недостатком названного сдует отнести использование в ктериала трафаретной формы мего покрытия меди и никеля сна разрыв 4 кгс/мм, не обесптребуемой тиражестойкости фор особа слечестве маталлическо. ф трочностью ечиваюшей мы, а такдостигается тем, чтометаллических трам, заключающемся в учении на металликов формы и растра зображения из фоПоставленная цель в способе изготовления фаретных печатных фор. последовательном пол ческой подложке рису путем формированияИзобретение относится к радиоэлектронике, в частности к изготовлению трафаретных форм повышенной разрешающей способности, предназначенных для формирования рисунка формы по толстопленочной технологии в производстве гибридных интегральных схем, а также плат печатного монтала на нефольгирова ином диэлектрическом основании с помощью токопроводяших печатных паст.Известен способ изготовления металлических трафаретных печатных форм, за- тв ключающийся в последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фотокопировального слоя и электрохимического осаждения металла с последуюцим удалением остатков копиро вального слоя и отделении подлолки от изготовленной формы 11. же,боковое разрастание электрохимически осажденного металлического слоя (медь- никель) в рисунках растра и формы вследствие использования жидкого фотокопировального материала, не обеспечивающего толщину слоя, сопоставимую с толщиной металлических слоев в рисунках растра и фор. мы, кроме того, необходимость химического осаждения меди с целью создания проводящей поверхности для электрохимического осаждения металлического рисунка растра, усложняет процесс изготовления формы, тре. бует применения драгоценного металла в качестве активатора химического меднения, является потенциальной причиной брака при последующем вытравливании химически осажденного слоя меди за счет высокого коэффициента подтравливания.Цель изобретения - упрощение способа повышение качества изготавливаемыхтокопировального слоя и электрохимического осаждения металла с последующим уда.лЕнием остатков копировального слоя и от деления подложки от изготовленной формы, получение на металлической подложке рисунка растра осуществляют перед получением рисунка формы и после получения ри 5 сунка растра осуществляют предварительное -удаление остатков фотокпировального слоя, при этом в качестве металла для электрохнмического осаждения используют ни.кель-кобальт, а в качестве материала для,1 а фотокопировальных слоев - фотокопироваль.ный пленочный материал.На чертеже показана последовательность операций.Пример. На подложке 1 (см. чертеж),изготовленной из стали 1 Х 8 Н 9 Т размером 250 Х 250 мм с чистотой поверхности 8 - ;9, фотохимическим методом формируют копию растра 2, В качестве фотокопировального материала используется СПФ в 2 в , 20, поз.воляющий создавать растр с диаметром яче-; ек 100 мкм и перемычками 50 - 60 мкм. Ме-таллический рисунок растра 3 создается осаждением сплава никель-кобальт с со.держанием кобальта 20 - 25 вес.% до уров ня фоторезиста при плотности тока 3 - ,4 А/дм, температуре 60 С и рН 3,3 - 3,8 из сульфоматного электролита состава, г/л:Сульфамннокислыйникель 316Сульфаминовокислцйкобальт 73Никель хлористый 2 - 4Борная кислота 30 - 40Сахарин 0,1Лаурисульфат натрия 0,7 - 1,0 Далее удаляют фотокопировальный слой 4 в хлористом метилене и осуществляют фор-зз мирование копии рисунка формы5 с помощью фоторезиста СПФ - 2 - 40 или СПФ 2- . 60 толщиной 40 - 69 мкм, Металлическийрисунок формы 6 создают электрохимичес.ким осаждением сплава никель-кобальт до уровня фотокопировального слоя из указан.-.ного электролита, удаляют фотокопировальный слой и снимают трафаретную форму 7 с подложки 1.Применение предлагаемого способа позволяет изготавливать металлические печат 4ные трафаретные формы тоЛщиной 50 - 70 мкм с линиями 50 - 60 мкм, четкой кром кой и повышает качество трафаретной пе чатной формы за счет использования при ее создании высокопрочного. сплава никель- кобальт, что позволяет использовать их в работе с токопроводящими металлонаполненными печатными красками, обладающими абразивными свойствами, улучшает качество печатной формц устранением боковового разрастания при электрохнмическом наращивании рисунков растра и формы за счет применения пленочного фото- копировального материала толщиной, сонз. меримой с толщиной формируемых слоев рисунка растра и формы, упрощает процесс изготовления трафаретной печатной формы исключением операции химического осаждения меди вследствие того, что формирование рисунка растра предшествует созданию рисунка формы.Формула изобретенияСпособ изготовления металлических трафаретных печатных форм, заключающийся в последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фото- копировального слоя и электрохимнческого осаждения металла с последующим удалением остатков копировального слоя и отделении подложки от изготовленной формы, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повышения качества изготавливаемых форм, получение на металлической подложке рисунка растра осуществляют перед получением рисунка формы н после получения рисунка растра осуществляют предварительное удаление остатков фото- копировального слоя, при этом в качестве металла для электрохимического осаждения используют никель-кобальт, а в. качестве материала для фотокопировальных слоевфотокопировальный пленочный материал.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент ФРГ2050285, кл. В 41 С 1/ 5,1973 (прототип),льЮ Бойк Составите Техред А,Тираж 417 И . Государствен делам изобрете Москва, Ж - 35,сПатент, г. У