Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки

(51)м,. Кл, О 11 В 5/42 91 аудвратюньЖ комитет СССР во авлзи изобретений и вткрытий(71) Заявитель 4)СПОСОБ ОБРАБОТКИ РАБО МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ ПОВЕРХНОСТИ соб, включающий верхности магнит путем бомбардира ментов насыщенияОднако при о ерацию обработки п приборохинке ма в вакууме онов элеголовки ки пучк Х 1 уществленотовленияостойкость извест- гнитной соба ног едост е из голов оле и ои ки при неизменн римесных ионов, ная цель достиг тную головку на шиной 0,6-1,0 мк вляют внедрение ых примесных ио тнои гол едренных ается тем оставле на магн осят слои м, послеэлектринов с пос е 30010 см при17 2 а рабочую металла т чего осуще чески акти ергией в диапазон дозой 1 ф 10 - 2,5 ном воздействии н ь магнитной голов а с энергией 5-10 ионного тока в п яннои э однов ремеповерхнос ионов нео и пучк зВ и ке 1 плотностью5 мА/см Изобретение относитсяоению, в частности кной записи. Известны способы увеличения износостойкости магнитной головки, основанные на нанесении на их рабочую поверх 5ность тонких дополнительных слоев сболее высокой износостойкостью,Иетодом катодного распыления нарабочую поверхность магнитной головки1 Онаносят магнитомягкий сплав алфесилили электролитическим осаждением наносят износостойкий слой, содержащийчастицы магнетита или феррита 111 и21Однако рассмотренные способы непозволяют получить износостойкие покрытия с хорошей адгезией. В процессе эксплуатации износостойкие покрытия отслаиваются и крошатся, тем самым не обеспечивая необходимых механических параметров головки,Наиболее близким к предлагаемомупо технической сущности является споочно высока. Цель изобретения - получени 1 сокой степени износострйкост858086 Энергия ионов Доза легиро- Увеличение фосфора, кэВ вания, см износостойкости раз Толщина вспомогательного слоя,мкм 2. 0,6 300 1 1 О 3,2Формула изобретения Так как ионы неона постепенно рас. пыпяют вспомогательный слой, внедрение электрически активных примесных ионов проводится в тело с перемещающейся границей поверхности и суммарный профиль распределения, очерчиваемый вершиной гауссовой кривой распределения, будет характеризоваться плоской вершиной, т.е, высокоравномерным распределением внедренных примесей по 10 всей глубине магнитной головки,начиная с поверхности. При этом энергиявысокоэнергетических примесных ионов в течении всего технологического процесса остается постоянной. 15На фиг. 1 показано нанесение вспомогательного слоя металла на рабочую поверхность головки; на фиг. 2 - кривая распределения внедренных примесей .На рабочую поверхность А-А магнитной головки 1 наносят вспомогательный слой 2, например, металла й проводят внедрение высокоэнергетических примесных ионов Б при одновременном распылеиии низкоэнергетичными ионами В 25 вспомогательного слоя 2, По иере постоянного стравливания вспомогательного слоя 2 гауссовая кривая распределения внедренных примесей 3 будет передвигаться вглубь магнитной головки,а результирукпцая кривая распределения Использование предлагаемого способа обработки рабочей поверхности магнитных головок обеспечивает высокую износостойкость при неизменной энер гии внедряемых электрически активных ионов, что позволяет значительно повысить их долговечность. примесей 4, очерчиваемая вершиной кривой 3, будет характеризоваться высокомерным распределением по глубине магнитной головки, Так как в случае многократных внедрений при различных энергиях и дозах результирующий профиль распределения внедренных примесей 5 характеризуется неравномерным распределением примесей по глубине магнитной головки, то исключение предлагаемым способом нелегированных областей 6 способствует значительному повышению износостойкости магнитной головки,не прибегая к использованию многократных внедрений.П р и м е р, При реализации способа было проведено увеличение иэносостойкости рабочих поверхностей магнитных головок при энергиях внедренных ионов фосфора Р 300-400 кэВ и дозах фАЙ 0 - 2,510 см. Перед7 17 внедрением на рабочую поверхность магнитной головки был нанесен вспомогательный слой А 1 толщиной 0,6 мкм и 0,8 мкм, который во время легиоваиия распылялся ионами неона Йе с энергией 5 кэВ и плотностью ионного тока 1,5 мА/сн 2,В таблице приведены значения износостойкости магнитной головки в зависимости от режимов легирования. Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки, основанный на бомбардировке этой поверхности в вакууме пучком ионов, о т л и ч а ющ и Й с я тем, что, с целью повьппе5 858086 б ния износоустойчивости рабочей поверх- энергией 5-10 кэВ и плотностью ионно" ности магнитной головки, на нее на- го тока в пучке 1-5 мА/смй носят слой металла толщиной 0,6- Источники информации, 1,0 мкм, после чего осуществляют принятые во внимание при экспертизе внедрение электрически активных при . . Патент США Ф 3566045, месных ионов с постоянной энергией кл. С 1 В 5/22, 971, в диапазоне 300-600 кэВ и дозой 1 10 72, Патент США У 3737583,-а. - 2,510 см" при одновременном воздей- кл, 6 11 В 5/40, 1973. ствии нарабочую поверхность магнит, Патент США кл. 6 11 В 5/42, ной головки пучком ионов неона с 19.02.78 прототип).ФГаубФаа 8 Заказ 74 Тираз 645 ПодписноеПатент", г. Уагород, ул. Проектная,