Устройство для удаления рабочего агента с поверхности изделий в установке для жидкостной обработки

СОВЕТСНИ 09) П 3) СН б 9 В 08 В 15/02 ГОСУД ПО Д Е ИЗОБРЕТЕНИЯС ВИДЕТЕХЪСТВУ ПИСА К АВТОРСКО лий ст-17,фотор ионф. ЕНИЯИ ИЗДЕОЙ ОБь издеДЛЯ УДАЛ РХНОС ИДКОСТ ржатеАРСТВЕННИЙ НОМИТЕТ СССР М ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГПМ(56) 1. Установка прозистора ППФРазрабКаталог 1976, 11-1401(54)(57) УСТРОЙСТВОРАБОЧЕГО АГЕНТА С ПОВЛИЙ В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ЖРАБОТКИ, включающее д со средством его вращения и у ановленный над держателем колпак, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности удаления рабочего агента, оно имеет защитную сферическую перегородку, установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону, причем в перегородке выполнены отверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности ее выпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностного натяжения.Устройство содержит емкость 1, в которой размещен вращающийся с помощью привода (не показан) держатель 2 с упорами 3 для установки и крепления иэделий 4 с фоторезис тором, форсунки 5, закрепленные на наружной части колпака б, предназначенные для жидкостной обработки иэделий 4 с фотореэистором, сферическую защитную перегородку 7, установленную во внутренней части колпака б, отверстия 8 для Форсунок 5 и отверстия 9, выполненные на поверхности защитной перегородки 7, пневмоцилиндр 10 вертикального перемещения колпака б. 45 50 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в электронной, радиотехническойи других областях промышленностидля осуществления струйной обработки с последующим удалением рабочегоагента с поверхности иэделий,.Известно устройство для удалениярабочего агента с поверхности изделий, включающее держатель изделийсо средством его вращения и установленный над держателем колпак 1 .Недостатком устройства являетсянизкая эффективность удаления рабочего агента, проявляюи 1 аяся в том,что капли, находящиеся на внутрен- .15ней поверхности колпака, срываясь,попадают на обработанное изделие,что приводит последнее к браку,Цель изобретения - повыаение эффективности удаления рабочего агента.20Поставленная ОЬль достигаетсятем, что устройство для удалениярабочего агента с поверхности изделий в установке для жидкостной обработки, включающее держатель изделий 25со средством его вращения и установленный над держателем колпак имеетзащитную сферическую перегородку,установленную внутри колпака и обращенную выпуклой частью в его сторону, причем в перегородке выполненыотверстия, размеры которых обеспечивают удержание на поверхности еевыпуклой части капель рабочего агента за счет сил поверхностного натяжения,35На фиг, 1 изображен колпак беэзащитной перегородки на фиг. 2.колпак .со сферической защитной пере-городкой,.40 Устройство работает следующимобразом,При поднятом колпаке 6 на держатель 2 в упоры 3 устанавливаютсяиэделия 4 с фоторезистом, послечего колпак 6 со сферической защитной перегородкой 7 при помощи пневмоцилиндра 10 закрывает емкость 1,накрывая при этом держатель 2 с установленными на нем иэделиями 4.После этого включается привод вращения держателя 2 (не показан) иподается рабочая жидкость через форсунки 5 на обрабатываемые изделия 4.После окончания процесса .жидкостнойобработки подача рабочей жидкости.через форсунки 5 прекращается и подается .вода для промывки поверхности изделий 4. По окончании промывкидержатель 2 с закрепленными изделиями продолжает вращаться, .при этом ,удаляется (сбрасывается) оставшаяся на поверхности иэделий 4 жид-кость.При подъеме колпака 6 вверх оставшиеся капли на внутренней поверхности колпака не могут попасть наповерхность изделия 4 и привести кбраку. В предлагаемом устройствепри вращении держателя 2 с обрабатываемыми иэделиями 4 со скоростью000-2500 об/мин создается из мелких капель распыляемой форсунки 5рабочей жидкости увлажненное торо- .идное поле, Это поле располагаетсямежду вращающимся-держателем 2 сизделиями 4 и защитной перегород-кой 7. Вращающийся держатель 2 сизделиями 4 начинает увлекать эасобой распыленную рабочую жидкость,которая, соприкасаясь с рабочей поверхностью защитной перегородки 7,начинает дробить крупные капли рабочей жидкости, появляющиеся на защитной перегородке 7, и, перекатывая их из отверстия в отверстйе,сбрасывает их в нерабочую зону, от-"куда они стекают в слив.Применение предложенного защитного устройства позволяет уменьшитьпроцент брака операции проявленияфотореэиста ,и довести его до 3-5,а также уменьшить трудоемкость операции проявления фотореэиста в25 разаГодовой экономический эффект отиспользования устройства составляет10,0 тыс.руб.1060263Составитель Т. Казинов ктор Н, Горват Техред,Л,Пилипенко Корректор А ДзяткПодписи каэ 9913/7 . Тираж 591 ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, 3-35, Рауюская наб., д. 4/5Филиал,ППП фПатентф, г, УжгОрод, ул. Проектная, 4