Устройство для дискретного по площа-ди экспонирования обекта

Союз СоветскихСфциапистичесинкРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 1853593(5 ) М, Кл. 6 03 В 3/06 Ъсударставнный камнтет СССР на делам нзабретеннЯ н аткрытнЯ) Авторыизобретения Н. - Н. А. Фурман, И, А. Кадомский и Л. Л. Рачько Заявител 154) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИГКЕТНОГО 110 ПЛОЩАДИ ЭКСНОНИРОВАНИЯ ОЬЪ 1 КТА льно обрабатыв производительностьительных массах но достигнуть, следовательнотельно небольших к одному иэ входов дами, выход которого одключсн к другому оординатного переме. иэлучЕния. и держаекта установлены не координате подключены блока управления приво по второй координате и приводу каретки двухк щения, причем источник тель экспонируемого объ Изобретение относисся к приборостроению, в частности к автоматизации процесса выполнения прецизионных изображений фотошаблонов интегральных схем, фотошаблонов плат печатного монтажа радиоэлектронной аппаратуры, и может использоваться в радиоэлектро. нике и микроэлектронике.Известно устройство двухкоординатного перемещения, содержащее координатный стол и источник света. Обрабатываемый объект располагается на координатном столе, имеющем возможность движения по двум координатам относительно источника света 1. Известно также устройство, содержащее координатый стол, каретку однокоординатного перемещения и каретку двухкоординатного перемещения с приводами их перемещений, держа.- тель экспонируемого объекта, оппвескую сис. тему, источник излучения, дозатор излучения и блок программного управления приводами кареток 12, Обрабатываемый объект располагается на поверхности стола неподвижно, а ис точник света имеет возможность перемещаться по двум координатам относ емого объекта.Однако отмечается малая устройства, так как при эна перемешаюшихся частей труд больших величин ускорений больших скоростей лля сравн величин перемещений. Целью изобретения является повышение производительности устройства для дискретного по площади экспони 1 ювания объекта.Поставленная цель достигается тем что каретки выполнены в виде двух механически не. зависимых установленных в одной плоскости подвижных индукторов-роторов линейного шагового двигателя, причем приводы синхронного перемещения обеих кареток по однойподвижно, В качестве статора линейного шагового двигателя использована опорная магнит.ная поверхность координатного стола, имеющая выраженные полюса по всей плоскости.На фиг. 1 приведена принципиальная схемаустройства; на фиг, 2 - то же, вид сбоку.Устройство содержит пластину 1, статор 2с полюсами 3, индукторы 4 и 5, зеркала 6 и7, обрабатываемый объект 8, держатель 9обрабатываемого объекта, источник излученияи формирователь луча 10, дозатор 11, устройство программного управления 12 и блокуправления приводами 13.Устройство работает следующим образом.Пучок света от источника излучения, напри.мер лазера 10, регулируемый дозатором света11, управляемым устройством программногоуправления 12, попадает на однокоординатныйиндуктор 4 и, отразившись от зеркала 6, расположенного на индукторе 4 под углом 45к направлению луча, попацает на зеркало 7,зафиксированное на индукторе 5 также подутлом 45 к направлению светового луча. Лучсвета, отразившись от зеркала 7, будет экспонировать материал 8, закрепленный на держателе9 экспонируемого материала.При перемещении индуктора 5 в направле.нии координаты Х луч, отраженный от зеркала7, будет последовательно экспонировать участкиобъекта 8, расположенные на прямой, параллельной координате Х; При перемещении индук.торов 4 и 5 вдоль координаты У происходитэкспозиция участков объекта 8, расположенныхна прямой, параллельной координате У. Такимобразом, для экспонирования определенныхучастков, устройство программного управленияЦ задает перемещения индукторов 4 и 5 такимобразом, чтобы луч света попадал на нужныеучастки экспонируемого объекта,Устройство программного управления 12,эацавая скорости перемещения индукторов 4и 5 по координатам Х и У и регулируя доэатором 11 энергию излучения, может формировать необходимую траекторию движения луча.относительно экспонируемого объекта 8 и фор.мировать на объекте не только прямолинейные,но и криволинейные участки изображения,Оба нндуктора 4 и 5 перемещаются покоординате У синхронно, не имея механическойазази, а имея только управление от общихсигыалов блока управления приводом.Несмотря на то, что исполнительный органустРойатва - индукторможет перемещатъсяодновременно по двум координатам Х и У,35934достаточно массивный источник излучения(лазер) 10 может быть неподвижным ввидуналичия второго индуктора 4, синхронизированного первым индуктором 5 по перемещениюв направлении оси У.Так как в предлагаемом устройстве и обрабатываемый объект 8 и источник излучения10 вместе с дозатором излучения 11 неподвижны, то перемещающиеся ащукторы 4 и 5 мо.10 гут быть изготовлены малоинерционными.Таким образом технико-экономические преимущества описанного устройства заключаются в увеличении быстродействия за счет малоинерционности элементов устройства, что позволяет повысить производительность устройства.Формула изобретения201. Устройство для дискретного по площадиэкспонирования объекта, содержащее координатный стол, каретку однокоординапгого перемещения и каретку двухкоординатного перемещения25 с приводами их перемещений, держатель экспо.нируемого объекта, оптическую систему, нсточ.ник излучения, дозатор излучения, устройствопрограммного управления и блок управленияприводами кареток, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения производительное.ти, каретки выполнены в виде двух механичес.ки независимых установленных в одной плоскости подвижных индукторов-роторов линейногошагового двигателя, причем приводы синхроатного :перемещения обеих кареток по однойкоординате подключены к одному из входовблока управления приводами, выход которогопо второй координате подключен к другомуприводу каретки двухкоординатного перемеще 40 ния, причем источник излучения и держательэкспонируемого объекта установлены непод.вижн о.2. Устройство поп, 1,о тл ичаю ще.е с я тем, что в качестве статора линейного45 шагового двигателя использована опорнаямагнитная поверхность координатного стола,имеюпая выраженные полюса по всей плоскости,ФИсточники информации,50 принятые Во внимание при экспертизе1. Патент США И 4 3617125, НКИ 355 - 46,1971,2. Патент США Хф 3641885, кл. 354 - 4,1972 (прототип).