Устройство автоматического регулированияпроцесса электрохимическоготравления микропроволоки

О П И С А Н И Е (1)836246ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическихРеспубликдо делам изобретенийф н отнрытнй Дата опубликования описания 07,06.81 Ю, В. Думченко, А. С, Потапов и А. Э, ЭрлихР(54) УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МИКРОПРОВОЛОКИ Изобретение относится к области гальвано. техники,Устройство может быть использовано для автоматического регулирования процесса электрохимического травления микропрово.3 поки из тугоплавких металлов н применено в радиоэлектронике и приборостроении для самых разнообразных целей.Известно устройство автоматического регулирования процесса алектрохимического травления микропроволоки, содержащее емкостныи10 преобразователь ее выходного диаметра, эадат. чик диаметра и регулятор силы тока травления 11). Это устройство, не обеспечивает компенсации параметрических возмущений объекта регулирования и прежде всего возмущений но ко.эффициенту передачи объекта, вызванных изменениями скорости движения проволоки в ванне и другими режимными факторами.Цель изобретения - снижение неравномер.,ности проволоки по диаметру путем повыше.ния точности регулирования,2Цель достигается тем, что регулятор силы тока выполнен в виде двух блоков масшта. бирующего суммирования, регулируемого усилителя и интегратора, причем выходы емкост. ного преобразователя выходного диаметра и задатчика соединены с входами обоих блоков масштабирующего суммирования, выход первого блока масштабирукпцего суммирования соединен с основным входом регулируемого усилителя, выход второго блока масштабирующего суммирования соединен с входом интегратора, а выход последнего - с входом управления регулируемого усилителя.На чертеже показана схема устройства.Устройство состоит из электролитической ванны 1, емкостного преобразователя 2 диаметра, двух блоков масщтабирующего суммирования 3 4, эадатчика 5 диаметра, регулируемо. го усилителя б и интегратора 7.Процесс электрохимического травления мнкропроволокн 8 проводят в электролитической ванне, оснащенной электродами ЭЭзЭ. На выходе проволоки из ванны производят , измерение ее выходного диаметра с помощью836246 2(+) =кх (ь)-(и-к) х 3емкостного преобразователя 2. Его выходной сигнал Х(%) подается на вход блока масштабирующего суммирования 3, где производится . его алгебраическое суммирование с сигналом Х задатчика 5 диаметра с маспггабными коэффициентами, дополняющими друг друга до единицы. При этом выходной сигнал блока масштабирующего суммирования 3 Этот сигнал подается на основной вход ре-. гулируемого усилителя б мощности, который выполняет функцию управляемого сопротив пения в цепи питания электролитических ячеек ванны от питающего трансформатора Т,.Сигнал Е(4.) на входе управления регулируемого усилителя формируется путем вычисления разйости Е Ю регулируемой величины Х и уставки Х посредством блока мас штабирующего суммирования 4 и последующего интегрирования этой разность в интеграторе 7(ц =,/Я(Я)с 1= - ,ху-х(+)1 с 3 ф, Т О Т 11 Таким образом, регулирующее воздействиеХр (Ына выходе усилителя 6 определяетсяследующим выражением:ь, ,Тп о Высокочастотные возмущения, действующие на вход системы автоматического регулирования,. компенсируются основным контуром системы . (емкостный преобразователь диамет. ра - первый блок масштабирующего суммирования - регулируемый усилитель) а низ. кочастотные параметрические возмущения по коэффициенту передачи объекта - контуром самонастройки (емкостный преобразователь диаметра - второй блок масштабирующего суммирования - интегратор - регулируемый усилитель),4Предложенное устройство позволяет повысить точность регулирования путем уменьше.ния статической ошибки регулирования засчет того, что регулирующее воздействие восновной цепи формируют в зависимости отра ности между выходным сигналом объектарегулирования и сигналом задания (уставки),полученной методом их масштабирующегосуммирования с коэффициентами, дополняю О шими друг друга до единицы. Это позволя.ет в стационарных условиях формировать ре.,гулирующее воздействие, не равное нулю, при, ошибке регулирования, близкой к нулю.Введение гибкой связи между ошибкой регулирования и коэффициентом передачи регулятора через контур самонастройки обеспечивает.более точную компенсацию низкочастотныхпараметрических возмущений по коэффициенту передачи объекта.оФормула изобретения Устройство автоматического регулированияпроцесса электрохимического травления микро.проволоки, содержащее емкостный преобразо.25 ватель ее входного диаметра, задатчик диаметра и регулятор силы тока травления, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюснижения неравномерности проволоки по диаметру путем повышения точности регулиро.зо вания, регулятор силы тока выполнен в видедвух блоков масштабирующего суммирования,регулируемого усилителя и интегратора, причем выходы емкостного преобразователявыходного диаметра проволоки и задатчика .з 5 соединены с входами обоих блоков масштабирующего суммирования, выход первогоблока масштабирующего суммирования. соединен с основным входом регулируемого усилителя, выход второго блока масштабирующео го, суммирования соединен с входом интегра.тора, а выход последнего - с входом управ.пения регулируемого усилителя.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе45 1, Информационный листок Алтайскогомежотраслевого территориального центра НТИи пропаганды, У 266 - 76 1976.