Устройство для токовой подгонкитонкопленочных резисторов

О П И С А Н И Е и)834784ИЗОБВЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сокрз СоветскикСоциалистическинРеспублик 1) Дополнительное к а(22) Заявлено 27,04. 7 с присоелинением заявк 765013/18-21 01 С 1/00 Государстввннын комитет 3) Приор Опубл тетковано 30.0 а делам наобретенн н открытийБюллетень20 (53) УД 621 31649(088,8) Дата опубликования описания 02.06. 8(71) Заявите 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТОКОВОЙ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ ста и компарат микро-.спользоваИзобретение отнэлектронике и може н измерительн ся ыть зм ключенныи в первую диагон ельного моста 1,2,1. Однако известное устрой во слож ров, ючену ре- опроой схе 1 ч ную п та, ч те тания предлагаемомуи явпяется устдгонки тонкосодержащее исНаи по тех ройс тволее близким к ической сущнос для токовой и ных резисторов, переменного нап ноч ервыйиз вер точ яжени с од торого соедин выв но при изготовлении прецизионных рзйсторов.Известно устройство для токовойподгонки тонкопленочных резистосодержащее источник тока, подклный через реостат к подгоняемомзистору и измеритель величины стивления, выполненный по мостовме 1 1.Однако изменение тока подгонки вэтом устройстве осуществляется вру ем перемещения движка реостаобуславливает низкую произвоость процесса подгонки, кроме стройство имеет два источника из-за наличия генератора нарастающих по мощности импульсов, управляющего генератора, схемы запоминания и управления, а надежность его,определяемая наличием механического коммутатора, и производительность, определяемая количеством импульсов и скоростью нарастания их мощности, недостаточны,Цель изобретения - повышение быстродействия и упрощение конструкции.Поставленная цель достигается тем, что устройство для токовой подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее источник переменного напряжения, первый вывод которого соединен с одной из вершин измерительного моста и компаратор, включенный в первую диагональ измерительного моста, снабжено управляемыми ключевыми элементами, прт чем второй вывод источника переменного3 8347 напряжения через первый управляемый ключевой элемент соединен с другой вершиной измерительного моста, а во вторую диагональ измерительного моста включен второй управляемый ключевой элемент, управляющий вход которого соединен с выходом компаратора, а управляющий вход первого управляемого ключевого элемента соединен со входом запуска устройства. оНа чертеже представлена блок-схема устройства для подгонки тонкопленочных резисторов.Устройство содержит генератор 1, мостовую измерительную схему 2 с резисторами Р.1, Р Рпф Рр Где Рп и Р - соответственно подгоняемый и эталонный резисторы , компаратор 3, включенный в диагональ мостовой измерительной схемы, электронные тиристорные ключи 4 и 5 1 управляемые ключевые элементы), из которых первый тиристорный ключ 14) включен последовательно между генератором и мостовой измерительной схемой, а второй 5 25 параллельно мостовой измерительной схеме, вход 6, через который произочводится запуск устроиства.. Устройство работает следующим образом.Генератор 1 непрерывно вырабатывает последовательность импульсов одной, напримерположительной полярности. Запуск устройства осуществляется подачей запускающего импульса на вход тиристорного ключа 4 от специальной схемы запуска в момент начала импульса. При этом тиристорный ключ 4 открывается и будет открыт в течение 40 всего. времени прохождения импульса. Через открытый ключ 4 напряжение от генератора 1 прикладывается к закрытому тиристорному ключу 5 и мостовой измерительной схеме 2, через которую 45 протекает электрический ток, вызывающий подгонку резистора Рп. В момент, когда сопротивление эталонного и подгоняемого резисторов совпадет, компаратор 3 включает тиристорный ключ 5, который замыкает мостовую схему; при этом не используемая для подгонки часть импульса проходит через включенный тиристорный ключ 5, и процесс подгонки прекращается, тиристорные ключи 4 и 5 возвращаются в исходное состояние.В предлагаемом устройстве электронные ключи предназначены для форми 84 4рования одного импульса тока подгонки специальной формы из напряжения, например, силовой электрической сети или другого генератора, Ключ 4 подключает схему подгонки и измерений в момент, синхронный с. началом периода, формируя фронт импульса, а ключ 5 формирует крутой срез импульса в момент совпадения сопротивлений эталонного и подгоняемого рвзисторов. Таким образом, с помощью электронных ключей формируется один импульс специальной формы с дозированной энергией, которая необходима для подгонки резистора в номинал.Так как подгонка резистора выполняется всего одним импульсом, у которого относительно ологий фронт, а крутой срез формируется быстродействующим ключом 5, мощность в подгоняемом резисторе непрерывно и монотонно 1 а не дискретно возрастает, проходя все значения от нуля до максимального значения. Это обуславливает возможность подгонки резисторов различных номиналов и типоразмеров. При этом отпадает необходимость в .программируемом изменении параметров нарастающих по мощности импульсов, а следовательно, и в их контроле и запоминании.Сопротивление подгоняемого резистора непрерывно контролируется в процессе подгонки мостовой измерительной схемой с высокой точностью, определяемой точностью эталонного резистора, высокой чувствительностью компаратора и высоким напряжением, приложенным к мосту. Так как измерение выполняется быстродействующим нуль-органом, точность подгонки практически не зависит от времени подгонки. Это позволяет выполнять подгонку резисторов за очень короткое время с предельной точностью, поэтому нет необходимости устанавливать допуск на номинал.Предлагаемое устройство позволяет при простоте схемы управления бесконтактно коммутировать большие элект; рические токи через подгоняемый резистор, существенно расширяя диапазон номиналов и мощностей подгоняемых резисторов, Построение схемы устройства позволяет использовать для подгонки импульсы различной формы с пологимфронтом (треугольные, колокольные, синусоидальыые и т.д.) в качестве генератора импульсов используют выпрямаенное напряжение силовой электричесФормула изобретения Составитель О. кудрвюцеваактор И. Ковальчук Техред Л. Пекарь Корректор Ю. Макаренк аз 4113/80 Тираж 78 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и 113035, Москва, Ж, РаушскаПодписитета СССРкрытийнаб., д. 4/5 лиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная 5 8347кой сети. В предлагаемом устройствеповышается также производительность,так как подгонка осуществляется всегоодним электрическим импульсов,Устройство для токовой подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее 10 источник переменного напряжения, первый вывод которого соединен с одной иэ вершин измерительного моста и компаратор, включенный в первую диагональ измерительного моста, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения быстродействия и упрощения конструкции, оно снабжено управляемыми клю 84 6чевыми элементами, причем второй вывод источника. переменного напряжениячерез первый управляемый ключевой элемент соединен с другой вершиной измерительного моста, а во вторую диаго"наль измеритепьного моста вклк 1 ченвторой управляемый ключевой .элемент,управляющий вход которого соединенс выходом компаратора, а управляющийвход первого управляемого ключевогоэлемента - со входом запуска устройства. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 9 232352, кл. Н 01 С 17/00, 1967. 2. Патент Франции Ф 2098496-,кл. Н 01 С 17/00, 970 (прототип) .