Видеоконтрольное устройство дляэлектронного микроскопа

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1118 И 363 Союз Советских Сациалистических Республик(5 Опубликовано 07.03.81. Б 1 оллетснь Ле К 621,385.8 (088.8) па делам изебретеии и открытий5) Дата опубликования опнсанн 81. 72) Авторы изооретени(54) ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПАИзобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к устройствам визуализации видеосигналов.Известны вилеоконтрольные устройства (ВКУ) лля электронных микроскопов, в ко 1 орых о;повременно формируются лва изооражения исследуемого ооъекта с разнь 1 ми коэффициентами увеличения. В таком устройстве используется одна электроннолучевая трубка (ЭЛТ) для наблОле 1 шя как полного поля объекта исследования, так и его участка 1).Недостатком устройства является недостаточная информативность поля объекта, поскольку изображение участка закрывает изображение частиц всего поля.Напоолее бл;1 зким по технической сущности является видеоконтрольное устройство, содержащее детектор излучений и две электроннолучевые трубки, каждая из ко торых содержит катод, модулятор и отклоняющие системы, соединенные с генераторами строчной и кадровой разверток, подключенными соответственно ко входам блоков формирования амплитуд строчной и 25 кадровой разверток, выходы которых соединены с системой сканирования электронного микроскопа 2.Известное устройство обеспечивает повышенную информативность изображения 30 при коммутации видеосигнала с частотой строчной развертки. Однако прп увеличении частоты развертки в этом случае происходит нскажснне видеосигнала и снпжеш 1 е качества изображения.Целью нзобретешя является уменьшение искажения в 1 лсосигнала.Указанная цель лост 1 гается тем, что внлсоконтрольнос устройство, содержащее детектор излучений и лве электроннолучевые трубки, каждая пз которых содержит катод, модулятор и ОтклоняОщпе системы, соединенные с генераторами строчной и кадровой развсрток, подключенными соответственно ко входам блоков формирования амплитуд строчюй и кадровой разверток, выходы которых соединены с системой ска. ннрования электронного микроскопа, снабжено двумя пороговыми элементами, сум матором и три г Ором, и р п чем вхс лы пороговых элементов соединены с вь 1 ходам 1; блоков формироваия амплитуд строчной и : алровой разверток, а выходы - со схемой совпадения, подключенной к первому входу сумматора, вход триггера соединен с выхолами генераторов строчной и кадровой разверток, а его выходы - со входами блоков формирования амплитуд строчной и кадрово разверток, модулятором первой электроннолучевой трубки и вторым входомс 5 ммат 01 эз, Вьход сумматора сосде 1 цсн с модулятором второй электроннолучевой трубц, а атоды обеих элсктроццолу.свых труоок соединены с детектором излучений.На чсртс 5 кс представлена блок-схема видеокоцтрольного устройства.В колонне 1 электронного микроскопа, где формируется электронный зонд 2, размещены система сканирования с отклоняющими катушками 8 и 4, объект иссле,ествгтцця 5 ц дстстор излучений б. Система скацировант 5 соединена с выходами схчоков формирования амплитуд строчной 7 и адровоц 8 ргзвсрток, ко входам которых подключены соответственно генераторы строчной и кадрогой развсрток 9 и 10, Блоки рормцровапця амплитуд строчной ц ядровой разверток 7 и 8 соединены со входамц пороговых элементов 11 и 12, выходы которых подлючсны к схеме совпадения 18.Выход схемы 18 сстсдццсц с сумматором 14. Вход последнего соединен также с триггером 15, а выход - с модулятором первой ЗЛТ 1 б. Выход триггера 15 соединен с модулятором второй ЭЛТ 17 и входами блоов формирования амплитуд строчной и кадровой разверток 7 и 8, а к его вхс,д. подгпочсгты генераторы 9 и 10, 1 ато ЕЕЕ ЗЛТ 16 ц 17 соединены между собой и с детектором излучений б, а отклон 5 цощие системы ЭЛТ -- с генераторами развсрток.Устройство работает следующим образом,Электронный зонд 2, управляемый отклоняющими катушками 8 и 4, сканирует по объекту 5. Сигнал, образованный при взаимодействии зонда с поверхностью объскта, у сеелцвястся,еетстор 05 излучений 6 ц прсобразустся в видеосигнал, который поступает ца атоды ЭЛТ 16 ц 17. Обе ЭЛТ имеют одинаовые цли близкие размеры эранов. Ня первой ЭЛТ 16 формируется цзобрзжсццс :лгтсг пл 01 цзди Ооъстз (поле), а ца =.1 Т 17 -- мстьиесй (участок), цо с цовыцсцч; Е 5 зфе 1 цццсцгом ";тС,чццс - цтя,Зффст увсспчецця получается за счет соответствуюней коммутации сцгцялог развертки. Ня ЗГ 1 Т 16 (ца поле объстя) чроЕсреивяютс 5 то,чко чстцьс ст)0 ц, а ця ЗЛТ 17 (цз участке объекта 1 - цсчетшс, тричсм амплитуда сиг;алов отклонения прц сканировании участка,во столько раз мсньце, ВО сесолько 1 соэф 15 иццсцт увслцчсцц 51 у ветка больше, чем для поля объекта.Развертывающее напряжение с выхода генератора 9 поступает на вход блока формирования амплитуды строчной развсрткц 7, где ОИО коммутируется ч умепыцзстс 5 т цо амплитуде через строку, К этому цапря 5 кеетию прибавляется напряжение источ.гика горизонтального смещения, который входит в состав облока 7 и позволяет смещать выбранный участок изображения по горизонтальной оси. Сформированное тацм образом напряжение поступает ца вход порогового элемента 11.Г 1 ороговыи элемент срабатывает црравенстве напряжений развсртки и смсщс ш;я и запускает рормцроватсль, которыйвырабатьВает импульс, открывающий схему совпадения 18.Нзпряттсеетцс рззВертки с ВыхО;еа тстсратора 10 поступает на вход блока 8, где оцо 10 оммутируется и уменьшается по амплитуде через строку, и к нему прибавляется цап 55 жсцие истоцц 1 з вертизльцого ссцсцця, который входит в состав блока 8. Изсиенце величины этого нагряжения позво. 5 5 ест смсщат 1 Выорзццый учетстоес цзобрз.снця по всртцальцой осц. Сформированцос яких Образом напряжстцс посту паст на вход порогового элс.;сита 12,Г 1 орогоиый элемент 12 ацалогшшо эле менту 11 вырабатывает импульс, открьваощцй схему совпадений 18.Напряжения строчной и кадровой разВсрток с выходов генераторов 9 ц 10 подаются на отклоняюцце системы ЭЛТ 16 и ЗЛТ 17, Выходной сигнал схемы совпадений 18 складывается с импульсом триггера в сумматоре 14 и на выходе последнего формируется ттапряжение, которое запирает ЭЛТ 16 на г:рсмя нсчстных строк ц подз 0 свсчиваст изображение участка во времячетттетх строк. Импульсы с трстьсго выхода триггера 15 запцратот ЭЛТ 17 на время четных строк.Выполнение ВКУ указанным образомдаст возмо 5 кттость искспочцть коммутацию цтдеосцгналов с частотой строчной развертки для подключения его к ЭЛТ и уменьццть искажения видеосигнала при увс. чсццп скорости развертки.40Формула изобретения Вц;еоконтрольное устройство для э; стронного микроскопа, содержапес детектор 45 излучений и две э,чектроЕно.т:тсвьс труб: якзя цз Оторттх со,С 1)жцт сато,модулятор и отклоняющие системы, сос,шцсццыс с генераторами строчной п кадровой ряВспток, подключенными соотвстствсццо 0 о вхо я олоков ЕЬормирования амп,тц-строчой ц я:ровой развсрток, выходы к- чорых сосдцц; ис ст;сгсмой сашровяцця элстротт 1 тг е .;Иросоця, о т л и ч а:о тц с е- С Я ГСМ сТО С ЦСЛЬЕОУстштстЦ 51 1 СКЗ;1 С- цця Вцдсосцтт.з,я, ОИО С 1 яб 5 сс 0,вг я поОоговымц эчссцтетмт., Сухматово:1 ц ттчцггсром, причем входы гороговьх эл-ментов сос;Еццс 1 ты с вь 0.3.1 блосов формттровзнця ямплТу, строш ой ц кадровой развср ток, а выходы - со схемой совпадения, гтодключс;пой к первому входу сумматора, Вход триггера соединен с выходамц гсцераторов строчной и кадровой развсрток, а его Выходы - со входами блока формирования амплитуд строчной и кадровой рззвсрток,811363 Составитель В. Гаврюшин Корректор С. файн Текред Л. Куклина Редактор О. Филиппова Заказ 347/354 Изд.229 Типаж 784 ПодписноеНПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушскаи наб., д. 4/5 Тип. Харьк. фил. пред. Патент модулятором первой электроннолучевой трубки и вторым входом сумматора, выход сумматора соединен с модулятором второй электроннолучевой трубки, а катоды обеих электроннолучевых трубок соединены с детектором излучений. Источники информации, принятые вовнимание прн экспертизе:1. Патент Фр анции2335945, кл. Н 01 137/26, опублик. 1977.5 2. Патент Японии51-36150, кл, 99 С303, опублик. 1976 (прототип).