Способ испытания на герметичность

Союз Сфветскнд Соцналнстнческнв РеспубликОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ(51) М. Кл.з а, 01 М 3/02 с присоединением заявки йо Государственный комитет СССР но делам изобретений н открытий(53) УДК 620.165,29(088.8) Дата опубликования описания 28. 02. 81( 54 ) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способу испытания на герметичность замкнутых изделий с повышенной гаэоностностью наружных поверхностей с помощью массспектрометрического течеискателя.Известен способ испытания иэделий на герметичность, по сфорому изделие помещают в вакуумную камеру, вакуумируют ее, заполняют изделие пробным газом и определяют утечку газа из изделия с помощью масс-спектрометрического течеискателя 111Недостатком данного способа является недостаточная точность реэуль татов испытания крупногабаритных изделий ввиду значительного газоотделения с внутренних стенок вакуумной камеры и наружных поверхностей испытываемого изделия. 20Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемо" му эффекту является способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделие помещают в 2 с исгытательную камеру, вакуумируют ее до заданной степени разрежения, поддерживая эту.степень разрежения, подают в камеру гаэ"носитель и заполняют иэделие пробным газом, а о герме тичности иэделия судят по содержанию пробного газа в испытательной камере 2.Недостатком известного способа является небольшая чувствительность, вызванная тем, что ,технический гаэноситель содержит заметное количество неадсорбирующихся при температуре жидкого азота газообразных примесей.Цель изобретения - повышение чувствительности способа испытания иэделия на герметичность.Для достижения указанной цели в качестве газа-носителя используют пары воды и одновременно с подачей в испытательную камеру паров воды на выход вакуумного насоса подают углекислый газ.На чертеже представлена схема реализации предлагаемого способа.Схема включает испытательную камеру 1 со штуцером 2 подвода паров воды, штуцером 3 подвода пробного газа в испытуемое изделие 4 и штуцером 5 подключения контрольной течи 6. К испытательной камере 1 последовательфно подсоединены высоковакуумный насос 7 и через магистраль 8 предварительного разрежения - форвакуумный насос 9 и течеискатель 10, включаю-.щий азотную ловушку 11, масс-спектрометричрскую камеру 12, вентиль 13,соединяющий магистраль 8 предварительного разрежения с азотной ловушкой11. Форвакуумный насос 9 имеет газобалластное устройство 14 с вентилем15 для подачи углекислого газа навыход насоса 9.Способ осуществляют следующим образом.Испытуемое изделие 4 помещают виспытательную камеру 1. Затем произ-водят ступенчатое вакуумирование камеры 1 насосами 7 и 9. При достижении заданного равления в камере 1, например, 1 10 мм, рт.с.с Рс 2 10 мм рт.ст. поддерживая эту степень 15 разрежения, подают в камеру 1 пары воды, а через вентиль 15 в гаэобалластное устройство 14 на выход форвакуумного насоса 9 углекислый гаэ. Давление углекислого газа на входе в га- рэобалластное устройство 14 поддерживают в пределах, обеспечивающих нормальную работу Форвакуумного насоса9, исключакщего конденсацию паров воды в рабочей камере насоса 9 и обеспечивающего надежную защиту вакуумной системы, камеры 1 от атмосферы. После продувки испытательной камеры 1 парами воды в течение 30 мин, фон пробного газа в камере 1 стабилизируется и определяется динамическая чувствн- Зо тельность системы испытания, для чего вкамеру 1 подается поток пробного газа от контрольной течи 6.Затем иэделие 4 заполняют пробным газом и после выдержки в течение З 30 мин дуя перемешивания пробного га-. за с воздухом внутри изделия 4 производят оценку герметичности испытуемого изделия 4, по содержанию пробного газа в испытательной камере 1, 4 О путем сравнения потока пробного га за из иэделия с потоком пробного газа от контрольной течи.Увеличение чувствительности испытания достигается за счет значительного снижения содержания остаточного газа в испытательной камере 1 и в магистрали 8 предварительного разрежения, позволяющего при наличии в вакуумной системе паров воды более эффективно перераспределить поток пробного газа между течеискателем 10 и Форвакуумным насосом 9 в сторону насоса 9 благодаря более интенсивному адсорбированию паров воды на азотной ловушке 11 течеискателя 10, а также эа счет практически полного исключения проникновения атмосфер-. ного воздуха,. в частности содержащегося в нем пробного газа в гел,в вакУумную систему камеры 1 через выход Форвакуумного насоса 9, благодаря подаче углекислого газа в гаэобалластное устройство 14, что позволяет значительно снизить Фон гелия в магистрали 8 предварительного разрежения, а также содержание неадсорбирующего остаточного газа.Формула изобретенияСпособ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделие помещают в испытательную камеру, вакуумируют ее до заданной степени разрежения, подают в камеру газноситель и заполняют изделие пробным газом, а о герметичности изделия судят по содержанию пробного газа в испытательной камере, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности способа,.в качестве газа-носителя используют пары воды и одновременно с подачей в испытательную камеру паров воды на выход вакуумного насоса подают углекислый газ.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Ланис В.А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. И., Госэнергоиэдат, 1963, с. 226.2. Авторское свидетельство СССР Р 492771, кл. С 01 М 3/02, 12.04,74 (прототип).808892 Составитель В. Макаровова ТехредМ. ГОлинка Корректор В. Синициая Сп Редан ПодписноеСР Патент", г. Ужгород, ул. Проектн Филиа каз 399 44 ВНИИПИ Госуда по делам и 113035, Москва, Ж