Предметный стол

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Соцнапнстнческнх Уеспублнк(51)М, Кл 3 6 12 В 1/00 с присоединением заявки йо(73) Приоритет Госуяарствеиный комитет СССР но млам изобретеннй н открытий(54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛ Изобретение относится к радиотехнике, и в частности к технологическому оборудованию в микроэлектронике.Известно устройство для перемеще ния иэделий, содержащее основание, 5корпус, подвижную головку, состоящую из стойки, несущей планшайбу 1 1,Недостатками устройства являютсясложность конструкции и возможностьтолько вертикального перемещения. ОНаиболее близким по техническойсущности является предметный стол,содержащий корпус, основание, подвижную стойку, планшайбу, механизм подъема стойки и механизм поворота планшайбы (2 Д,Недостатком этого устройства является малое быстродействие.Цель изобретения - повышение производительности. 20Указанная цель достигается тем,что в предметном столе, содержащемкорпус, основание, подвижную стойку,планшайбу, механизм подъема стойкии механизм поворота планшайбы, подвижная стойка и планшайбы снабженыферромагнитными гребенками, а механизм подъема подвижной стойки и механизм поворота планшайбы выполненыв виде постоянных магнитов и П-образ- З 0 ных магнитопроводов, расположенныхвозможностью взаимодействия с ферромагнитными гребенками.На фиг. 1 изображен предметныйстол, общий вид; на фиг. 2 - разрезА-А на фиг. 1; на фиг, 3 - разрезБ-Б на фиг. 1; на фиг, 4 - процессработы устройства.Предметный стол содержит основание 1, подвижную стойку 2 с планшайбой3, механизм 4 подъема стойки и механизм 5 поворота планшайбы, состоящий из двух магнитов установленныхв подвижной стойке 2. Подвижная стойка 2 прямоугольное сечение, на нейрасположены гребенки 6, выполненныеиэ ферромагнитного материала..На внутренней поверхности планшайбы 3 выполнены гребенки 7 такжеиз ферромагнитного материала.Каждый из магнитов механизма 4подъема стойки и механизма 5 поворота планшайбы состоит из двух магнито-проводов 8 фиг. 1 и 2) обмоток управления 9 и постоянных магнитов 10,установленных в корпусе 11,Полюс А магнита(фиг. 4) имеет двеграни О и Ох, а полюс В - Ь и Ьт .Расстояние между центральными линиями граней а и а , Ьи Ь равноФ ( Кф Ф 2), где К - любое целое число, а Р - период зубчатых структур 6 и 7, расположенных соответственно на подвижной головке 2 и планшайбе 3. Полюс В смещен по отношению к полюсу А на величину Р(К+ /43Предметный стол работает следующим образом.Для создания перемещения головки 2 фиг. Ц по оси -,7 в обмотку управления А (фиг. 4 а)магнитов 8 по-дается ток 1, в результате чего увеличивается магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом 10(фиг. 44, в грани 0 магнитопровода 8, а магнитный. поток в грани 4 уменьшается до нуля.13Эуб гребенки устанавливается против грани с 4 (фиг. 4 а) магнитопровода 8 механизма 4 подъема головки.При. подаче тока 1 В в обмотку управления В (фиг. 4 б) и отключении то ка в обмотке А, магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом переключается в грань в и стойка 2 перемещается вверх на 1/4 Р.При подаче тока 1 в в обмотку управ- р 5 ления А (фиг. 4 в) и отключении тока в обмотке В, магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом переклю- .ается в грань Д. и стойки 2 перемещается вверх еще на 1/4 Р.При подаче тока 1 в обмотку В ( фиг. 4 г) и отключейии тока в обмотке А, магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом, переключается в грань Ь и стойка 2 перемещается вверх еще на 1/4 Р и т. д.для создания перемещения стойки 2 вниз изменяется порядок коммутации обмоток управления. Поворот планшайбы 3 осуществляется аналогич но перемещению стойки 2.Силы притяжения создаваемые магнитными связями между планшайбой 3 и механизмом 5 поворота планшайбы, стойкой 2 и механизмом 4 подъема стойки, уравновешиваются давлением, создаваемым сжатым воздухом, поступающим в зазоры между планшайбой 3, стойкой 2 и соответствующими механизмами поворота и подъема, что обеспечивает постоянство этих зазоров, поворот планшайбы 3 и перемещение стойки 2 беэ трения.формула изобретенияПредметный стол, содержащий корпус, основание, подвижную стойку, планшайбу, механизм подъема стойки и механизм поворота планшайбы, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности, подвижная стойка и планшайбы снабжены ферромагнитными гребенками, а механизм подъема подвижной стойки и механизм поворота планшайбы выполнены в виде постоянных магнитов и П- образных магнитопроводов, расположенных с возможностью взаимодействия с ферромагнитными гребенками.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США Р 3996517,кл. 324-158, 1972.2, Патент США 9 3446065,кл. 73-105, 2705.69(прототип).Редактор А ШЬ ное 130/76 Тираж 6 5 Подпис НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, И, Раушская наб., д. 4/каз тентф, г. ужгород, ул. Проектная,4 илиал ППП Состав Тех ред ель О. КудрявцеваМигунова Корректор Е.Папп