Регулятор расхода газа

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскими Социалистических Республик(22) Заявлено 23.02. 79 (21) 2728721/18-24с присоединением заявки Нов(51)М, К,С 05 Э 7/01 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в любой отрасли техники для получения точной дозировки исследуемых газов.Известен регулятор расхода, содержащий корпус с входным и выходным каналами и регулирующий орган, выполненный в виде дисков, связанных с электроприводом 11 .Недостатком регулятора является невозможность его применения для регулирования малых расходов иэ-эа возможных утечек газа.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является 15 устройство для регулирования малых расходов газа, содержащее корпус с входным и выходным каналами и связанный с приводом регулирующий орган, выполненный в виде подвижной платы 20 с выемкой переменного сечения. Выходное отверстие и выемка переменного сечения образуют регулируемую щель 2.Однако известное устройство не обеспечивает высокой точности и плавности регулирования малых расходов газов по всей длине выемки переменного сечения при перемещении ее над выходным отверстием. Расход газа ре гламентирован размерами выемки пере" менного сечения, Регулирование расхо- да газа в других пределах возможно лишь при замене подвижного элемента на другой с соответствующими размерами выемки переменного сечения.Известное устройство не обеспечивает полную герметичность в условиях вакуума между подвижной и неподвижной притертыми поверхностями, что недопустимо в случае необходимости предварительной откачки вакуумной системы с целью полной очистки или прекращения подачи газа по технологическому процессу. Это приводит к ненадежности работы устройства. Цель изобретения - повышение точности и надежности регулятора расхода газа.Для достижения укаэанной цели, в корпусе установлены сильфон и втулка, в боковом отверстии которой расположен, установленный в сильфоне ре гулирующий орган, выполненный в виде штока, на боковой поверхности которого выполнены различной длины клиновидные канавки, а на торце штока выполнена цилиндрическая наклонная канавка.773579 На фиг. 1 изображен регулятор расхода газа, общий вид; на Фиг. 2 положение штока при последовательном перемещении вниз, разрез А-А на фиг.1; на фиг. 3 - одна из канавок, выполненных на боковой поверхности штока.5Регулятор расхода газа содержит регулирущий орган 1, имеющий Форму штока, на боковой поверхности которого выполнено несколько различной длины клиновидных канавок 2 переменного сечения (вершины их расположены ступенчато по отношению друг к другу), а на торце штока выполнена цилиндрическая наклонная канавка 3. Шток 1 перемещается в боковом отверстии втулки 4 с входным 5 и выходным б каналами, сообщающимися с помощью канавок 2 и 3 штока 1.Шток 1 соединен с сияъфоном 7, имеющим высоковакуумное уплотнение 2 О 8, а также через винтовую передачу 9 с электродвигателем 10 и с редуктором, с помощью которого шток 1 приводится в возвратно-поступательное перемещение. Шток 1 содержит кольцевую уплотнительную прокладку 11.егулятор расхода газа работаетследующим образом.При начальном верхнем положенииштока 1 полностью открыт входнойканал 5, что соответствует наибольшему расходу газа, зависящему от площади сечения входного 5 и выходногоб каналов.При поступательном перемещении35подвижного штока 1 вниз газ поступает через щели, образуемые цилиндрической наклонной канавкой 3 иклиновидными канавками 2 переменного сечения при пересечении с поверх Оностью 12 кольцевого корпуса 4, чтосоответствует положению на чертеже(Фиг. 26),При дальнейшем перемещении штока1 вниз, продолжается регулированиебольших расходов газа до выхода издействия наклонной канавки 3.Расход газа постепенно уменьшается и дальше начинается регулирование малых расходов газа (фиг.2 в),Так как вершины клиновидных микроканавок 2 переменного сечения расположены ступенчато по отношениюдруг к другу, т.е. размер последующейканавки меньше, чем у предыдущей(Фиг.З) то при дальнейшем перемеще- Ынии вниз подвижного штока 1 последовательно выходят иэ действия клиновидные канавки 2 (Фиг.2 г,д,е),Положение штока 1 (фиг. 2 д) соответствует наименьшему расходу газа, ща при дальнейшем его перемещениипрокладка 11 уплотняет подвижный шток 1 и расход газа прекращается (Фиг.2 е).Микровыключатели 13 отключают электродвигатель 10 в крайних положениях штока 1.Таким образом, величина щелей в каждом из возможных положений подвижного цилиндрического штока 1 определяет величину расхода газа.Максимальное количество пропускаемого газа соответствует положению подвижного цилиндрического штока 1 вверху (Фиг. 1 и фиг. 2 а), а минимальное - внизу (фиг. 2 д).В предлагаемом регуляторе расхода достигается повышение точности регулирования малых расходов газа за счет выполненных на наружной рабочей поверхности цилиндрического штока 1, нескольких различной длины клиновидных канавок 2 переменного сечения, а также осуществляется регулирования больших расходов газа с помощью цилиндрической наклонной канавки 3.Повышение точности регулирования особо малых расходов газа достигается также за счет изменения размеров клиновидных 2 переменного сечения, т.е. уменьшения размеров и , к и увеличение размеров Р (фиг,З).В предлагаемом регуляторе расхода при перемещении штока с клиновидными канавками 2 переменного сечения по отношению к поверхности 12, перпендикулярной оси перемещения штока, размеры образуемых микрозазоров изменяются плавно, беэ скачков, выходят из действия поочередно и также план- но, что обусловлено воэможностью технологического исполнения поверхностей клиновидных канавок 2 плоски- миф Формула изобретения Регулятор расхода газа, содержащий корпус с входным и выходным каналами, связанный с приводом регулирующий орган, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения точности и надежности регулятора, в корпусе установлены сильфон и втулка, вбоковом отверстии которой расположен,установленный в сильфоне регулирующий орган, выполненный в виде штока,на боковой поверхности которого выполнены различной длины клиновидные канавки, а на торце штока выполненацилиндрическая наклонная канавка.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1.Авторское свидетельство СССРР 450048 кле С 05 О 7/03 19722.Авторское свидетельство СССР9 301 б 91, кл. С 05 О 7/01, 1969 (прототип).773579 г. Составитель Л.Подшибихинктор Г.Волковая Техред Н.Ковалева Корректор М.шароши П"Патент", г,ужгород, ул.Проектная,Филиал з 7503/60 Тираж 956 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, комитет открыт аушская Подписно СССРЙнаб., д,4