Способ измерения параметров анизотропии

-СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН 19) О 1) 2 ОМИТЕТ СССРИЙ И ОТНРЬПЗМ ГОСУД АРСТ 8 ЕННЬЮГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕН ЗОБРЕТЕНИЯ В(86) 1. Попяризационно-оптический метод и его припоження к исспедоваюао тепловых напряжений и деформаций. Киев, Наукова думка, 1976, с. 121.2. Гор)яков М.М. Эппнпсометрия. М., фСов. радиоф, 3,974, с. 138-142 (прототип).(84) (87) СП:)СОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ АНИЗОТРОЙВИ в неоднородных а низотрошых обьектах, вкпючающий форГ ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМУ СВ мированне пннейно попярвзованного, модупированного по азимуту попяризацнн просвеннвающего пучка и нзмеренне раз ности фаз между опорным сигналом к сигналом; всзникайщий дпя регнстрацин раосеянного объектом изпучення; о т п нч а ю щ н й с я тем, что, с цепью ис вышення точности и упрощения процесса нзмереннй, допоцнитепьно создают эппиптическую поцяризацию просвечивающего пучка, модупнруют его цо эппиптичности поспедоватепьно при двух направпеннях бопьшой оси эцпипса попяризации, составаиощих друг с другом угол 48, а разность фаз измеряют при всех видах модупяцин.е1730988 2Йэобреттение относится к обпасти ис- формирование:линейно поляриэованноготсспедомния неоднородных анизотропных модулированного ло азимугу попяриэацииобъектов оптическими методами. просвечивающего пучка и измерение разИэвестны способы исспедования неодно- ности фаэ между опорным сигналом иротднйх анизотропных объектов, использу ) сигналом, возникающим цри регисграцииющие регистрацию расееянного обьектомрассеянного объектом излучения, допопниизпучения 1 . Эти- способы вскйючают" - тельно создают ацпиптическую поляриэаформирование пинесйно йоляриэованнож-цию просвечивающе 1 о пучка, модупируютпросвечивающего пучка, модупятций его: - его по эплиптичности поспедоватепьно припо азимуту попяриэации, измерение раэ-10 двух нацравцентиях бспьшой оси эппипсаности фай между опоерньм сигнапоьГй сиг- попяризации, составпяющих друг с другомнапомв возникающим в канапе РегжтРйции Угоn 48 о, а Разность фаз иэмеРЯют пРи" " фТссеяйного света, или уравнивайие фаз" "вСех"вдидах модуляции.этйх сигнапов изменением параМетров . Создание эппиптической "цопяризациикомценсационйых устройств, ввсондимых"впросвечивающего пучка, введение двухщюсвесчивающий пучок, а также изЫедрейия видов его модупяции и допопнитепьныеИитЕНСИВНОСтн раССЕяННОГО ОбЪЕКтОМгтИйцу-,."ИЗМЕрЕНйят Прн ЭТИХ ВндаХ МОдупяцннраЭчения и угповйх юйтичан. "г"" нотей фаз.междуу овэрвым сигнапом иНедостатками,тйсих устройств явпяют". " сигнсапагмй, воэникакхциьФй при регистра" ся разность юмеряемых вепичийМаФяции рассеянного обьектом кзпученйяв- тбчибсть измерения некоторЫсхйз гнйх,-а пмводяюттпоспучйть нужные"дганные о патакже сложность процесса измгесрейая.. раметрах", аснйэотроспйи неоднороднйх аниэо-Наибопее бнйзкнм по технической" " тройеюх объектов по одним фазовым иэ-сущности к изобретению явпяется спо" "мееМйям, не nрибегая к юмерениямсон, пр 9 мененный в воппрвгетре 21 . гу.друге вепнчин" Ьт 1 нсюестей, угповПо этому способу для просвечивания "поуворотад и поиску акстремумов интенисследуемого объекта формируют 2 йийетййосивности. Переход к измейению иесколь полярвзованный пучок, модулйруют его йойхэйачений одной втегдичйны которая-азюмутту попяризации и для каждой йс". измеряется с малой погрещностьюв поспедуемой точки объекта измеряют раэ-звоцяет повысить точность азМереиийность фаэ. между опорным сигнапом и сиг- Йфуоетйть"процесс измерений,"6 ВВМ всузсникаиМЖв-канасйерегистрааи Йа чертеже изображено устройство,рассеянного света. Кроме того йзметря- .реаиизующтеед-прйдиагаемый способ иэмере Йтд утоп поворота объекта от рефеЮНФного нйя,йапргавпения до попожения, при котором устройство вкпвчает источник моие" сигнал в канапе рассеянного света . З 5 ройетрйчегского попяриэованного аэпучвмицимапен; и интенсивность рассеянтйогония "1, вращающуюся от двигатепя цпасу="=света в етомже канапе" при повспеейующесмтийку я /2 2, "две ппастинки3/4 3повороте объекта на 45 . Попучесейййеи 4 ЙВв 3 аае наЩЙвйения которых составаащВФЪсйЫьзуют "Лйя "опейййая айра-тгс.пяте другстс другом угоп 48 О, исспедуе"."мегров аниэотропни объекта, О мый о 64 кет - б Камий регистрации раоНедостатком этого способа явйяетсясеянного обеъетктом изгнания В и 7поля-ндеобходимнтсуетьр измууерейЖ фзатх . . " "ррйзатор 8" фгсОцрйесмники регистрифую-,вепвчийГММгенсивностей рсаСсеянного све-щих й опорййу кйщйотв рв 9, 10 и фазота, углов поворот и фазовыхаорЪйтстерис- " метр 11. Йластиюю" 2 - 4 составпяют в"тике"сигналов, что эначитецьно успожняет 45 еоувоткупейтиуполярюацйонпый модуля-Щосцесс Йзмеренйя и затрудняет автома- тор 12;тизацию. Кроме того, измефейият ййтен-Поспе источника изпучения 1 попяризасивностейс значитеепьнсо уступают фаэовйемр цтионным модулятором ПМ (т,е; вращениемиэмефейиям цо точности и требуют спе пйагстинки 3/2) формируют линейно по "цюпЫных мер ддпя исключения впияния о йятруюовганрйый пучок, модувироваиный цонестабильности просмчивЪюаегод очкаи азийутуг Поляризации. ЗатеМ просвечиваютряда других факторовс,вызываюсщи из-" йтим пучком объект 8 ирегистрируютмейение интенсивностигратссеягйснеббо света, рассеянное объеитсвг. Излучение в двухЦелью изобретения является"поваае- нвправпениях, распопожеаных в плоскости, .-"юйб точности й упрющение процеСса изме перпендеикулярной просвечивающему пучку,ранний. -- - : и образующих друг с другом угол 45Эта цепь достигается тем, что по (каналы 6 и 7). С выходов фотоцрием" "щйдпаегаемому способу; включающему у ников 9 на Мзмеритепьный тракт посту ФФтее"уФ .с г3 739985 ., 4дают синусоиаальеюе сигналы. Опорный ность фаз между опорным сигналом и.: сигнал формируют, отводя часть линейно сигнапамн в каналах 6 и 7. Затем измепопярзованного, модулированного по няют направление бопыпой оси эллипсаазимуту поляризации излучения и пропуо-" попярюации просеечивакецего пучка накая его через поляризатор 8, полученный 5 48 о и модупируют его до эллнйтичности.с фотоприемйика 10 опорный сигнал име- Это может быть юпопнено, например,Ьт ту же частоту, что и регистрируемые- введением пластинки 3 и введением ппаосигналы, вэность фаз между опорным тинки 4. При етом состояниидросвечивасигналоМ и бдннм из регистРируэмыхющего пучка вновь повторяют иэмереннясигналов при отсутствии анзотропин обь разностнфазвобоихканалахЯрезультатенэекта равна йфйо, Разность фаэ между;мереннйдлякаждойнсследуемойточкнмоделиопорным сигналом и сигналами в обоих . получают таблицу из щести значений раэрегистрирующих каналах измеряют фаэо- ности фаэ. По данным дпя двух соседникметром 11. Затем попяриэационным мо- .точек объекта рассчитывают характерист- дулятором созаают эллиптическую поляра ческие параметры, которые и являютсяэацию просвечивающего пучка при надрав- - мерой анизотропии выделенного этимипении больщой оси эллипса, соитдавтнм с точками участка объекта.с 6 ааимз направлений регистрации рао: Переход от измерения ряда раэнороасеянного света, и модупируют его по эп- ных величинк-"измеренйб одной величинылиптичости. Это осуществляют, напр значительно упрсщает процесс измерения,йер, введением после вращающейся полу- повышает скоростьзмерений, облегчаетвопновОЙ пластинки 2 пластинки/4 3., автоматизацию процесса и его точость.гпавной направление которого совпадает . Предлагаемый,способ опробован экос оаВ 64 з направлейий регистрации рао- пэриментально с тесъ-объектом и Вмвсгсеянного Юлучения. Снова юмеряют раэ, ными характеристннескнми афаметрами.фс+Зюаэ 6614/3 Тырс 873 ПодпвсновВНИИПИ Государственного комитета" СССР- по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж-ЗБ, Раущсквя набд. 4/5- филиал ППП фПатентф, г, Ужгород, ул". Проектная,"4:, ,4% " "-