Зондовое устройство
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(5)М. Кл. Н 05 К 1/04 с присоединением заявки Нй Гасударственный комитет СССР йв делам изебретений и еткрмтнй(53) УДК 621.396. .6,002.7 (088,8) Дата опубликования описания 18.04.80(54) ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО 1Изобретение относится к радиотехникеи может быть использовано для измеренияповерхностного и удельного сопротпвленийполупроводниковых материалов, в частности четырехэондовым методом.Известны зондовые устройства, содержащиезонды, подвижно установленные вцилиндрических направляющих 1Однако в зондовых устройствах с подвижно установленными в цилиндрическихтанаправлякецих зондами всегда:.есть зазо-,ры, которые обуславливают нестабильностьрасстояния между двумя соседними зондами в точках контактирования их с поверхкостью измеряемой полупроводниковойструктуры,Известны зондовые устройства, содержащие зондовую головку с неподвижно закрепленными относительно друг друга в иэолируюшем корпусе двумя потенциальными зондами и предметный столикЯОднако известное зондовое устройство .обладает рядом недостатков, обусловленных наличием осй качания зондов, распо 2ложенной вьппе точек контактирования их с поверхностью йзмеряемой полупроводниковой структуры, что приводит при контак тировании к скольжейию острия зонда по поверхности структуры, взаимному травмированию и снижению точности измерений.Цель изобретения - повып.ение точности измерений.Это достигается тем, что в известном зондовом устройстве, содержащем пред-метный столик и зондовую головку с непщвижно закрепленными относительно друг друга в изолирукянем корпусе двумя потенциальнЫми зондами, предметный столик снабжен осью качания, расположенной в плоскости онтактирования симметричноотносительно потенциальных зондов. На фиг. 1 изображено зондовое устройство, вид сбоку; на фиг. 2 - четырехзон довая головка.,о центральной парой потенцйальных неподвижных зондов, опушенная на предметный столик, вид спереди.3 7282Зондовое устройство состоит из четырехзондовой головки 1, предметного столика 2, пантографа 3, демпфера 4, стойки 5, станины 6, манипулятора 7, рукоятки 8 подъема демпфера, регулятора наьрузки 9, вакуумной присоски 10, грузов11, рег,;лировочных винтов 12, 13, обой. мы 14 и подвески 15, оси 16, станины17, винта 18, который служит для установки оси 16 в центральную плоскость 10между потенциальными зондами 19, запрессованных в изолирующий, корпус 20,В четырехзондовой головке располагается пара: подвижных токовых зондов 21,К.торцам зондов прикреплены электриче ьские.выводы 22,Работа зондового устройства осущес в.вляетсм следующим образом.Помещают на предметный стслик 2 полупроводниковую структуру 23, включают 20вакуумную присоску 10, Опускают рукоятку 8, вследствие чего срабатываетдемпфер 4, и головка 1 плавно опускаеуся на структуру 23. Пары зондов .19, 21прижимаются к поверхности полупроводниковой структуры 23. При неодновременном касании зондов поверхности структуры 23 контактирование всех четырех зон 27 4дов с указанной поверхностью достигаетсяза счет балансирования предметного столика вокруг оси 16. формула изобретенияЗондовое устройство, преимущественно для измерения удельного и поверхностного сопротивлений полупроводниковыхматериалов, содержащее предметный столик и зондовую головку с неподвижно закрепленными относительно друг друга визолирующем корпуса двумя потенциальными зонами, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения точностиизмерений, предметный столик снабженосью качания, расположенной в плоскостиконтактирования симметрично относительно потенциальных зондов,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Кузнецов Ю, Н Сменов Н. И, иШевельков М.А. фЭлектронная промь 1 шленностьф5, 40-42, 1974.2, Полнак и Чаплин. Приборы для научных исследовайий Т. 33;8, 75-761962.. Катаманина ед ПодписноеР Тираж 885венного комитетатений. и открытийЗб, Раушская наб д, 4/5. Проектная Филиал ППП фПатент г. Ужгор аказ 1153/52ЦНИИПИ Государс по делам изофе113035, Москва; Ж оставитель Н. СТехред М Кузык орректор-,Е. Папи
СмотретьЗаявка
1981096, 24.12.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1412
МАХНО ЮРИЙ ЯКОВЛЕВИЧ, СКОРНЯКОВ СТАНИСЛАВ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H05K 1/04
Метки: зондовое
Опубликовано: 15.04.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-728227-zondovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовое устройство</a>
Зонд для измерения емкостных характеристик диэлектрических и полупроводниковых структур
Номер патента: 458062
Опубликовано: 25.01.1975
МПК: G01R 1/067, G01R 31/26, H01L 21/66
Метки: диэлектрических, емкостных, зонд, полупроводниковых, структур, характеристик
...лемент 3, с 2. аботает сл я емкостных харак х и полупроводник полусферу 1, втулк оединяющий полусф м образом,Изобретение относится к электронике и может использоваться для исследования полупроводниковых и диэлектрических структур.В настоящее время С(Р) -характеристики снимаются при помощи контактных металлических пленок, напыленных или осажденных на поверхность структуры полупроводник-диэлектрик.Однако использование известных контактных пленок не обеспечивает контроля пара метров образца до напыления в процессе обработки и невозможность снятия С-характеристик в любой точке образца. Помимо этого, сам процесс напыления пленочного контакта может изменять свойства структуры, что 1 затрудняет процесс исследования.Целью...
Устройство для ввода зонда в конвертер
Номер патента: 870442
Опубликовано: 07.10.1981
Авторы: Амис, Беда, Бубенков, Коцюбенко, Кравченко, Махнюк, Меренков, Резун, Фоменко
МПК: C21C 5/30
Метки: ввода, зонда, конвертер
...привод 2 подъема колонны 3 посредством каната 4 На колонне размещена поворотная стрела 5 соединенная посредством шарнира 6 с направляющей 7 и зондом 8, под" вешенным на гибком элементе 9, огибающем систему блоков 10, один иэ которых может быть соединен с прЕдохранительным грузом 11, свободно лежащим на рамеГибкий элемент закреплен на приводном барабане 12Устройство работает следующим обраэом.870442 формула изобретения Заказ 8676/52 Тираж 621 Подпис НИИ илиал ППП "Патент Ужгород, ул.Проектна При включении привода 2 начинается подъем колонны 3 закрепленным на ней канатом 4. Вместе с колонной.поднимается стрела 5 и направляющая 7, а зонд 8 втягивается в полость направляющей гибким элементом 9, свободный конец которого закреплен на...
Способ преобразования кинетической энергии звеньев механизма в потенциальную и наоборот и устройство для его осуществления
Номер патента: 932026
Опубликовано: 30.05.1982
Авторы: Понюняев, Хлевнюк, Янковский
МПК: F16H 33/02
Метки: звеньев, кинетической, механизма, наоборот, потенциальную, преобразования, энергии
...19, и цикл с ускорением вращения маховика повторяется, При достижении маховиком 2 расцетной скорости, т.е. когда время прохождения маховика 2 от точки 21 до точки 22 любого из секторов У 1 и У 2 становит.- ся равным времени импульса устройство входит в стационарный режим. Так как скорости перемещения маховика 2 и импульса, передаваемого ему от платформы 8, сравнялись, то маховик 2 уже не получает разгонного импульса, и энергия цилиндров 15 и 16 тратится только на изменение наклона платформы 8 и подъем маховика 2 без разгона последнего. Перед подключением устройства к ведомому звену 3, например 1, к прессу, упоры-ограничители 5 и 6 одновременно выдвигаются вверх, и платформа 8 выставляется в горизонтальное положение, затем...
Прибор для проверки сальниковых втулок, ограниченных внутри двумя коническими поверхностями
Номер патента: 25735
Опубликовано: 31.03.1932
Автор: Утин
Метки: внутри, втулок, двумя, коническими, ограниченных, поверхностями, прибор, проверки, сальниковых
...снабжена шарнирно укрепленным на ней винтом 14, проходящим сквозь отверстие серьги 15, установленной на второй части линейки, и снабженным расположенными на нем гайками 13, при помощи которых части линейки могут быть установлены под тем или иным углом друг к другу.При проверке сальниковой втулки, ограниченной внутри двумя коническими поверхностями, линейка 12 заводится в проверяемую втулку и части ее устанавливаются по образующим внутренних конусов втулки путем воздействия на гайки 13 винта 14. Линейка 12 после установки ее по внутренним конусам втулки закрепляется болтами в проушине планки 11, устанавливаемой при этом по образующей наружной поверхности втулки и переносится вместе с планкой на рамку 1. На рамке 1 планка последовательно...
Способ правки шлифовального круга одновременно двумя роликами и устройство для его осуществления
Номер патента: 738500
Опубликовано: 30.05.1980
Автор: Влоджимеж
МПК: B24B 53/14
Метки: двумя, круга, одновременно, правки, роликами, шлифовального
...К 1, Кхконтакта роликов с шлифовальным кругом. Это условие достигается привыполнении соотношения д ч, -ч =чр -чРавенство относительных окружныхскоростей Ч 1 и Чэ представляет равенство сил Р 1 и Ре, 1 действующихна поверхность шлифовального кругав точках К 1, Ка . Но так как скорости Ч и Ч направлены противоположно, то и силы Р и Р направлены в разные стороны, Посколькукаждый участок на подвергшейся.правке поверхности круга последова 738500тельно проходит через зоны контактас каждым роликом, то он подвергаетсяэнакопеременной нагрузке, а это интенсифицирует процесс правки и повышает производительность..Устройство для осуществленияпредложенного способа правки шлифо-,вального круга 1 двумя роликами 2,3 содержит привод 4, связанный...
Предыдущий патент: Способ дискретного определения положения рабочего конца электрода со сквозным каналом в ванне руднотермической электропечи
Следующий патент: Способ увеличения растительных пищевых веществ, содержащихся в картофеле
Случайный патент: 160688