Устройство для фокусировки

О П И С А Н И Е712794ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 17.08.78 (21) 2656781/18-10 сарисоединением заявки сударствеииыи комитет СССР(43) Опубликовано изобретеииткрытии по де) Авторыво бр етения(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИ Изобретение относится к области проекционной фотолитографии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем,Известны системы фокусировки, в 1 ото рых при формировании разностного сигнала дефоку сиро вки используется штриховой растр, разделенный пополам, причем одна из половин сдвинута относительно другой вдоль оптической оси системы на некоторое расстояние Л 1. Сигнал дефокусировки при этом формируется двумя фотоприемниками или одним сдвоенным.Однако в этом устройстве изображения от двух половинок штрихового растра строятся на полупроводниковой пластине в областях с разным топологическим рисунком, что значительно уменьшает точность фокусировки.Известно устройство для фокусировки, содержащее осветитель, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив и сдвоенный фотоприемник 12).Такое устройство имеет недостаточную точность и ограниченное быстродействие. 25 Цель изобретения - повышение точности быстродействия фокусировки.Постановленная цель достигается тем, что в устройство перпендикулярно к оптической оси системы введены две плоскопараллель- З 0 ные пластины из оптически одноосного кристалла, одна из которых расположена между растром и объективом, а другая - между коллективом и фотоприемником. Оптические оси первой и второй пластин расположены соответственно параллельно и под острым углом к пх плоскостям, а проекции оптических осей пластин на плоскость, перпендикулярную к оптической оси системы, параллельны или перпендикулярны между собой.На чертеже схематично показано предлагаемое устройство.Устройство для фокусировки содержит осветитель 1, свстоделительный элсмст 2, например, полупрозрачное зеркало, установленное наклонно к оптической осп. штриховой растр 3, плоскопараллельнук 1 пластину 4, вырезанную из оптически одноосного кристалла, например СаСОЗ илКаХОз. с оптической осью, лежащей в плоскости пластины, объектив 5, полупроводниковую пластину 6, коллектив 7, вторую плоскопараллельную пластину 8, вырезанную из одноосного кристалла, с оптической осью, лежащей наклонно к плоскости пластины, сдвоенный фотоприемник 9 и дифференциальный усилитель 10.Устройство работает следуюгцим обраСвет от источника 1, проходя кристаллическую пластину 4, расщепляется на две волны обыкновенную о и необыкновенную е, не разделенные в пространстве. Вследствие этого объектив б создает два изображения штрихового растра 3 вблизи фокусируемой полупроводниковой .пластины б, разнесенных только по глубине, но в одной и той же точке на поверхности полупроводниковой пластины.Растр устанавливают так, что в случае идеальной фокусировки его автоколлимационные изображения 3 и 3" находятсяУпо разные стороны на одинаковом расстоянии от него самого. Отраженный от полупроводниковой пластины световой поток направляется полупрозрачным зеркалом 2,и коллективом 7 на сдвоенный фотоприемник 9, проходя при этом вторую кристаллическую пластину 8. Приэтом две волны о и е разделяются в пространстве и попадают на две светочувствительные площадки фотоприемника 9.Злектрические сигналы с обеих площадок сдвоенного фотоприемника 9, соответствующие обыкновенной и необыкновенной волнам, поступают на дифференциальный усилитель 10, где один сигнал вычитается из другого и формируется разностный сигнал дефокусировки. Величина сигнала, равная нулю, соответствует положению фокусируемой полупроводниковой пластины при идеальной фокусировке.При использовании изобретения увеличивается быстродействие системы вследствие отсутствия механического модулирующего элемента, повышается точность фокусировки, так как изображения растра строятся о- и е-волнами одновременно и в одной и той же точке фокусируемой плас тины.Формула из о бретс нияУстройство для фокусировки, содержа О щее осветитель, светоделитель, штриховойрастр, объектив, коллектив и сдвоенный фотоприемник, отл ич а ю щееся тем, что, с,целью повышения точности быстродействия фокусировки, в него перпендику лярно к оптической оси системы введеныдве плоскопараллельные пластины из оптически одноосного кристалла, одна из которых расположена между растром и объективом, а другая - между коллекти вом и фотоприемником, при этом оптические оси первой и второй пластин расположены соответственно параллельно и под острым углом к их плоскостям, а проекции оптических осей пластин на плоскость, пер пендикулярную к оптической оси системы,параллельны или перпендикулярны между собой.Источники информации, принятые во 30 внимание при экспертизе:1. Духопел И. И. и др. Оптико-фотографический способ фокусирования на поверхность, Оптико-механическая промышленность9, 1972.35 2. Авторское свидетельство СССРЛЪ 406182, кл. 6 03 В 3/00, 1971 (прототип), 712794Заказ 14/41 Изд. Ма 146 Тираж 545 Подписное НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раущская наб., д. 4/5 Тип. Харьк. фял. пред. Патент