Дистанционно управляемый газовый натекатель

ОП ИИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскнк Социалистических Республик(22) Заявлено 1612,74(21) 2083475/18-25с присоединением заявки Йф(51)М. Кл,2 Н 01 д 7/20 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) ДИСТАНЦИОННО УПРАВЛЯЕМЫЙ ГАЗОВЫЙ НАТЕКАТЕЛ,Изобретение относится к устройствам управления газовыми потоками, в частности к устройствам обратного действия для плавного регулирования очень малых газовых потоков, вводИ- мых в вакуумную систему, и может найти примененйе в областях техники, использующих технологические процессы, протекающие в вакууме, например, в производстве электровакуумных приборов.Известны цельнометаллические игольчатые натекатели, величина на- . текания в которых регулируется погру. жением тонкой иглы в отверстие сед ла,(1. Плавное регулирование газового потока может быть достигнуто лишь при тщательном изготовлении конусной иглы, что сопряжено со значительными трудностями20 Известны дистанционно управляемые газовые натекатели, состоящие из .корпуса, штуцера, подсоединенного к вакуумной системе, упругого уплотнителя, перемещающегося перпендикулярно к оси отверстия штуцера, привода упругого уплотнителя, состоящего из отжимающей пружины и прижимаю- щего устройства 2. ЗО В известном дистанционно управляемом газовом натекателе уплотняющее усилие распределено равномерно по всему контуру уплотнения, и при перемещении уплотнителя в направлении, параллельном оси отверстия штуцера, регулировка величины газового потока осуществляется на начальном участке эа счет уменьшения уплотняющего усилия равномерно по всему периметру уплотнения, а на последующем участке (после по,ери контакта со штуцером) - за счет изменения зазора между кромкой отверстия и плоскостью уплотнителя, который также распределен равномерно по всему периметру. Такое равномерное распределение уплотняющего усилия, а затем н зазора ведет к отсутствию плавности регулировки величины газового потока. В случае, упругого уплотнителя равномерность изменения уплотняющего усилия по всему периметру уплотнения при открынании натекателя ведет к залипанию упругого уплотнителя на отн ерстии штуцера, результатом чего является резкий скачок величины регулируемого газового потока при переходе с начального участка регулирон - ки на последующий.Целью изобретения является увел:; -чение плавности регулирования вовсем диапазоне изменения газовогопотока.Цель достигается за счет того,что упругий уплотнитель установленпод острым углом относительно норма.и к плоскости среза уплотняемогоотверстия штуцера, при этом указанныйугол выбирается из соотношения40 4 Ы.460)оИа чертеже схематически изображенпредлагаемый натекатель,Дистанционно управляемый газовыйнатекатель состоит из корпуса 1 сзакрепленным в нем коническим штуцером 2 с отверстием 3 диаметром50,5 мм, соединенным с вакуумной сис темой. В корпусе также расположеныдва герметических электроввода 4 и5, йа электровводе 4 закреплена плоская отжимающая пружина 6, на которой 20установлен держатель упругого уплотнителя 7 с упругим уплотнителем 8,в качестве которого взят витонРП 13-45, а также кронштейн 9, накотором закреплен один из концов туго натянутой нихромовой проволоки10 диаметром 0,2 мм и длиной 70 мм,второй конец которой подсоединен кэлектровводу 5, Все элемент предлагаемого газового натекателя закрытыкожухом 11, соединенным герметичнос корпусом 1. В кожух 11 подается напускаемый газ, Уплотняющая поверхность упругого уплотнителя 8 расположена под углом 40 о60 к оси отверстия 3 штуцера.В исходном состоянии газовый натекатель закрыт и за счет расположенияуплотняющей поверхности упругогоуплотнителя 8 под острым углом к оси 4отверстия штуцера 2, кромка которого 40перпендикулярна оси, уплотняющее усилие распределено неравномерно по периметру уплотнения. При подаче напроволоку 10 через электровводы 4 и5 управляющего напряжения проволока 4510 удлиняется, и пружина 6 отжимаетупругий уплотнитель 8 от отверстия3. Так как перемещения малы, то можно считать, что упругий уплотнитель8 перемещается параллельно оси отверс тия 3 штуцера 2. При этом газовыйнатекатель начинает открываться. Яаначальном участке уплотняющее усилиехотя и уменьшается, но продолжаетбыть распределенным неравномерно по 55периметру уплотнения, благодаря чемунатекание начинает осуществляться непо всему периметру уплотнения, а потой его части, где уплотняющее усилие наименьшее, что обеспечивает 60плав ност ь р е гули ровк и н а н ачал ьном,-:астке. При дальнейшем увеличении управляющего напряжения на последующем участке натекание осуществляется за счет приоткрытия части отверстия штуцера 2, причем остальная часть периметра остается уплотненной. Это обеспечивает неравномерность распределения уплотняющего усилия по поверхности контакта сжатого уплотнителя со штуцером, таким образом препятствуя залипанию уплотнителя на штуцере и исключая скачок величины газового потока при переходе с начального участка регулирования на последующий. Постепенное открывание отверстия штуцера 2 обеспечивает плавность регулировки на последующем участке. При снятии управляющего напряжения с проволоки 10 происходит закрывание натекателя в обратном порядке.Использование описанного технического решения в конструктивном исполнении газового натекателя позволяет повысить плавность регулирования величины газового потока во всем диапазоне измерения, а также улучшить воспрои зводимость величины газового потока при прямом и обратном ходе, Данные положительные качества позволяют эффективно осуществлять автоматизацию технологического процесса обработки электровакуумных приборов.Формула изобретенияДистанционно управляемый газовый на 1 екатель, состоящий из корпуса, штуцера, подсоединенного к вакуумной системе, упругого уплотнителя, перемещающегося относительно отверстия штуцера, привода упругого уплотнителя, состоящего из отжимающей пружины и прижимающего устройства, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения плавности регулирования во всем диапазоне изменения газового потока, упругий уплотнитель установлен под острым углом относительно нормали к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера.2. Иатекатель по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что угол между упругим уплотнителем и нормалью к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера 40 йсС с 60Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Рот,А, Вакуумные Уплотнения.М., Энергия, 1971, с, 406,2, Пипко А,И. и др, Оборудованиедля откачки вакуумных приборов, М.,Энергия, 1965, с. 124 (прототип).698071 оставитель А.Даревскийехред О. Андрейко Корректор Ю.Макаренк . едактор И.111 убин аз 693 сно илиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектнае 6/36 ТирЦЯИИПИ Государствпо делам изобре 113035, Москва, Ж,923 Подого комитета СССРий и открытийушская наб., д, 4/