Ленточный конвейер

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Согоз СоветскикСоциалистическихРеспубпи(22) Заявлено 13,10,77 (21) 2532544/27 - 0с присоединением заявки,рй 5 6 15/60 есудврстввнньй квквтет СССР вв делам вэебрвгвний к вткргегвй(54) ЛЕНТОЧНЫЙ КОНВЕЙЕР ширине не одЦелью изоб номерности те руемого мате вания натяженУказанная шение рав.транспортия выравни. ляется новьобработкиобеспеченипо ширине.тигается тем,пенными в ретения яв рмическойриала путем ия ле ар ос о акло ны выполненынроточек вин авкам вым Изобретение относится к промышленному .транспорту, в частности к ленточным конвейе.рам для транспортирования чзделий плоскойформы и может быль использовано в электройной промышленности при производстве полупроводниковых приборов, например, на опера.циях фотолитографии, связанных с термообра.боткой слоя фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину.Данная операция необходима для удалениягоостатков растворителя из пленки фоторезиста,а также для обеспечения большей адгезии меж.ду подложкой и фоторезистом. От проведенияэтой операции зависит качество формируемогов пленке изображения,г 5Известен ленточный конвейер, включающийгрузонесущую сетчатую ленту, огибающую концевые барабаны, снабженные приспособлениями,фиксирующими на них ленту и предотвращаю.шими ее боковой сход. При этом каждое фик 20сирующее приспособление выполнено в видеобрезиненных роликов, установленных нод холостой ветвью конвейера, взаимодействующихс элементами наружной стороны сетчатой лен. ты. Ролики создают усилие, направленное в сторону, противоположную усилию, воэникающе. му при взаимодействии элементов внутренней стороны ленты с обводным барабаном 1).Однако данный ко 1 гвейер не исключает схода ленты с барабанов в процессе работы, В результате этого на ленте образуются гофры и склад. ки. Это отрицательно сказывается на качестве обработки материала,Известен ленточный конвейер, включающий приводной и натяжной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выступами, расположенными в проточках барабанов 121Недостатком конвейера является неравномер ность термической обработки транспортируемо. го материала, так как натяжение ленты по3 6913На фиг, 1 изображен ленточный конвейер, общий вид; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг, 1; на фиг. 3 - схема действия сил в точке контактирования полотна ленты с высту йом винтовой канавки барабана.Конвейер содержит замкнутую грузонесущую ленту 1, натянутую на приводной 2 и натяж. ной 3 барабаны. Лента 1 выполнена из стек. лоткани, армированной фторопластом (отве. чающей по качеству требованиям полупровод 1 О пикового производства при термической обработке слоя фоторезиста)., По одному краю ленты 1 выполнена стальная полоска 4, на которой на разном расстоянии друг от друга имеютСя выступы 5 (металлические шипы). 1 ь На поверхностях природного 2 и натяжного 3 барабанов соответственно выступам 5 выпол. иены проточки 6. Кроме того, по всей поверхности каждого барабана выполнены наклоненные в сторону проточек винтовые канав ки, образующие выступы 7 ивпадины 8. Натяжное средство конвейера выполнено в виде двух винтов 9, а привод осуществляется от мотор-редуктора 10. 25При включении мотор-редуктора 10 бараба ны 2 и.3 начинают вращаться. При этом в точках контактирования верхнего полотна лен.- ты 1 возникает сила натяжения Р, составляю. щвя которой - тангенциальная Рт направлена 30 в противоположную сторону от металлических шипов 5. Налйчие указанных сил при работе конвейера обеспечивает натяжение ленты 1 на барабанах 2 и 3 по ширине, в результате 63 4чего на полотне ленты 1 полностью отсутству.ют неровности (гофры, складки). При гранспортировании обрабатываемых иэделий, напри.мер, полупроводниковых пластин, изделия на.ходятся в контакте с полотном грузонесущейленты 1 всей своей поверхностью,Использование данного ленточного конвейе.ра, в частности, в установках инфракраснойконвейерной термообработки, предназначенныхдля сушки (задубливания) слоя фоторезиста,нанесенного на полупроводниковую пластину,обеспечивает одинаковый температурный режимв зоне обработки для всех обрабатываемыхпластин,Формула изобретения Ленточный конвейер, включающий приводной и натяжной барабаны с проточками наодном из краев, ленту с выступами,расположенными в проточках барабанов, о т л н.ч а ю щ и й с я тем, что, с целью ловы.щения равномерности термической обработкитранспортируемого материала путем обеспечения выравнивания натяжения ленты по шири.не, барабаны выполнены с наклоненными в сторону проточек винтовыми канавками.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР Иф 191406,кл, В 65 О 15/54, 1965,2. Авторское свидетельство СССР Ио 249258,кл, В 65 6 15/42, 1968 (прототип).6913 бЗ Составитель Г Ненаховечкова Техред З.фанта Корр ек то едактор риценк каз 6132/13 с/5 нал ППП "Патент", г Ужгород, ул. Проектна Тираж ЦНИИПИ Г по дел 13035, Мое958 Йодосударственного комитета СССм изобретений и открытийква, Ж - 35, Раушская наб., д. 4