Эмиссионный электронный микроскоп

(71) Затвь Латвийский ордена Трудового Красного аниме государственный университет им, П. Стучки ИССИОННЫЙ ЭЛЕКТР Й МИКРОСКОП(5 иссии рехода и термоэлектронн расплавленного вещества м,.чтоодержаопа. образец триия, что не ст В известном ус т специального закре ледования егомпературы пдав ть произв ратурах озволяет и темпе выш лен яетс ния зобретона рабаввния,ель чих температур объекблюдения фазового пее дквп в ис Изобретение относится к области эмиссионной электронной микроскопии и можетбыть использовано для исследования термоэлектронной эмиссии при фазовых переходах (плавлении) и из жидких расплавденных веществ.Известны эмиссионные электронныемикроскопы, в которых исследуются образцы только при температурах ниже температуры плавления вещества Ц,Известен также эмиссионный электронный микроскоп, содержащий колонну, высоковольтный изолятор, объектодержатель,иммерсионный объектив, отклоняющую систему и люминесцеитный экран 2. Указанная цель достигается те в предлагаемом микроскопе обьект тель выполнен в виде тигля, котор креплен на высоковольтном изолят установлен с иммерсионным объект в нижнем основании колонны микросНа чертеже представлено схематическое изображение колонны эмиссионного электронного микроскопа.Микроскоп содержит иммерсионный объектив, образованный исследуемым образцом 1, фокусируюшим электродом 2 и анодом 3, Электронно-оптическое изображение формируется на люминесцентном .экране 4, Тигель 5 и иммерсионный объектив расположены и нижнем основании колонны 6 микроскопа, фокусируюшцй элекгрод 2 иммерсионного объектива неподвижен, а изолятор 7, на котором закреплен. тигель с образцом, может пер мешаться относительно фокусируюшего электрода как в вертикальной, так и в6861064При постепенном повышении температуры образца можно наблюдать процессут рекристаллизации и фазовый переход изкристаллического состояния в жидкое, атакже исследовать термоэлектроннуюэмиссию из расплавленного образца,Конструкция изолятора и объектодержателя позволяет длительное время подиф- держивать образец при высоких темпера 1 О турах, а любой исследуемый образец устанавливается в углублении тигля безспециального закрепления,горизонтальной плоскости, а также изменять угол наклона по отношению к нему Анод 3 и контрастная диафрагма 8 мог быть перемещены как вдоль оси колоннь так .и перпендикулярно к ней. Отклоняющая система 9 выполнена в виде двух пар отклоняющих пластин,Конструкция эмиссионного электронн го микроскопа предусматривает также д ференциальную систему откачки через патрубки 10 и 1 1 для поддержания боле высокого вакуума в области объекта ис следования. За люминесцентным экраном 4 размещены средства измерения: цилиндр фарадея 12 и электрометр 13;Исследования на микроскопе проводятся следующим образом.С помощью иммерсионного объектива и отклоняющей системы на люминесцентном экране 4 формируется электронно-оп О тическое эмиссионное изображение. Локальный эмиссионный ток, попадающий в цилиндр Фарадея 12 измеряется электро- метром 13. Зная увеличение микроскопа и диаметр отверстия в экране, можно определить величину участка, с которого измеряется локальный ток, и рассчитать соответствующее эффективное значение локальной работы выхода, Перемещая образец механически или смещая его электронЗО но-оптическое изображение с помощью электрического поля, подаваемого на пластины отклоняющей системы 9, можно определить локальные значения работы выхода на любом участке образца и построить соответствующие функции распределения работы выхода по поверхности для данного образца. Формула изобретения Эмиссионный электронный микроскоп, содержащий колонну, высоковольтный изолятор, объектодержатель, иммерсионный объектив, отклоняющую систему и люминесцентный экран, о т л и ч а ю щ и йс я темчто, с целью расширения диапазона рабочих температур объекта исследования, наблюдения фазового перехода и термоэлектронной эмиссии из расплавленного вещества, объектодержатель выполнен в виде тигля, который закреплен на высоковольтном изоляторе и установлен с иммерсионным объективом в нижнем основании колонны микроскопа.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Патент Щвейцарии % 493934, кл, Н 01 Х 37/26, опублик, 1970.2. цружинин А. ВИсаев А. А., Корольков Н. С, Эмиссионный микроскоп с,ибезмасляной системой откачки, Известия АН СССР" ,сер. физики, т. 32, Ир 7, 1968, с. 1275 (прототип).686106 Составитель 9. ГаврюшинШубина Техред М. Петко Корректор М. Пожо дакт лиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная Заказ 5472/52 Т ЦНИИПИ Госуд по делам 113035, Москвараж 923врственногоиэобретени Ж 35, Ра Подписноекомитета СССРи открытийшская наб., д. 4/5