Контактирующее устройство для контроля динамических параметров микросхем

Изобретение относится к области из мерительной техники, а именно к зондовому измерительному оборудованию для контроля полупроводниковых приборов и интегральных схем и, в частности, предназначено для подключения контактных площадок микросхем к измерительной аппаратуре для контроля динамических параметров микросхем в наносекундном ди пазоне.Известно контактирующее устройство, содержащее основание, плоские пружины и зонды, выполненные с несколькими колеиообразными изгибами и расположенные иа плоских пружинах.Недостатком указанного контактирующего устройства является большая погреш ность контроля динамических параметров, так как зонды представлйот собой учась ки неоднородной электрической цепи длиной порядка 50 мм, что приводит к сильным искажениям импульсов с фронтами порядка единиц наносекунд при нрохождеМии их по этим цвпям. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦДРАМЯТРОЦ МИЕ(РССЯ;МИзвестно контактирующее устройство, содержащее основание в виде металличеокой платы и консольио закрепленные одним из своих концов пластинчатые зонды, расположенные в углублениях основания и соединенные с основанием с помощью диэлектрических прокладок таким образом, что образуют относительно основания определенный импедансНедостатком такого контактирующего устройства является искажение импульсных сигналов с фронтами порядка одной наносекунды вследствие изменения импеданса, контактирующих зондов за счет деформации их при контактнровании что приводит к снижению точности динамических измерений.С целью повышения точности динамических Измерений в предлагаемом устройстве зонды выполнены в виде диэлектрйческих пластин, одна из боковых поверхностей которых содержит экран, а другая, цо меньшей мере, две печатные лолоски, хаждая из которых соединена с одной сто6861роны с закрепленными в углублении напластине высокочастотными разъемами,а с другой - через металлизированные отверстия в пластинах с Ч -образным наконечником, закрепленным в углублении.вне5печатных полосок на одном иэ концовпластин,На чертеже дано предлагаемое устройство и разрез по А-А.Контактирующее устройство состоит из 10основания 1, выполненного в виде диэлектрической панели, зондов 2, выполненныхв виде диэлектрических пластин, экранныхплоскостей 3 и активных печатных полосок 4 полосковых линий передачи, выса 15кочастотных разъемов 5, ч" -образных контактирующих наконечников 6, углублений7 в пластинах зондов (для размещенияУ-образных наконечников), отверстия (,в пластинах зондов 2 для соединения активных печатных полосок 4 полосковыхлиний с У -образным наконечником 6 зонда 2, скобы 8 для соединения пластинзондов 2 с основанием 1,Устройство работает следующим образом.Испытательный сигнал наносекундногодиапазона от генератора через многоканальный высокочастотный коммутатор входов (на чертеже не показаны) один извысокочастотных разъемов 5 и одну изпечатных полосок 4 полосковых линийзонда 2 поступает на наконечник 6 и соответственно на площадки микросхемыпри контактрровании. Через другую печатную поноску 4 полосковых линий и другой.высокочастотный разъем 5 наконечник 6зонда 2 соединен коаксиальным кабелемс согласованным коммутатором нагрузок(кабель и коммутатор на чертеже не показаны).Одновременно этот же испытательныйсигнал подается на один из входов измерителя динамических параметров. Под действием поданного на вход испытательного 45сигнала микросхема вырабатывает выходной сигнал, который через аналогичныйвторой зонд, установленный на выходемикросхемы, поступает на второй входизмерителя динамических параметров. Назаданных уровнях напряжения входногоиспытательного сигнала и выходного сигнала микросхемы производится измерение.динамических параметров.Так как каждый из зондов 2 контак)5тирующего устройства выполнен в видедиэлектрической пластины на которойнанесены экраны 3 и две печатные полос 07ки 4, а У -образные наконечники 6 соединены своими концами с печатными полосками 4 полосковых линий таким образом, что они вносят минимальные искаже, ния (длина наконечника составляет 4-5 мм) в образуемую высокочастотную линию передачи, то на наконечник зонда (и сооч- ветственно на площадки микросхем при контактировании) подаются (или снимаюъся с выходов микросхем) практически без искажений испытательные сигналы с широким спектром частот, что повышает точность динамических измерений. Кроме того, при измерении предлагаемым контактирующим устройством, отсутствует составляющая погрешности за счет деформации зондов при контактировании, так как измерительные каналы зондов обладают постоянным импедансом, не изменяющимся при контактировании с площадками микросхемы.В предлагаемом контактирующем уст ройстве длина зондов не ограничивается (до определенных пределов) по соображениям вносимых искажений и точности измерений, что важно для выполнения контактирующего устройства, удобного в наладке (миниатюрные контактирующие устройства, как показала практика, неудобны в наладке и требуют частой переналадкн)Кроме того, предлагаемое контактиру ющее устройство позволяет за одно контактирование измерять статические и динамические параметры микросхем, что соответственно уменьшает время измере- нияаПредлагаемое контактирующее устройство внедряется в зондовых установках для контроля динамических параметров быстродействующих микросхем в диапазоне одной наносекунды и предполагает получение значительного экономического эффекта,формула изобретенияКонтактирующее устройство для контроля динамических параметров микросхем, содержащее основание с углублениями, в которых расположены зонды, о т л и ч аю ш е е с я тем, что, с целью повыше- ния точности измерения, зонды выполнены в виде диэлектрвческих пластин, одна из боковых поверхностей которых содержит экран, а другая, по меньшей мере,рез металлизированные отверстия с 7 образным наконечником, закрепленным вуглублении вне печатных полосок на одном из концов пластин. 686107 1 йве печатные полоски, каждая из которых соединена с одной стороны с закрепленными в углублении на пластине высокочастотными разъемами, и с другой - че