Вентиль

У эевлеио 15,07 ИСОФДИИЕНИЕМ эщдерстевнаСССР 25,05,79. Балл яфФтя ВЭЯПП ОПЧСЭНИ 72) Авторы изобретен(71) Зэв Изобретение относится к вентилям расходагазовых сред и может найти широкое применение в областях техники, где требуется плавнаярегулировка расхода газов, например в газовсистемах зпитаксиальных, плазмохимических идиффузионных установок полупроводникового. производства,Известен вентиль, содержащий корпус сосъемной крышкой, в котором расположен залоный орган со шпинделем, приводимой в движение маховиком, взаимодействующим с упругоноболочкой, заполненной жидкостью Щ.Известен также другой вентиль, в его корпусе со съемной крышкой расположен запорныйорган, взаимодействующий с нажнмным винтомчерез приводной гидравлический узел 123,Известные вентили имеют большие габаритыи сложную конструкцию.Цель изобретения - уменьшение габаритови упрощение конструкции вентиля.,Для этого в предлагаемом вентиле приводногидравлический узел выполнен в виде упругихоболочек с фланцами, установленных на торцахсъемной крышки, в которой выполнено калибр 2.ванное отверстие. Верхний фланец снабжен схвостовиком, входящим в калиброванное отверстие сьемной крышки,На чертеже изображен описываемый вентиль,%, На корпус 1. вентиля сверху установленакрушка 2 с калиброванным отверстием 3 н размещенными на ней упругими оболочками 4 и 5р. приводного гидравлического узла. К оболочке 4,расположенной вне газового тракта; через кретВ пежный фланец 6 и прокладку 7 болтами 8крепится нажимной фланец 9 с хвостовнком 10,имеющим меньший диаметр, чем комбннирован.ное отверстие 3. Хвостовнк 10, входя в отвер,стие 3, образует в паре с ним капиллярныйканал. В хвостовике 10 имеется зарядный канал 11, уплотненный через прокладку 12 винтом 13. Между крепежным фланцем 6 и крышкой 2 установлена возвратная пружина 14. Нанажимной фланец 9 опирается нажнмной винтй 15, расположенный в стакане 16, установленнам на крышке 2. В крышке 2 выполнен канал 17, в котором размещен обратный кла.о-, пан 18,3 6Упругая оболочка 5 расположена внутри газового тракта и снабжена фланцем 19 с тол.кателем 20. Толкатель 20 размещен в направ.ляющей шайбе 21 с каналами 22 для проходагаза. Шайба 21 прижата к корпусу 1 седлом 23.Объем между упругими оболочками 4 и 5,отверстием 3 и каналами 11, 17 заполнен жидкостью 24, Между фланцем 19 и направляющейшайбой 21 через шайбу 25 с каналами 26 дляпрохода газа установлена возвратная пружина27. На седле 23 установлена фторопластоваявтулка 28 с мембраной 29 и запорным злемен.том 30, в который для жесткости вставленаигла 31, подпружиненная пружиной 32 относи.тельно крышки 33, установленной на втулку 28,При приложении оператором определенногоусилия к нажимному винту 15, который пере.дает его на нажимной фланец 9, начинается сжа.тне упругой оболочки 4 и вытеснение жидкости24 через капнллярный канал. Количество жид.кости, проходящее через капиллярный канал вединицу времени, находится в прямой зависи.мости от усилия, приложенного к нажимномувинту оператором,Количество жидкости, проходящее через капиллярный канал в единицу времени при определенном усилии, определяет увеличение объемаупругой оболочки 5, а следовательно и скоростьперемещения толкателя 20 в единицу времени.Таким образом, варьируя значениями размеровцепи, вязкости жидкости и плотности, получаемжелаемую скорость перемещения толкателя 20,т,е. желаемую плавность регулирования при данном усилии, создаваемом оператором.Перемещение хвостовика 10 в отверстиии 3предотвращает явление облитерации,Плавно перемещаясь, толкатель 20 давит назапорный элемент 30, отжимая его от седла 23,63925 4в образовавшийся кольцевой зазор проходи регулируемая газовая среда.При перемещении нажимного винта 15 вверх.по резьбе в нижней оболочке 5 под действиемвозвратных пружин 14, 27 и входного давлениягазовой среды создается избыточное давление,которое приподнимает обратный клапан 18, ижидкость 24 через канал 17 быстро перетекаетв верхнюю упругую оболочку 4, прижимая на.10 жимной фланец 9 к нажимному винту 15. Приэтом нижняя упругая оболочка 5 сжимается,:а толкатель 20 поднимается.Прижимаемый к толкателю 20 пружиной 32запорный элемент 30 также поднимается, пере.5 крывая кольцевой зазор в седле 23. Вентильзапирается. Формула изобретения 20Вентиль, содержащий корпус со съемнойкрышкой, в котором расположен занорный орган, взаимодействующий с нажимным винтомчерез приводной гидравлический узел, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения габаритов и упрощения конструкции, приводной узел выполнен в виде упругих оболочек с фланцами, установленных на торцах съемной крышки, в крышке выполнено калиброван ное отверстие, а верхний фланец снабжен хвостовиком, входящим в отверстие крышки,Источники информации, принятые во внима.ние при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР Яф 294035, 35 кл. Р 16 К 1/02, 19692, Заявка Иф 2386970/25 - Я 08), кл. Е 16 К 1/02,1976, по которой принято решение о выдачеавторского свидетельства.6 ставитель М. Кольцов хред С Мигай едактор В. Дибобес вин оррект аказ 29 б 5/33 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проек Тираж 1138ЦНИИПИ Государственного по делам иэобретений113035, Москва, Ж - 35, Рауш Подписноекомитета СССРоткрытийскал наб., д, 4/5