Электронный микроскоп

" -уе" иА"тйаей Глзтг.3, 91 згастзОП ИСАН И Е и 663001ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ СОюз ОВФтскихСоциалистацескихРаспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ гы1) Дополни 2) Заявлен льное к авт,свид-ву -28.03.77 (2 емзаяки2466492/18-2 М. Кл,Н 01 У 37 5 Гесудерствееный кювет СССР па делам ееаеретени и еткрмтий(71) Заявите 54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП по объе флуоре рвичного электронного пучкаполучением изображения нающем экране,ри работе в этом режимейство имеет тот же недостаием увеличения электронноизменяется яркость свеченрующего экрана.елью изобретения является суровня яркости флуоресцирупри изменении увеличения. ем п ту и циру Пизвестное ток: с изо микроия флуоустроменен скопаресци билизаего экци ра е К - коэффиц личина постоянн- ток ра растровые откл 1 - ток обмоая;трирования, подава оняющие катушки; ки промежуточной ли ы Изобретение относится к области электронно-микроскопического приборостроенияи может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии.Известны электронные микроскопы, содержащие электронную пушку, конденсорный.блок, отклоняющую систему и систему формирования изображения, Недостатком известного устройства является изменение яркости свечения флуоресцирующего экранапри изменении увеличения электронного микроскопа, что приводит к снижению контраста изображения объекта при большихувеличениях и увеличивает продолжительность исследования из-за необходимостипроведения дополнительной юстировки 1,Наиболее близким к изобретению техническим решением является просвечивающий растровый электронный микроскоп, со.держащий электронную пушку, растровыеотклоняющие катушки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регулятором тока промежуточной линзы, генератор разверток, флуоресцирующий экрани растровую приставку 2,Данное устройство позволяет работатьв просвечивающем режиме со сканированиБюллетень18., (53) УДК 621,385.1 .833(088 8)сания 25.05.79 Цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве регулятор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток и регулирующим изменение тока растрирования отклоняющих катушек в зависимости от тока промежуточной линзы согласно соотношению663001 формула изобретения аимзим л нес сэ а - ;..ЮМн юы й - . нмв - : иА - коэффициент увеличения проекционной линзы;В - коэффициент увеличения объективной линзы.Конструкция устройства поясняется чер " тежом, где показаны электронная пушка 1,конденсорный блок 2, растровые отклоняющие катушки 3, электронный луч 4, исследуемый объект 5, предметная плоскость 6 объективной линзы 7, объективная линза 7, промежуточная линза 8, плоскость 9 изображения промежуточной линзы, проекцион ф ная линза 10, флуоресцирующий экран 11, стабилизатор тока 12 промежуточной линзы, регулятор тока с функциональным преобразователем 13, генератор разверток 14.Коэффициенты увеличения промежуточ,ной А и электронной В линз рассчитываются известным образом для конкретных значений расстояний между предметной плоскостью объективной линзы и ее средней плоскостью а, между средними плоскостями объективной и промежуточной линз Е о и между 20 средней плоскостью промежуточной линзы и ее плоскостью изображения в .Устройство работает следующим образом.Сформированный электронной пушкойи электронно-оптической системой электронный луч диаметром 300 - 10001 сканируютпо образцу с частотой кадров порядка 20 - 25 кадров в секунду. При данных значениях частоты развертки электронного луча и его диаметра на флуоресцирующем экране электронного микроскопа формируется монолит- зв ная картина, полученная в параксиальной зоне объекта со стороной растра 3 - 4 мкм, При изменении увелйчения электронного"микроскопа с помощью регулятора тока изменяют ток обмотки промежуточной линзы.Одновременно функциональный преобразо- зф ватель регулятора тока изменяет величину тока растрирования отклоняющих катуц;ек согласно приведенному соотношению, что обеспечивает изменение площади растра электронного луча на поверхности объекта обратно пропорционально увеличению электронного микроскопа. Это обеспечивает сохранение постоянной яркости изображения на флуоресцирующем экране при изменении увеличения. Электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, растровые отклоняющие катушки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регулятором тока промежуточной линзы, генератор разверток и флуоресцирующий экран, отличаюисийся тем, что; с целью стабилизации уровня яркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличения, регулятор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем изменения тока по зависимости. тн- = А 1 т - В, где К - коэффициент пропорциональности;1 р - , ток растрирования, подаваемый на растровые отклоняющие катушки; 1 - ток обмотки промежуточной линзы;А - коэффициент увеличения проекционной линзы;В - коэффициент увеличения объективной линзы, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Электронный микроскоп ЭМВЛМ, Техническое описание и инструкция по эксплуатации ЦФ 1.720.011 ТО, Внешторгиздат, 1972.2. Ясапппд Е 1 ес 1 гоп М 1 сгозсоре АйасЬ- теп 1 Р 111 рз 1970, Рг 1 п 1 ес 1 1 п 1 Ье Хе 1 ЬегапсЬ, 7010.01.4550.11.шск ород Составите Техред О, Лу Тираж 922 П И Государственнотета СССкрытийнаб., д.ул. П роек 4/5тная инКоррек Подан тор Г, Назаро ное Р