Узел формирования изображения электронного микроскопа с возможностью изменения энергии электронов

о и и С Айй Союз Советских Социалистических Республик(6) Дополнительное к авт. свид-ву о 02 07 76 (21)2378909/1ением заявки-2) Заявл Кл,7/26 присоед Гасударственный комнтет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий) Заявитель 54) УЗЕЛ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГОМИКРОСКОПА С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕНЕНИЯ ЭНЕРГИИЭЛЕКТРОНОВ ется повышениеображения и упр О Изобретение относится к электронной оптикеи может быть использовано в электрон иых микроскопах,Известен узел формирования изображения электронного микроскопа с возможностью изменения энергии электронов вблизи образца, основу которого составляет электростатическая система 1 . Недостатками этого узла являются невысокое качество электронного изображения, а также существенная зависимость разрешающей способности содержашнх этот узел микроскопов от энергии электронов вблизи образца. Наиболее близок к предложенному узел формирования изображения электронного мик роскопа, выполненный в виде электромагнитной линзы и содержащий корпус, обмотку возбуждения, полюсный наконечник, состояший из верхнего и нижнего башмаков, механизм перемещения образца и высоковольтный ввод. К недостаткам этого устройства относятся сложность конструкции и невысокое качество низковольтного изображения 2. Целью изобретения являкачества низковольтного из.щенке конструкции.Указанная цель достигается тем что верхний башмак полюсного наконечника выполнен в виде плоской осесимметричной пла стины, внутри которой расположен механизм перемещения образца, при этом пластина закреплена на корпусе с помощью изолирующей шайбы и соединена с высоковольтным вводом.На чертеже. показан лредложенньгй узел формирования изображения, содержащий корпус 1, верхний 2 и нижний 3 башмаки полюсного наконечника, изолирующую шайбу 4 механизм 5 перемещения образца 6, высоковольтный ввод 7, изолятор 8, электрод 9 и обмотку возбуждения 10.При подаче через ввод 7 высокого напряжения на башмак 2 между верхним торцом этого башмака и электродом 9 возникает тормозящее электроны электростатическое поле, которое используется для фокусировки освещаемого электронного пучка в плоскости образца. После прохождения через597030 Формула изобретения образец замедленные электроны ускоряютсяэлектростатическим полем, возникающим между торцами башмаков 2 и 3, до первоначальньх энергий, Это поле, совместно с локализованным в этом же зазоре магнитным полем используется как комбинированный объектив, формирующий первичное изображение образца,Узел дает возможность улучшить качество изображения за счет снижения сферической аберрации объектива пря размещении образца в середине зазора между башмакамиполюсного наконечника и подачи на негонапряжения, равного разности потенциаловбашмаков. В этом случае часть электростатического ускоряющего поля между башмаком 3 и образцом, участвующая в формировании изображения образца, работает какРассеивающая линза, коэффициент сферической аберрации которой положителен, тогда как часть магнитного поля, участвующая в формировании изображения образна,работает как собирающая линза, коэффициентсферической ,аберрации которой отрицателен.Таким образом, сферическая аберрация маг 25нитной линзы частично компенсируется засчет использования рассеивающей части электростатического поля. Узел формирования изображения электрон. ного микроскопа с возможностью изменения энергии электронов, выполненный в виде электромагнитной линзы, содержаший корпус, обмотку возбуждения, полюсный наконечник, состоящий из верхнего и нижнего башмаков, механизм перемещения образца и высоковольтный ввод, о т л и ч а ю - щ и й с я, тем, что, с целью повышения качества низковольного изображения и упрощения конструкции, верхний башмак полюсного наконечника выполнен в виде плоской осесимметричной пластины, внутри которой расположен механизм перемещения образца, при этом пластина закреплена на корпусе с помощью изолирующей шайбы и соединена с высоковольтным вводом. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1, Авторское свидетельство СССР183846, кл, Н 01 3 31/26, 1963.Составитель А, СуворовРедактор Т, Орловская ТехредА. Алатырев Корректор С. ЯмаловаЗаказ 1158/51 Тираж 960 Подписноеов СССРЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров Спо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4