Предметный столик

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 01) 645222 Союз Советски Сониалистииеских Республик(23) Приорите Государственныи комитет СССР. Карташ 71) Заявител МЕТНЫЙ СТОЛИК 4) есекают екта,Перемещение объекта в плоскости, перпендикулярной к электронному пучку, осуществляется с помощью направляющих, приводы которых расположены на вращающейся с объектом части столика,Таким образом обеспечивается постоянное положение исследуемой точки под электронным пучком при вращении и наклоне объекта вокруг двух осей, пересекающихся в этой точке,Известное устройство имеет следующие недостатки,Ось вращения исследуемого объекта, проходящая через точку пересечения карданных осей, не совпадает с карданной осью вращения, на которой закреплен объект. Это обусловливает применение механизма для установки поверхности объекта перпендикулярно к оси его вращения,Для обеспечения нормальной работы устойства необходимо проводить большое коичество юстировок для точного пересече. ия всех пяти осей механизма в одной точе. Сложность конструкции связана с упавлением снаружи приводами, расположенными в вакууме и вращающимися вмете с частью столика,Изобртроннолустройстобъектоскопе,Известны предметные столики для электронных микроскопов, в которых перемещение объекта в двух взаимно перпендикулярных направлениях в плоскости, перпендикулярной к электронному пучку, обеспечивается подпружиненными прямолинейныминаправляющими с винтовыми приводами, ав направлении вдоль электронного пучка -винтовыми приводами с подпружиненнымиопорами 111.1Недостатком известного устройства является смещение исследуемой точки из-подэлектронного пучка при наклоне и вращении объекта.Наиболее близким к изобретению техническим решением является предметный столик для растрового электронного микроскопа, содержащий поворотную скобу, диск сприводами и постоянной точкой пересечения его осей вращения, направляющие сприводами 121,В данном устройстве диск с исследуемымобъектом подвешен на трех карданныхосях, которые вместе с осью вращения наклоняемой скобы и осью вращения объек етение относится к области элекучевых приборов, в частности, к вам для управления положением в в растровом электронном микро 2исследуемой точке объ5 10 15 20 25 Зо з 5 40 45 50 55 3Цель изобретения - упрощение конструкции.Указанная цель достигается тем, что приводы направляющих снабжейы составйыми толкателями, установленными с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль оси диска, при этом одна из частей толкателей установлена на скобе, а другая - с возможностью вращения совместно с диском и выполнена в виде подпружиненной втулки с кулачком, контактирую щим с направляющей,На фиг. 1 изображен предлагаемый предметный столик; на фиг. 2 - сечение А - А на фиг, 1.На поворотной скобе 1 установлен вращающийся диск (зубчатое колесо) 2, оси вращения которых пересекаются в точке 3. Над диском в двух параллельных плоскостях размещены пружины 4, две взаимно перпендикулярные направляющие 5 и 6, одна из которых установлена на диске 2. На направляющих закреплены свободно вращающиеся ролики 7. На верхней направляющей закреплен держатель 8, в который устанавливается исследуемый предмет 9. Опорная плоскость 10 для установки предмета 9 в держателе проходит через точку пересечения 3 и перпендикулярна к оси вращения диска.Для вращения диска 2 служит привод 11, закрепленный на скобе.Для перемещения направляющих служит механизм, который состоит из расположенных на скобе концентричных оси вращения диска винтовых приводов 12 и 13, установленных на диске и подпружиненных пружинами 14 и 15, стержня 16 и втулки 17 с кулачками 18 и 19, установленных с возможностью вращения между винтовыми приводами, стержнем и втулкой шариков 20,Электронный луч 21 направляется на точку 3 пересечения путем бокового перемещения источника электронного луча или с помощью электрических отклоняющих катушек,При поступательном движении вверх вдоль оси вращения диска 2 винтовые приводы 12 и 13 через шарики 20 давят на подпружиненные пружинами 14 и 15 стержень и втулку 17 и перемещают их в том же направлении. Стержень и втулка при этом посредством кулачков 18 и 19 через ролики 7 перемещают прямолинейные на 4правляющие 5 и 6 в двух взаимно перпен. дикулярных направлениях. Вместе с направляющими перемещается исследуемый предмет 9 вплоскости, проходящей через точку 3 пересечения и перпендикулярной к оси вращения диска.При поступательном движении винтовых приводов 12 и 13 вниз вдоль оси вращения диска 2 к ним поднимаются пружинами 14 и 15 через шарики 20 стержень 16 и втулка 17. К кулачкам 18 и 19, установленным на стержне и втулке, пружинами 4 поджимаются прямолинейные направляющие 5 и 6, которые будут перемещаться в обратном направлении.С вращением диска 2 приводом 11 вместе с ним вращаются направляющие 5 и 6, стержень 16 и втулка 17. Стержень и втулка проскальзывают по шарикам 20 относительно винтовых приводов 12 и 13, и положение направляющих и исследуемого предмета не меняется относительно диска. Исследуемая точка предмета вращается вокруг электронного луча 21 и не выходит за его пределы,Таким образом, в описанном устройстве обеспечивается возможность одновременного перемещения объекта в двух взаимно перпендикулярных направлениях в плоскости, перпендикулярной к электронному пучку, и наклон или азимутальное вращение объекта в диапазоне 360,Формула изобретенияПредметный столик, содержащий поворотную скобу, диск с приводами и постоянной точкой пересечения его осей вращения, направляющие с приводами, отл ич аю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции, приводы направляющих в нем снабжены составными толкателями, установленными с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль оси диска, при этом одна из частей толкателей установлена на скобе, а другая - с возможностью вращения совместно с диском и выполнена в виде подпружиненной втулки с кулачком, контактирующим с направляющей.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР422055, кл. Н 011 37/26, 1972,2. Патент ФРГ1226228, кл. 21 д 37/10, 1967,.645222г,ДСоставитель В, Вдовин едактор Н. Коляда Техред А, Камышникова Корректор И. Поздняковска аказ 2626/13 Изд.140 Тираж 922 Подписн НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2