Редичева

Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов

Загрузка...

Номер патента: 1418494

Опубликовано: 23.08.1988

Авторы: Жлукто, Редичева, Скоркин, Шугаев

МПК: F04D 19/04

Метки: агрессивных, газов, насос, откачки, турбомолекулярный

...колец 13 и 14, размещенных коаксиально валу 5и контактирующих с ним. Вал 5 электро двигателя 3 снабжен расположенными под набором колец 13 и 14 сквозными радиальными отверстиями 15, сообщенными с осевым каналом 9, а последний в зоне отверстий 5 имеет участок меньшего диаметра. Вал 3 в зоне контакта с набором колец 13 и 14 выполнен коническим.Насос работает следуюгцим образом.Перед запуском электродвигателя 3 подают инертный газ из источника через регулируемое газонапускное устройство 1 в осевой канал 9 вала 5. Внешним насосом создают в полости корпуса 1 предварительное разрежение, после чего запускают электродвигатепь 3. Откачиваемый газ, поступающий в насос и содержащий агрессивные компоненты, взаимодействуя с дисками ротора 6...