Устройство для литья пленки

Союз Советских Сецкалнсткческкх Республиклиительиое22) Заявлено 0702 присоединением за твенныи комитетМинистров СССР м изобретений открытий осудаоветапо дел 3) Приори оЗ) УДК 66,012-52(088. 8) 43) Опубликовано 15.10.78,Ьо 45) Дата опубликования опик теин Л ии 230878(54) УСТРОЙСТ ЛИТЬЯ ПЛЕНИ ше ва ОПИСИЗОБРЕК АВТОРС(ОМУ (: Львовский ордена Лен Изобретение относится к области изготовления пленок методом литья иэ жидкой ласты и может быть использовано в химической промышленности, а пленки - в электронной промышленности, например, при изготовлении пленочных покрытий.Известно устройство для изготовления пленок методом литья, содержащее воронку для жидкой пасты, установленную над подвижной технологической подложкой 1) . В процессе литья паста поступает через щель воронки на движущуюся подложку.Недостатком укаэанного устройства ф является нестабильность толщины отливаемых пленок вследствие снижения уровня и тем самым гидростатического давления пасты в воронке по мере ее расхода.Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для литья пленки, содержащее стол для технологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с тру" бопроводом сжатого воздуха 2.В литейной воронке образуется суммарное (гидростатическое + возевский и А.Р.Эаверб а политехнический инстит душное) давление вытеснения пасты ца подложку, в котором доля гидростатического давления незначительна, вследствие чего изменение гидростатического давления, происходящее по мере вытеснения пасты, мало изменяет давление вытеснения пасты иэ воронки, что обеспечивает более равномерный расход пасты и, следовательно, стабильность толщины изготавливаемой пленки.Однако при изготовлении преэиционных пленок, используемых в электронной промышленности, даже незначительное отклонение толщины пленки от номинального размера, вызываемое изменением суммарного давления вытеснения по мере расхода пасты в воронке, нежелательно.Целью изобретения является повыние стабильности толщины изготавлиемой пленки.Эта цель достигается тем, что известное устройство для литья пленки, содержащее стол для технологической подложки, установленную цад столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха, снабжено узлом измерения тол-, щины пленки и регулятбром давления,причем выход узла измерения толщины пленки соединен со входом регулятора давления а выход регулятора давления соединен с литейной воронкой.При этом узел измерения толщины пленки выполнен в виде пневматической пары дроссель - сопло, подключенной к трубопроводу сжатого воздуха, причем сопло расположено над столом в месте нанесения пленки на технологическую подложку.Кроме того, литейная воронка со"10 единена с атмосферой через регулируемый пневматический дроссель.На чертеже изображено устройство для литья пленки, общий вид.Устройство содержит стол 1 для технологической подложки 2. Над столом установлена литейная воронка 3 имеющая щель 4. К воронке подведен трубопровод 5 сжатого воздуха, соеди няющий ее с выходом регулятора давления 6, Воронка соединена с атмосФерой через регулируемый пневматический дроссель 7 р позволяющий устанавливать требуемое номинальное давление вытеснения ласти из литейной воровки 3. Регулятор б соединен с трубопроводом 8 сжатого вОздухаУзел 9 измерения толщины аленки 10 состоит иэ дросселя 11 и измерительного сопла 12, соединенных между собой трубопроводом 13. Сопло 12 3130 расположено с заданным зазором над столом 1, Выход узла 9 измерения толщины пленки 10 соединен трубопроводом 14 со входом регулятора давления б. Для перемещения технслогичес кой подложки 2 служит механизм привода 15.Устройство для литья пленки работает следующим образом.Литейную воронку 3 заполняют пас" 40 той, приводят в движение технологическую подложку 2 и подают сжатый воздух иэ пневмосистемы. Под суммар" ным 1 гидростатическое + пневматическое) давлением вытеснения наста из литейной воронки 3 через щель 4 поступает на технологическую подложку 2, движущуюся по столу 1. Образовавшаяся пленка 10 на технологическойподложке 2 проходит в зазор между столом 1 и измерительным соплом 12. При отклонении толщины пленки 10. от номинального значения изменяется зазор между ее поверхностью и соплом12, Это приводит к изменению расхода воздуха через сопло 12 и измене нию давления в трубопроводе 13, азначит и на входе регулятора б, Так,при увеличении толщины пленки (посравнению с номинальной) зазор усопла 12 уменьшается, расход воздухачерез него падает, что приводит квозрастанию давления в трубопроводах,13, 14 и на входе регулятора б. Увеличение давления на входе регулятора б уменьшает его проходное сечение, что при неизменном сечении дросселя 7 вызывает уменьшение давленияв литейной воронке 3. Это приводитк уменьшению .расхода пасты до техпор, пока толщина отливаемой пленки,10 не достигнет номинального значения.,При уменьшении толщины отливаемойпленки 10 по сравнению с номинальнымзначением зазор сопла 12 увеличивается, давление воздуха на выходе регулятора 6 падает, что приводит кувеличению расхода пасты до тех пор,пока толщина отливаемой пленки 10не достигнет номинального Значения.Формула изобретения1, Устройство для;литья пленки,содержащее стол для технологическойподложки, установленную над столомгерметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воз"духа, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения стабильноститолщины изготавливаемой пленки, оноснабжено узлом измерения толщины,пленки и регулятором давления, при"чем выход узла измерения толщиныпленки соединен со входом регуляторадавления, а выход регулятора давления соединен с литейной воронкой.2, Устройство по п.1, о т л и -фч а ю щ е е с я тем, что узел изме-рения толщины пленки выполнен в виде пневматической пары дроссель -сопло, подключенной к трубопроводусжатого воздуха, причем сопло расположено над столом в месте нанесенияпленки на технологическую подложку.Зустройство по пп.1 и 2, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что литейная воронка соединена с атмосферойчерез регулируеьвй пневматическийдроссель,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1, Авторское свидетельство СССР9 450597, кл. В 05 С 1/04, 1971.2. Патент США 9 2974364,клф 18-15 р 1965 еТираж арственного коми по делам изобре 5, Москва, Ж,905та Советаний и открытауюская на Подпнснонистров ССий д, 4/5