Эффузионная камера

67069 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(61) Дополнительное к авт. свид-ву 452357 (22) Заявлено 12.07.76 (21) 2386148/23-26 М.Кл.2 В 01 Ы 110 соединением заявк Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий 23) Приоритет -43) Опубликовано 30,07.78. Бюллетень(45) Дата опубликовани Авторыизобретения ндриевский, Ю. ф. Хромов и И, Б, Тимоше 1) Заявите ф - :-: 0,01 дэфф---- - 0Изобретение может наити применение прифизико-химических исследованиях равновесных давлений паров тугоплавких соединений.Известна эффузионная камера для испарения тугоплавких материалов, содержащая тигель-испаритель и отражатель, которые изготовлены из графита.Такая камера не позволяет точно измеритьравновесные давления пара тугоплавких соединений переменного состава, которые в области гомогенности меняются по величине нанесколько порядков,Известна эффузионная камера по авт. св,452357, состоящая из тигля-иопарителя, выполненного из конгруэнтно-испаряющегося материала, отражателя из материала с активностью компонентов в газовой фазе, равной повеличине или близкой к активности компонентов вещества, и из крышки с отверстием. Этаэффузионная камера позволяет определять 20значения равновесного давления:пара тугоплавких соединений переменного состава.Однако эта камера не пригодна для измерения значительных по величине равновесныхпарциальных давлений пара тугоплавких соединений, например ТаХ, Та(СХ) , СгК,Сг(СМ) ЧИ Ч(С 1 ч) и эдр где у - ХСМ/Ме.Их равновесное давление по азоту при температурах1500 С составляет от единиц досотен мм рт, ст.30 Целью изобретения является расширение диапазона измерения равновесных давлений исследуемых соединений.Это достигается тем, что предлагаемая эффузионная камера снабжена капиллярной1.трубкой, причем -- = 100 в 2000, где 1. - длина капиллярной трубки, мм; д - диаметр каппллярной трубочки, мкм.На чертеже показана эффузионная камера, Эффузионная камера состоит из тигля-испарителя 1 для размещения исследуемого материала, отражателя 2, крышки 3 с отверстием 4 для выхода паров, капиллярной трубки 5, соединяющей полость эффузионной камеры с измерителем парциальных давлений б, например омегатронным ИПДО.Основные требования к отверстию в крышке эффузионной камеры по методу Кнудсена согласно кинетической теории газов следующие:- диаметр отверстия для истечени пара из эффузионной камеры;- длина свободного пробега молеку пара;.0 - диаметр эффузионной камеры.Максимальное давление, которое создается в эффузионной камере при методе Кнудсена, оценивается из вырахкения 10Снабжение камеры капиллярной трубкой с внутренним диаметром, в котором выполняетоя условие Х )А,;,с, где сс;,тр - внутренний диаметр каппллярной трубки, расширяет на 2 - 3 порядка рабочий диапазон предельных равновесных давлений тугоплавкцх соединений.Максимальное давление для капиллярной трубки с внутренним диаметром сС;," и длиной (Н,",ц) определяется из равенства потоков для молекулярного течения газа через отверстие и участок вакуумной линии с капиллярным отверстием по выражениям Сравнение значений Р, в таблице показывает расширение рабочего диапазона давлений не менее, чем на 2 - 3 порядка. С помощью эффузионной камеры из вольфрама, тигель-испаритель которой выполнен из конгруэнтно-иопаряющегося нитрида титана (Т 1 Хоаз), а отражатель - из исследуемото нитрида ванадия (ЧКо,7 з), снабженной ка пиллярной трубкой с внутренним диаметром Юфф = 250 лсклс, 1=1 лс из молибдена, соединяющей полость эффузионной камеры с измерителем парциальных давлений ИПД 0-1, измерены величины парциального равновесного 35 давления азота в интервале температур 1450 в 16 С. Значения равновесного давления азота для ЧЫо,т, равны 45 и 350 мм рт, ст. соответственно, что близко к известным велипи фф/ у Ю" трУ - Р.тр . Р=38001 - . Р (3)Л где 1 р 1 г - потоки газов (при Ыа " = дР),мм рт. ст, слсзс;Р - проводимость отверстия и капиллярной трубки, слсЧс;Т - температура, К;Лс - молекулярный вес газа (пара), г;Р 2,Р, - максимальное (предельное) рабочее давление в эффузионной камере с отверстием и с капиллярнойтрубкой соответственно. Максимальное давление по азоту, измеряемое эффузионной камерой с набором капиллярных трубок методом Кнудсена, приведено в таблице. рт. ст.) при пляпе капилляра Елс чинам, То есть в предлагаемой эффузионной камере по сравнению с известной эффузионной камерой достигнуто расширение диапазона измерений рабочих давлений по азоту с 0,2 до б 40 мм рт. ст., что позволило определигь упругость диссоциации нитрида ванадия,Формула изобретения Эффузионная камера по авт, св.452357,о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью расширения диапазона измерения равновесных давлений исследуемых соединений, она снабжена капиллярной трубкой,1.причем - = 100 в 2000,где Е - длина капилляра,млс;сс - внутренний диаметр капилляра,мклс.617669 Составит ериуха ипенко хред И. Рыбкин наб., д, 45 и. Харьк л, пред. сПатеит Редактор Т.Заказ 435/70 Изд,535 О Государственного комитета С по делам изобретений Москва, Ж, Раушска