Установка проекционной электронной литографии

Номер патента: 1129667

Опубликовано: 15.12.1984

Авторы: Блохин, Васильев, Мартынов, Сатаров, Черняев

МПК: H01J 9/02

Метки: источника, многоострийного, электронов

...1 изображены диэлектри/ческая подложка, металлическая пленка с остриями и установленная на диэлектрическом слое металлическая фольга; на фиг, 2 - анод, подогреватель и образующиеся отверстия в металлической фольге.На диэлектрическую подложку 1 (фиг. 1) осаждают металлическую пленку 2 .и эмиссионный материал, на. пример гексаборид лантана, толщиной около 4 мкм, из которого с помощью фотолитографии формируют острия 3, по периметру подложки осаждают диэлектрический слой 4 толщиной, превышающей высоту острий, на который кладут и закрепляют металлическую фольгу 5 толщиной 10-15 мкм.Полученную структуру, служащую катодом в диоде, совместно с анодом б (фиг, 2) помещают в вакуумную камеру, в которой создают вакуум не хуже 1 10 мм рт.ст., и...

Номер патента: 340360

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Башкин, Белов, Борисов, Грызлов, Соловьев

МПК: H05H 7/12

Метки: импульсного, источника, питания, электронов

...из,ряда стандартных элементов, та5 кцх как делительно-хгножительные устройства, измерители временных интервалов, соединенных любым образом, достаточным для того чтобы в интервале времени от импульса1 Ф10 к импульсу следящего устройства 12 решать залачу 1Ц:К-.:и цО 15 гле К - константа,т - необхолцмая ллительность импульса источника электронов в предстоящем срабатывании, 201 о - эталонная длительность импульсапри заданном среднем токе источника электронов,Т - измеренное значение периода работы схемы, 25Т, - заданное срвлцее значение периодаработы схемы.Система импульсного .питания источникаэлектронов работает следующим ооразом.Накопитель 4 заряжают резонансным спо- Зосооом от источника, питания 1 через лроссель2 ц диод 8 ло...

Номер патента: 790163

Опубликовано: 23.12.1980

Авторы: Борисов, Грызлов, Раевский, Соловьев

МПК: H03K 3/53

Метки: импульсного, источника, многоэлектродного, питания, электронов

...импульсный генератор 1, подклю- З ченный через первый импульсный трансформатор 2 к катоду источника 3 элект. ронов. Генератор 4 управляющих импульсов подключенк первичной обмотке второго импульсного трансформатора 5. Высоковольтный вывод вторичной об мотки импульсного трансформатора 5 подключен к анодам разделительных диодов б, катоды которых через разделительные конденсаторы 7 подсоединены к соответствующим управляющим 4 сеткам 8 источника 3 электронов (на чертеже показаны только две сетки источника) и через ограничительные резисторы 9 подключены к подвижным контактам потенциометров 10, а не щ подвижные контакты потенциометров подключены к источнику 11 напряжения смещения, Между управляющими сетками и катодом источника...

Номер патента: 602041

Опубликовано: 23.08.1983

Авторы: Абдуллин, Баженов, Ладыженский, Чесноков

МПК: H01J 29/48

Метки: взрывным, источник, катодом, электронов

...эффективность описанногоисточника составляет лишь 50,Цель изобретения - увеличениедлительности генерирования электронных пучков, упрощение схемы питания и конструкции источника.Цель достигается тем, что Фоку-,сирующий электрод выполнен в видесосуда с отверстием, в которое углублен анод; катод расположен внут;ри Фокусирующего электрода, имеетэлектрический контакт с последними удален от анода на расстояние,квадрат которого не меньше площадисобирающей электронной поверхностианода,На фиг. 1 показан предложенныйисточник электронов со взрывнымкатодом, разрез; на Фиг. 2 приведены зависимости д/с от д для разных, где д - зазор анод-катод;время коммутации; 5 - площадь собирающей электронной поверхности анода; на фиг. 3 - (а, б) -...

Номер патента: 728573

Опубликовано: 10.04.1995

Авторы: Лозовой, Никитинский

МПК: H01J 3/02

Метки: источник, плазменный, электронов

1. ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ на основе дугового контрагированного разряда с катодным пятном, перемещаемым магнитным полем по рабочей поверхности катода, содержащий анод, промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, катод и экстрактор, отличающийся тем, что, с целью повышения энергетической экономичности источника путем снижения уровня низкочастотных колебаний в разряде, катод выполнен в виде стакана, закрытого диафрагмой с отверстием не менее, чем на порядок превышающим диаметр контрагирующего отверстия в промежуточном электроде, причем ширина кольцевой щели, образованной стаканом и диафрагмой, равна глубине стакана.2. Источник электронов по п.1, отличающийся тем, что стакан выполнен из материала с работой выхода ниже...