Устройство для визуального контроля дефектов

(088.8) Опубликовано 15,10.76. Бюллетень М 38Дата ОпуОликования Описаии 51 05.10.76 по делач иаебретеиий и Открытий(71) Заявитель 154) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВИЗУАЛЬИОГО КОИТРОЛЯ ДЕФЕКТОВ 0 сУдвРствеикык квмитет (23) Приорие 1 Изобретение относится к оптико-механическим приборам и может найти применение для исследования качества поверхностей различных объектов, например, в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем на операциях визуального контроля кристаллов по внешнему виду.Известное устройство - металлографический микроскоп М 5 У-З, содержит эпиобъектив, ахроматическую линзу, бинокулярную наадку, Осветитель, дВе сменные диафрагм и две сменные плоско-параллельные пластинки, установленные между объективом и ахроматической линзой под углом 40 к оптической оси прибора, одна из которых имеет полупрозрачное покрытие, а другая - кольцевое зеркальное 1,Недостатком данного устройства является то, что 1(онроль исследуемого Ооъс(та жет производиться Голько путеъ поочерсдио- ГО ВК)ИОЧСНИЯ СООТВЕТСТВУЮЩЕГО ОСВЕЩСН 1151 ПОЦель изобретения - повысить производительность устройства и качество контроля.Поставленная цель достигается тсм, что устройство снабжено шаблоном, имеющим прозрачный и непрозрачный участки и установленным с возможностью перемещения в плоскости Освстител 51, сопря)(енной с п 1 рсдмстной плоскостьО, и Оптическим формироьателем, установленным за полупрозрачнымзеркалом для направления светового потокапод углом, большим апертурного угла обьекта, а полупрозрачное зеркало выполненоповоротным, выводимым из оптического ходалучей,На фиг, 1 приведена оптическая схема, ана фиг. 2 - поле зрения устройства,Оно содержит ооъектив 1, ахроматическую10 линзу 2, окуляр 3, осветитель, включающийисточник света 4, коллектор 5, шаблон о,конденсорную линзу 7, полупрозрачное зеркало 8, формирователь 9,15Работает устройство следующим образом,(.Ветовой поток от источника света 4 с помощью коллектора б и линзы 1, отразившись0 светоделительнОГО зеркала 8, напраВ 1 Яс Гся в выходной зрачок объектива 1 и создаетОсвещен 5 е Ооъскта по методу снелого ПО,я.1) а ООн О) нахОДЯЩИ 11 ся В переДней фокальн 01; и:10 скости линзы 7, с помощью полуроз 1)ачнОГО зсркала 8 и Ооьсктина 1 прОек 1.ру- етс 51 В 1 лос(Ости 1 трсдмста. 1) аОлон 6 Выио.1 нен, наиримс 1), в ьиде сгскляннои прозрачнойи;1 аст 1 и 11.И с нанссенныь на нее неирОзра.ным участком в Виде полоски, Форма нсиро.зрачного участ(а можег Оыть лОоой, наи 1)имер, В виде квадрата, круга или перекртия.1 ри проектирОВанпи шаолона В плосОость30 предмсг 1 1: ирп иаолюдстПи изоб;)ажени 5 спомощью устройства светлые зоны А поля зрения соответствуют прозрачным участкам шаблона 6, темная зона Б - непрозрачному участку шаблона (см. фиг. 2), Одновременно световой поток, прошедший через полупрозрачное зеркало 8, формирователем 9 концентрируется в плоскость предмета. Таким образом создастся освещение по мстодутемного поля. Изображение обьекта, создаваемое с помощью объектива 1 и ахрол 1 атичсской линзы 2, рассматривается через окуляр 3. На поверхность объекта, расположсйну 1 О перпендикулярно оптической оси объектива, падают лучи через обьектив 1 (освещение носвет;1 ого поля) и под углом относительно оси объектива от формирователя 9 (освещение по методу темного поля) . На у 1 астках объектива зоны Б яркость элементов структуры изображения объекта оирсдсляется суммарной интенсивностью свстовых лучей от обоих систем освещения (по мстоду светлого и темного полей). В зоне Б, соответствующей прозрачной полоске шаблона, яркость будет определяться интенсивностью светового потока, освещающего объект по методу темного поля.При смещении зоны Б (или перемещении наблюдаемого объекта от края до края поля зрения оптического прибора) производят последовательный обзор всей исследуемой поверхности объекта и получают информаци 1 а об объекте при освещении его как по методу светлогО, так и ПО методу темного полей,Для поочередного включения освещения по методу светлого и темного поля полупрозрач. ное зеркало 8, установленное под углом 45- и оптической оси прибора, выполнено с воз- мохкность 1 О взедения или выведения из опти. ческого хода лучей. При сканировании зон с различным характером освещения оператор исследует новерх - 1;Ость объск 1 а при различ 11 ом освещении, чго повышает качество ко 1 "1 роля, сф ктов, увеличивает производительность и улучшает лс. Овин визуального контооля,Формула изоорстсния10Устройство для ви:дального контроля дефектов, содержащее объектив, ахроматическую линзу, освети 1 ель, состоящий из источника света, конденсорных линз и полупрозрачно О зеркала, установленного под улом 45" между ООъсктивОм и ахрОматическОй линзой, отличающееся тем, что, с целью повышения качества контроля и увеличения производительности устройства, оно снабже О но шаблоном, имеющим прозрачный и непрозрачный участки, установленным с возможностью перемещения относительно оптической оси осветителя в плоскости осветителя, сопряженной с предметной плоскостью, и оп.25 тическим формирователем, установленным наоси осветителя за полупрозрачным зеркалом для направления светового потока на объект под углом, большим апертурного угла объ.екта, а полупрозрачное зеркало выполнено ЗО поворотным - выводимым из оптического хода лучей,Источники информации, принятые во вни 35 мание при экспертизе:1. Коломийцев Ю, В, Оптические приборЫдля измерения линейных и угловых величинв машиностроении, М., 1964 г стр, 183 -184 (прототип),( Изд. Ъз 1663Государственного к по делам изобр113035, Москва, ЖТираж 864митета Совета Министров Стени и открытий