Устройство для смены контрольных образцов

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДВТИПЬСТВУ Союз СоветскикСоциапистицескииРеспублик(51) М. Кл.еС 03 С 17/00 6 01 В 11/06 0 02 В 5/28 4(2 2) Заявлено:3 33/33 аявкнприсоединение осударстеенный комитетСовета Министров СССРпе делам изобретенийи открытий(72) Автор изобретения А, Яковл 1) Заявит СМЕНЫ КОНТРОЛЬНЪХ ОБРАЗЦОВАКУУМЕ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСПОКРЫТИЙ(54) УСТРОЙСТВО ПРИ НАНЕСЕНИИ Изобретение относится к оптическомуприборостроению, в частности к системам иустроиствам, предназначенным для изготов- .ления миогослойных оптических интерференционных покрытий, получаемых .путем напыления веществ в глубоком вакууме,Известно устройство для смены контрольных образцов при нанесении многослойныхоптических покрытий, содержащее кассету,в которую столбиком складываются контрольные образцы 1.1 и 2.Подающий кривошипный механизм, управляемый снаружи,,выдвигает в зону напыления нижний из пачки чистых контрольных образцов, Под действием собственного веса стопа образцовоседает, и место вытолкнутого образца за. нимает следующий за ним. Когда второй образец поступает в рабочую зону, он выталкивает первую контрольную подложку в специальный бункер, из которого использованныедетали вынимают при открытой вакуумнойкамере Укаэанные конструкции устройствдля смены контрольных образцов выполненытак, что образеця напыления нанего слоев неподв приводит к появво времижен Это лению неравномерности покрытия по толщинеи иногда вызывает значительные ошибкиконтроля, Такой недостаток отсутствует вконструкциях, в которых обеспечивается врал ,шение контрольного образца вокруг оптичес,кой оси,фотометра.Известно также устройство для сменыконтрольных образцов при нанесении в ваку-уме многослойных оптических покрытий, со- О держащее оправу с зубцами для закреплениястеклянной пластины, отдельные участкикоторой служат контрольными образцами и1 ползун с подпружиненным толкателем, вхсьдящим в зацепление с зубцами оправы 3, 5 Сменаконтрольных образцов производитсяповоротом оправы со стеклянной пластиной.При етом в зону напыления поступает новый,участок стеклянной пластины, служащийконтрольным образцом, Поворот осушествля ет подпружиненный толкатель, который, перемешаясь по касательнойк оправе, толкаетоди:;из зубцовее наружного канта, Все устройство крепится к столу с деталями, на которые наносят требуемые покрытия. Для И обеспечения равномерности толщины слоев,522 Н 4 ЕХОДШИХ В ОКЕГИЕ СТОГ В ГЕРОЦЕССЕ НаПЛееи и 1 ашйется,Однако е т ком устройстве поворот оп 1 авы производится толчками, которые прионт к ;О цзоскальзываеию О инерции, б1 и этом величина инерционного поворотастокеИО пластины изменяется в проееессеобеты, что сеижсет точность коетроля преЕОсе 1 Е ОкрытийэЦОЕЕь изобретения - повышение точностификсации пластины в заданном положении,0Для этого устройство снабжено подпружЕОЕелрейфером и двумя упорами, закреЕОЕеЕыли н ползуне и входящими в заееЕОеие с зубцами оправыпри поворотеЕОСЕдЕой, причем зубцы выполнены симмет-5ричной относительно радиуса оправы формы,фиг, Н показано предлагаемое устОйство, общий вид; на фиг. 2 - то же, видв плане.Устройство содержит стеклянную пластину201, отдельные участки которой служат конЕ 1 юЕЕыыли образцами. Пластина Н расположена в оправе 2, у которой по наружномуканту имеются зубцы 3, выполненные в виде упорного профиля с двух сторон. 11 ластину в оправе удерживает пружинное кольцо 4,Оправа устанавливается в отверстие стола5. Участок 6 пластины, который служитконтрольным образцом и на который осажда Ет вещество, образующее контролируемуюпе)ку, ограничен диафрагмой 7 предохраняЕОцей нерабочую часть гиЕастиеы Н от налета воцества, На столе 5 расположен,полэун 8 с пазом, и который входят штифты 9,К ползуу крепятся подпружиненные пружшЕй НО толкатель НН и грейфер Н 2. Напоауо:акрепеЕены также упоры НЗ и Н 4,выполненные в виде штифтов, Во время нанылееия ползун удерживается в рабочем полож нии пружиной Н 5.О У:. стройство работает следуюцим образом.И вакуумной камере одновременно на де-, тали 16, па которые наносится изготавливаемое покрытие Н 7, и на контрольный об разец 6 напыляют вещества, образующие коытрольиую пленку Н 8, В процессе напьиения контролируют толщину пленки с помощью закрепленного на камере фотометра, оптичес кля ось которого проходит через центр кон 6 О трольноЕо Образца 6, О толщине пленки Н 8 судят по известной зависимости коэффициента пропускания контрольного образца 6 ог оптической толшипы.Для обеспечения равномерности толщин ф 5 пЕенок образующих покрытие, стол 5 вместо с деталяли Н 6 и контрольным образцом 6 враЕЕЕ;ется параееОеЬно плоскос 1 и, в которой расположен испаритель напыляемых веществ, Ось вращения проходит через центр образ- ффс 4ца 6, После того, как пленка Нй ( или несколько пленок.) ЕаЕыОна производит смену контрольных Образцов, Для этого с помоцью привода (на чертеже не еОказан), в, качестве которого можно использовать электромагнит или рычыкную систему, производят поворот оправы 2 вместе со стеклянной пластиной Н, Для поворота оправы привод перелешает,ползун 8 по направлению стрелки А. Г 1 ри этом грейфер Н 2 тянет оправу 2 эа один из зубцов до тех пор, пока вращение оправы не остановит упор НЗ, в который она упирается одним иэ расположенных слевазубцов. Прялой ход ползуна на этом заканчивается - оправа совершила половину, оборота, необходимого для смены контрольного образца. Обратный;ход полэуна производится под действием пружины Н 5, Когда ползун движется в сторону:, противоподожную стрелкеоА, толкатель НН давит в один из расположенных слева зубцов и оправа продолжает поворот до тех пор, пока один иэ правых зубцов не упрется в упор Н 4, а грейфер Н 2 под действием пружины НО зацепится за зубец (см, фиг, 2). Г 1 осле окончания поворота оправа оказывается строго зафиксированной грейфером Н 2 и упором Н 4.То что поворот оправы осуществляется в два приема (при прямом и обратном ходе . ползуна) позволяет менять контропьный обраэец при однократном воздействии привода перемещения полэуна, Оправа показанная на чертеже, рассчитана на работу с шестью контрольными образцами, Если необходимо вести контроль по образцу, на который уже наносились пленки, можно, считая число поворотов оправы 2, установитЬ пластину Н в требуемом положении.Наличие, наряду с толкателем подпружиненного грейфера и выполнение зубцов с упорным профилем сдвух сторон, а также введение упоров позволяет поворачивать стеклянную пластину, отдельные участки которой служат контрольным образцом, на строго определенный угол и надежно фиксировать ее и заданном положении,Формулаизобретения Устройство для смень. кбнтрольных образцов при нанесений в вакууме многослойных оптическйх покрытий, содержащее оправу с зубцами для закрепления стеклянной пластины, отдельные участки которой слу- жат контрольными образцами, и ползун с подпружиненным толкателел, входящим в зацепление с зубцами оправы, о т л и ч а к5221 4 Э Составитель Ю, Ляминвектор А. Морозове Текреи М. Лвковвч Корректор Н. Бабтреа Заказ 964/317, Тира ЦНИИПИ Государственн по дел 113035, Москва, Ж 575 Подписное го комитета Совета Мин изобретений и открытийРаушская набов д, 4/5 истров ССС Филиал ЛПП Патент, г. Ужгород, .уле Проектная щ е е с я тем, что, с целью повышенииточности фиксации пластины в заданном положении, устройство снабжено подпружиненным грейфером и двумя упорами, закрепленными на ползуне и входящими в зацеплениес зубцами оправы рри повороте последней,причем зубцы выполнены симметричной относительно радиуса, оправы формы. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Патент Чехословакии Мо 117078 М,Кл, 42 Ь 34/06, опубл. 1965 г,2, Патент Чехословакии М 117113, М,Кл, 42 В 12/06, опубл. 1965 г,3, Оптико механическая йромышленность1961, % 10, стр, 13 (прототип),