Электронный микроскоп

ОП ИСАНИЕ 1 во 4 г 61ИЗОБРЕТЕН,ИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ВТОРСКОМУ СВИДЕИЛЬСТ(21) 2035782/26 25 51) М. Кл 2 Н 01 Э 37/2 осударстаенный комет Совета Мнннстроа ССС оо делам нэооретеннйн открмтнй(53) УЯК621,38 (088,8 етень М 7 Я 25,03. 7 3 5) Дата опубликования описан 72) Авторы изобретения ляков, П. А. Павленко и В, ф Г, Д. Кисель, В, А м 1) Заявит) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКО еднно-, о 5 Изобретение относится к электронньймикроскопам и может быть использованов растровых электронных микроскопах.Известны электронные микроскопы, содержащие электронно-оптическую систему,коллектор, датчик вторичных электронов ивидеоконтрольное устройство с индикаторным блоКом,Однако такие устройства не позволяютполучить изображение объекта при малой ринтенсивности вторичных электронов, а приработе датчика в режиме счета отдельныхэлектронов видеусйлители не дают воэможности получить непрерывный сигнал,Для повышения чувотвительности предла- Игаемый микроскоп снабжен дискретно-аналоговым устройством, вход которого электрически соединен с датчико: вторичныхэлектронов а выход - с входом индикаторного блока видеоконтрольного устройства. 20О На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.Устройство сод; ржит электронную пушку1, электроннооптическул сисге;лу 2, прназначенную для форлшровапия электро го зонда 3,. отклоняющую систему 4, предназначенную для отклонения электронногозонда по ЮрокаМ, и кадру при сканированизонда по объекту; 1 исследуемый объект 5,расположенный на столике образцов; коллектор 6, предназначенный для созданияэлектростатического поля, которое ускоряет и направляет вторичные электроны нддатчик вторичных электронов; датчик 7вторичных электронов, преднаэначенныйдлапреобразования прока вторичных электронов в электрический ток или отдельныхвторичных электронов в электрические импульсы; импульсный усилитель 8 аналогового устройства, предназначенный для усиления электрических импульсов, полученныхс помощью датчика 7 от вторичных электронов; формирователь 9 аналогового устройства, предназначенный для формирования стандартных импульсов по амплитудеи форме; интегрирующий операционный усилитель 10 предназначенный;для преобразования частоты следования стандартныхимпульсов в аналоговое напряжение, пропорциональное этой частоте; индикаторный504261пряжение, пропорциональное частоте стандартных импульсов. Аналоговое напряжениепоступает на вход индикаторного блока 11видеоконтрольного устройства, который созтт 5 дает конечное изображение той точки исследуемого объекта, в какой произошло взаимодействие электронного зонда 3 с исследуемым объектом 5, Индикаторный блок 11видеоконтрольного устройства с помощьюгенератора разверток 12 и отклоняющейсистемы 4 формирует изображение исследуемого объекта 5 синхронно со сканированием зонда 3 по объекту.п- , Аналоговое устройствопозволяетполучить15 изображение на экране видеоконтрольного ус2тройства от очень малого110 а/см ), сигнала, т. е. вплоть до единичногоф . вторичного электрона от отдельного элемента поверхности исследуемого объекта, что, . увеличивает чувствительность прибора натри порядка,блок 1 1 видеоконтрольного устройства,предназначенный для получения визуального изображения исследуемого объекта вовремя сканирования по объекту электронного зонда;.генераторы разверток 12,предназначенные для формирования отклоняющих токов или напряжений; источник питания 13, предназначенный для питания коллектора 6 вторичных электронов и металлического напыления сцинтилляцйонногд дачика 7.Электронный микроскоп работает следуюрим образом,На исследуемый объект 5 электронноотической системой 2 фокусируется и направляется электронный зонд 3, который спомощью отклоняющей системы сканирует,по исследуемому объекту. Электронный зпопав на сбъект, выбивает из него вториные электроны, которые несут информациоб исследуемом объекте, Эти электронылем коллектора 6 ускоряются и направляются на вход датчика 7 вторичных электронов,который преобразовывает их в электрический ток или в электпические импульсы. Полученные таким путем эпектрические импульсы подаются на вход аналогового устройства, т, е, на вход импульсного усилителя 8;который усиливает и направляет их а входформирователя 9, где усиленные импульсы ЭУпревращаются формирователем в стандартные импульсы, Иалее стандартные импульсы направляются в интегрирующий операционный усилитель постоянного тока 10, который преобразовывает их в аналоговое наа Формула изобретения Электронный микроскоп, содержащийэлектронно-оптическую систему, коллектор,одатчик вторичных .электронов и видеоконтрольное устройство с индикаторным блоком, отличающийся тем, что,с целью повышения чувствительности, онснабжен дискретно-аналоговым устройством,вход которого соединен с датчиком вторичных электронов, а выход - с входом индикаторного блока видеоконтрольного устрой- ства,:Редакт Тираж977 Подписноеосударственного. комитете Совета Миниспо делам изобретений и открытийг, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/ аказ 7 ов СС ОЗ филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул.,Гагарина,101