Устройство токовой корректировки номиналов тонкопленочных резисторов

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Ресоубликрисоелицением зая осударственный комит 23) Приоритет -Опубликовано 05 Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий(71) Заявитель ский радиотехнический институт Й КОРРЕКТИРОВКИОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ цике. 54) УСТРОЙСТВО ТОКОВ ОМИНАЛОВ ТОНКОПЛЕ Изобретение относится к микроэлектро Известно устроиство токовои корректировки номиналов тонкопленочных резисторов, содержащее источник переменного напряже ция, сигнал с выхода которого подается на измерительный мост, а также послелователыо соединенные олновибратор, ключ управления, источник напряжения корректировки и резонансный фильтр, выход которого соединяется 10 с корректируемым резистором.Однако известному устройству присуща низкая точость корректировки в связи с тем, что номинал резистора измеряют в процессе корректировки, т. е. в тот момент, ког да пол действием электрического тока резистор разогревается ло значительной температуры.Цель изобретения - ускорение процесса корректировки.201 ля этого в преллагаемое устройство вве лены амплитудно-фазовый детектор, схема сравнения, коммутатор, источник опорного напряжения, дифференциальный усилитель, электронный ключ и аналоговое запоминаю щее устройство. Сигнал с диагонали измерительного моста через детектор подается ца один вход схемы сравнения, выход детектора через электронный ключ, аналоговое запоминающее устройство, дифференциальный усилитель и коммутатор соелицсц с другим входом схемы сравнения, выход схемы сравнения подключен ко входу одновибратора и к управляющему входу коммутатора, а выход источника опорного напряжения соединен со вторыми входами дифференциального усилителя и коммутатора,На чертеже изооражеца структурная схема устройства,Сигнал с источника переменного напряжения 1 полается на трансформатор 2, вторичная симметричная обмотка которого об. разует лва смежных плеча измерительного моста, а лва других плеча образованы соелиценными последовательно разлелительцьи конденсатором 3 и корректируемым резисто. ром 4, конлецсатором б и эталонным резистором б. Источник напряжения корректировки 7 соединяется с корректиг)усмым резистором 4 через резонансный фильтр 8, настроенцый на частоту цапряжеция питания измерительного моста. Сигнал с лиагонали моста через амплитудно-разовый детектор 9 подается на олин из вколов схемы сравцени 10, на другой вхол которой подается сигнал с коммутатора 11.Выход источника опорного напряжения 12 соединен со вторыми входамп лифферецциального усилителя 13 и коммутатора 11. На первый вход усилителя 13 сигнал с летектора 9 подается через электронный ключ 14 и аналоговое запоминающее устройство 16. Сигнал со схемы сравнения 10 управляет коммутатором 11 и запускает одновпбрдтор 16,Устройство работает следующим образом.Номинал тонкопленочного рсзцстора корректируется в два цикла. В цикле грубой корректировки сигнал источника опорного напряжения 12, предварительцо устаноьлсцнныи пропорционально разбалансу измерительного моста, равному максимально возможной погрешности корректцрог,ки, пос- пает через коммутатор 11 ца схему срдвсция 10. Прп замыкании ключа правления 17 цд исто гнцк напряжения корректировки 7 поступает разрешающий сигнал с одновп,одтора 16. Постоянное напряжение источника 7 цдчпцает нарастать и поступает на корректируемый резистор 4, При нагреве резистора изменяется его сопротивление, а следовательно и сигнал разбаланса,При уменьшении сигнала разбалднса цз. мерительного моста до напряжения источ. пика 12 нд выходе схемы сравнения 10 появляется сигнал, который запускает одновцбрдтор 16 и изменяет состояние коммутатора 1. Сформированный одновибратором импульс, длительность которого соответствует времени остывания корректируемого резистора 4, снимает разрешающий сигнал со входа источника 7. Резистор 4 при снятом напряжении корректировки остывает и его сопротивление изменяется в соответствии с температурным коэффициентом сопротивления. Затем им. пульс с одновибратора 16 открывает электронный ключ 14.Сигнал разбаланса измерительного моста поступает на аналоговое запоминающее устройство 15. После остывания резистора 4 на выходе дифференциального усилителя 13 устанавливается сигнал, пропорциональный разности сигналов разбаланса измерительного моста при нагретом резисторе (выходное напряжение источника 12) и остывшем резисторе (выходное напряжение аналогового запоминающего устройства 16), т. е. сигнал, пропорциональный действительной погрешности корректировки резистора 4, который через коммутатор 1 поступает на схему срд.внения 10. В цикле точной корректировки задний фронт импульса одновибратора 16 запускает источник 7. Прп нагреве резистора 5 изменяется его сопротивление. При уменьшнии сигнала разбаланса измерительного моста до напряжения, соответствующего дейст вительной погрешности корректировки резистора 4, на выходе схемы сравнения О появ.ляется сигнал, который возвращает коммутатор 11 в исходное состояние и, запуская одновцбратор 16, снимает напряжение исто-ника 7 с резистора 4. Оператор размыкдег ключ управления 17. Прц остывании сон".отивление резистора измсцяется на величину действительной погрешности корректировкин которая была опредслена перед циклом точной корректировки, и достигает номинального значения.20Предмет изобретения Устройство токовой корректировки номиналов тонкопленочных резисторов, содержащее источник переменного напряжения, с,.г нал с выхода которого подается на измерительный мост, а также послсдовательно со едиценные одновибратор, ключ управления, ЗОисточник напряжения корректировки и резонансный фильтр, выход которого соединен с корректируемым резистором, отлсяающееея тем, что, с целью ускорения процесса корректировки, в него введены амплитудно-фазовый детектор, схема сравнения, коммутатор, источник опорного напряжения, дифференциальный усилитель, электронный ключ и аналоговое запоминающее устройство, при этом сигнал с диагонали измерительного моста через детектор подается на один вход схемы сравнения, выход детектора через электронный ключ, аналоговое запоминающее устройство, дифференциальный усилитель и коммутатор соединен с другим входом схемы сравнения, выход схемы сравнения подключен ко входу одновибратора и к управляющему входу коммутатора, а выход источника опорного напряжения соединен со вторыми входами дифференциального усилителя и коммутатора.